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Optimization design of an electroabsorption modulator integrated with spot-size converter

Optoelectronics Letters 2005年第2期1卷 83-87页

作者： HOU Lian-ping WANG Wei ZHU Hong-liang National Research Center for Optoelectronic Technology Institute of Semiconductors Chinese Academy of Sciences Beijing 100083 China

A novel 1.55 μm spot-size converter integrated with electroabsorption modulator is designed and fabricated with conventional photolithography and chemical wet etching *** the modulator,we employed a deeply-etched ridge waveguide structure with polyimide on each side of its *** the spot-size converter,we employed a buried double-core structure in which a ridge-based passive waveguide is *** wide and thin passive waveguide is optically combined with a laterally tapered active waveguide to control the mode *** simulation,the figure of merit is 4.17(dB/V/(100 μm)) and the beam divergence angles in the horizontal and vertical directions are as small as 11.2°×13.0°,respectively.

关键词：优化设计电吸收调节器 EAM 变流气波导

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