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检索条件"作者=b Academic of Precision Machinery and Precision Instrumentation,USTC,Hefei 2.3"
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Fabrication of CoFe Nanostructures by Holographic Lithography
Fabrication of CoFe Nanostructures by Holographic Lithograph...
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2007亚洲光电子会议纳米光子学/纳米结构/纳米计量学分会场
作者： Zijun Zhang a,Xudi Wang b,Ying Liu a,Yuxian Guo a,Yilin Hong a,Xiangdong Xua,Shaojun Fu a,Pengshou Xu a,Jie Wang a,Jianwang Cai c a National Synchrotron Radiation Laboratory,University of Science and Technology of China/P.O.box 6022,hefei,Anhui 230029,China b academic of precision machinery and precision instrumentation,ustc,hefei 230026,China c State Key Laboratory of Magnetism,Institute of Physics and Center of Condensed Matter Physics,Chinese Academy of Sciences,beijing 100080,China
A novel process that combines interference lithography and ion beam etching is presented for fabrication of magnetic submicron structures and nanostructures in this *** of an antireflective coating,vertical standing w... 详细信息
来源： cnki会议 评论
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