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主题

  • 1 篇 角谱理论
  • 1 篇 快速傅里叶算法
  • 1 篇 传递函数
  • 1 篇 光刻
  • 1 篇 物理光学
  • 1 篇 厚层光刻胶

机构

  • 1 篇 四川大学

作者

  • 1 篇 杜惊雷
  • 1 篇 郭永康
  • 1 篇 高福华
  • 1 篇 唐雄贵
  • 1 篇 刘世杰

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"基金资助=国家自然科学基金中国科学院光电研究所微细加工技术国家重点实验室资助课题"
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基于角谱理论的厚层光刻胶衍射光场研究
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光学学报 2004年 第12期24卷 1691-1696页
作者： 唐雄贵 郭永康 杜惊雷 刘世杰 高福华 四川大学物理科学与技术学院 成都610064
为快速、准确地获得厚层光刻胶内部衍射光场的分布,利用角谱理论的思想,考虑入射光通过掩模后在光刻胶面的反射、透射和光刻胶曝光过程中其折射率及吸收系数在深度方向上的变化,建立了衍射光场在厚层光刻胶中传输的理论模型。为减小计算... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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