具有温度补偿的微细圆柱基MEMS流速传感器研究

作     者：黄皓凯 胡致远 叶丰明 杨卓青 HUANG Haokai;HU Zhiyuan;YE Fengming;YANG Zhuoqing

作者机构：上海交通大学微米纳米加工技术全国重点实验室上海200240 上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子系上海200240 

出 版 物：《半导体光电》 (Semiconductor Optoelectronics)

年 卷 期：2024年第45卷第1期

页      面：29-35页

学科分类：08[工学] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：国家自然科学基金项目(61974088) 

主　　题：微机电系统 微细圆柱基底 热阻式 温度补偿 流速传感器 

摘      要：目前常见的流速传感器由于尺寸原因,只能介入管径较大的管道进行液体流速测量。设计并制造了一种可介入小管径管道的、具有温度补偿功能的圆柱基流速传感器,器件采用旋转投影曝光和微机电系统(MEMS)技术制作而成,包含一个薄膜型加热电阻和一个稳定补偿电阻,基于热阻原理可实现对不同温度流体流速的精确测量。测试结果表明:该流速传感器的温度系数为0.2236%/℃,灵敏度为4.25 mV/(cm·s^(-1))。研制的圆柱基MEMS流速传感器可在内径为2 mm的管道中对具有一定温度变化的流体进行流速测量,有望应用于工业、生物医学等领域。