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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

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  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 光学工程

主题

  • 1 篇 流速传感器
  • 1 篇 热阻式
  • 1 篇 微细圆柱基底
  • 1 篇 微机电系统
  • 1 篇 温度补偿

机构

  • 1 篇 上海交通大学

作者

  • 1 篇 胡致远
  • 1 篇 叶丰明
  • 1 篇 黄皓凯
  • 1 篇 杨卓青

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=微细圆柱基底"
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具有温度补偿的微细圆柱基MEMS流速传感器研究
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半导体光电 2024年 第1期45卷 29-35页
作者： 黄皓凯 胡致远 叶丰明 杨卓青 上海交通大学微米纳米加工技术全国重点实验室 上海200240 上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子系 上海200240
目前常见的流速传感器由于尺寸原因,只能介入管径较大的管道进行液体流速测量。设计并制造了一种可介入小管径管道的、具有温度补偿功能的圆柱基流速传感器,器件采用旋转投影曝光和微机电系统(MEMS)技术制作而成,包含一个薄膜型加热电... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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