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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...

主题

  • 1 篇 拉曼散射光谱
  • 1 篇 晶化度
  • 1 篇 晶体结构
  • 1 篇 多晶硅薄膜
  • 1 篇 射频辉光放电等离...

机构

  • 1 篇 汕头大学

作者

  • 1 篇 余运鹏
  • 1 篇 余楚迎
  • 1 篇 林璇英
  • 1 篇 林揆训
  • 1 篇 黄锐
  • 1 篇 黄创君

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=射频辉光放电等离子体增强化学气相沉积技术"
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用SiCl_4-H_2低温沉积多晶硅薄膜微结构的Raman分析
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物理学报 2004年 第5期53卷 1558-1561页
作者： 林璇英 黄创君 林揆训 余运鹏 余楚迎 黄锐 汕头大学物理系 汕头515063
用拉曼散射谱研究以SiCl4 H2 为气源 ,用射频辉光放电等离子体增强化学气相沉积技术 ,在 2 0 0℃低温下沉积多晶硅薄膜的微结构特征 .结果表明 ,薄膜表层包含有大量微晶相的纳米硅晶粒和非晶相的硅聚合物 ,随射频功率增加 ,晶相结构的... 详细信息
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