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  • 1 篇 期刊文献

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  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 光学工程
    • 1 篇 仪器科学与技术
    • 1 篇 电子科学与技术（可...

主题

  • 1 篇 谐振腔面
  • 1 篇 半导体激光器
  • 1 篇 砷化镓
  • 1 篇 解理加工
  • 1 篇 有限元分析

机构

  • 1 篇 香港理工大学
  • 1 篇 上海理工大学

作者

  • 1 篇 高睿
  • 1 篇 张庆正
  • 1 篇 姜晨
  • 1 篇 蒋金鑫

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=谐振腔面"
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GaAs解理加工的划片过程仿真分析及工艺研究
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中国机械工程 2024年
作者： 张庆正 姜晨 高睿 蒋金鑫 上海理工大学机械工程学院 香港理工大学工业及系统工程系超精密加工技术国家重点实验室
为有效提高GaAs基半导体激光芯片巴条谐振腔面解理加工质量，开展了一种新型点划方式的划片仿真分析及工艺实验。建立GaAs划片过程的有限元仿真模型，根据不同划片工艺，研究划片载荷及应力分布情况；开展解理工艺验证实验，分析解理面... 详细信息
来源： 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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