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主题

  • 1 篇 聚乙烯吡咯烷酮
  • 1 篇 水溶性负性光致抗...
  • 1 篇 丙烯酰胺-双丙酮丙...

机构

  • 1 篇 西安交通大学

作者

  • 1 篇 刘毅
  • 1 篇 单英敏
  • 1 篇 曹瑞军
  • 1 篇 高颖

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=水溶性负性光致抗蚀剂"
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水溶性负性光致抗蚀剂的研制
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影像科学与光化学 2008年 第2期26卷 116-124页
作者： 单英敏 曹瑞军 高颖 刘毅 西安交通大学理学院应用化学系 陕西西安710049
以自制丙烯酰胺-双丙酮丙烯酰胺共聚物和聚乙烯吡咯烷酮(PVP)为成膜基体物质,芳香族叠氮化合物为感光剂,研制出水溶性负性光致抗蚀剂配方.通过正交试验确定了最优配方.即共聚物中AM与DAAM质量比为1∶1;P(AM-DAAM)与PVP质量比为1∶2;感... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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