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    • 1 篇 电子科学与技术（可...

主题

  • 1 篇 划片
  • 1 篇 半导体
  • 1 篇 激光
  • 1 篇 机器视觉

机构

  • 1 篇 东莞职业技术学院

作者

  • 1 篇 熊长炜
  • 1 篇 万松峰

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"基金资助=广东省普通高校重点领域专项“半导体激光划片工艺及关键技术研究”"
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激光晶圆划片系统的设计
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引用
机电信息 2024年 第2期 34-37页
作者： 万松峰 熊长炜 东莞职业技术学院智能制造学院 广东东莞523808
鉴于半导体不断微型化、高集成化、超精细化的发展趋势,为实现对晶圆片的高质量和高效率划片,设计了一种全自动激光晶圆划片机。该设计通过机器视觉对准系统获取划片位置,控制系统由上位机和西门子PLC组成,可实现晶圆的自动上下料、十... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 博看期刊 评论
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