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偏压对ECR-微波等离子增强沉积ZrN薄膜的结构及性能的影响

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核技术 2005年第6期28卷 424-429页

作者：刘天伟董闯邓新禄陈曦大连理工大学三束国家重点实验室大连116024 中国工程物理研究院绵阳621900 江苏大学微纳米中心镇江212013

利用ECR-微波等离子溅射沉积技术加不同偏压在45#钢基体上制备了ZrN薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、透射电子显微镜(TEM)对薄膜的微观组织结构进行了分析。结果表明,无偏压时薄膜为非晶膜,随着偏压的升高,薄膜呈ZrN晶体结构。利用扫描电镜... 详细信息

利用ECR-微波等离子溅射沉积技术加不同偏压在45#钢基体上制备了ZrN薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、透射电子显微镜(TEM)对薄膜的微观组织结构进行了分析。结果表明,无偏压时薄膜为非晶膜,随着偏压的升高,薄膜呈ZrN晶体结构。利用扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)测试了薄膜表面形貌。薄膜表面平整,但仍存在局部缺陷;粗糙度(RMS)在0.311—0.811nm之间变化,轮廓算术平均值(Ra)在0.239—0.629nm之间变化。同时利用电化学极化实验在0.5mol/LNaCl溶液中测试了基体及薄膜的耐蚀性能,基体自腐蚀电位Ecorr为–512.3mV,样品Ecorr在–400.3—–482.6mV之间变化,45#钢基体自腐蚀电流Icorr为9.036μA,样品Icorr在0.142—0.694μA之间变化。并讨论了偏压对薄膜的微观组织和耐蚀性能产生影响的原因。

关键词：等离子体增强沉积非平衡磁控溅射 ZrN薄膜偏压

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类金刚石薄膜在模拟体液中的电化学阻抗

硅酸盐学报 2005年第11期33卷 1314-1320页

作者：刘成龙杨大智彭乔邓新绿大连理工大学三束材料改性国家重点实验室大连理工大学化学工程系大连116024 大连理工大学材料系

利用双放电腔微波等离子体源全方位离子注入设备,分别采用等离子体增强化学气相沉积技术、等离子体源离子注入和等离子体增强化学气相沉积复合技术两种工艺对医用316L不锈钢进行类金刚石薄膜表面改性。利用电化学阻抗谱法考察了两种工... 详细信息

利用双放电腔微波等离子体源全方位离子注入设备,分别采用等离子体增强化学气相沉积技术、等离子体源离子注入和等离子体增强化学气相沉积复合技术两种工艺对医用316L不锈钢进行类金刚石薄膜表面改性。利用电化学阻抗谱法考察了两种工艺制备的类金刚石薄膜在模拟体液中的抗腐蚀性能。结果表明:与采用等离子体增强化学气相沉积技术制备的类金刚石薄膜相比,在72 h的浸泡时间内,采用等离子体源离子注入和等离子体增强化学气相沉积复合技术制备的类金刚石薄膜防腐蚀性能明显增高,腐蚀阻抗较高,碳注入层可有效抑制溶液渗入薄膜和基体之间的界面,起到了腐蚀防护层的作用。动电位极化测试表明:采用复合技术制备的类金刚石薄膜在模拟体液中的腐蚀倾向性更低,钝态稳定性更好。

关键词：类金刚石薄膜电化学阻抗谱模拟体液等离子体源离子注入等离子体增强化学气相沉积

The application of optical emission spectroscopy on the study reaction mechanisms of methane conversion under cold plasma

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The application of optical emission spectroscopy on the stud...

Langmuir探针在等离子体诊断中的抗干扰方法

第十二届全国光散射学术会议

作者： Zhang Xiuling Liu Zhongfan Li Xuehui Dai Bin Gong Weimin Zhang Jialiang deng xinlu Laboratory of Plasma Dalian University Laboratory of Plasma Chemistry Dalian University of Technology State Key Laboratory of Three-Band Materials Modified Dalian University of Technology

It is of practical importance to convert methane into more valuable products such as CH and *** methane is the most inert among the hydrocarbons,its direct conversion to useful hydrocarbon products is well known to be a difficult process,especially through dehydrogenation of methane to hydrocarbons route in the absence of oxygen at high reaction *** the activation and

关键词：

来源： cnki会议评论

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真空科学与技术学报 2005年第6期25卷 459-462页

作者：李亚磊邓新绿徐军大连理工大学三束材料改性国家重点实验室大连116024

本文介绍了三种Langmuir探针在等离子体诊断中抗干扰的方法:积分平均技术———采用积分电路,有效抑制波动干扰,提高探针信噪比;滤波器———利用同轴电缆构成级连滤波器网络,消除射频源基频及谐频干扰;差分放大器———两根同轴电缆与... 详细信息

本文介绍了三种Langmuir探针在等离子体诊断中抗干扰的方法:积分平均技术———采用积分电路,有效抑制波动干扰,提高探针信噪比;滤波器———利用同轴电缆构成级连滤波器网络,消除射频源基频及谐频干扰;差分放大器———两根同轴电缆与差分放大器配合使用,消除由于同轴电缆电阻电容(RC)特性引起的诱导噪音。上述方法分别从抗干扰原理、抗干扰装置和实验结果三方面予以了说明,指出了目前使用Langmuir探针进行等离子体诊断时存在的问题,并提出了解决方案。

关键词： Langmuir探针抗干扰信噪比 Ⅰ- Ⅴ特性曲线

化爆材料瞬态切削温度的NiCr/NiSi薄膜热电偶温度传感器的研制

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机械工程学报 2006年第3期42卷 206-211页

作者：曾其勇孙宝元徐静贾颖崔云先邓新禄徐军大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室大连116024 大连理工大学三束国家重点实验室大连116024

针对化爆材料的切削特点,研制出一种集切削和测温功能于一体的NiCr／NiSi薄膜热电偶快速响应温度传感器。用多弧离子镀将NiCr/NiSi热电偶薄膜直接镀于高速钢刀头内。薄膜热电偶电极与高速钢之间采用最先进的多层镀膜法绝缘,即用微波ECR... 详细信息

针对化爆材料的切削特点,研制出一种集切削和测温功能于一体的NiCr／NiSi薄膜热电偶快速响应温度传感器。用多弧离子镀将NiCr/NiSi热电偶薄膜直接镀于高速钢刀头内。薄膜热电偶电极与高速钢之间采用最先进的多层镀膜法绝缘,即用微波ECR等离子体源增强射频反应非平衡磁控溅射技术首次成功在W18Cr4V高速钢基底上沉积绝缘性能良好的SiO2膜。对研制的薄膜热电偶温度传感器进行了静态和动态标定,结果表明传感器在0- 600℃测温范围内具有很好的线性和热稳定性,而且响应快,时间常数小于0．8 ms。热电偶薄膜与绝缘膜、绝缘膜与基体之间有足够的附着强度。该温度传感器已安装在现场使用,为国防工业部门的高效、安全生产提供了有力的保障。

关键词：薄膜热电偶切削温度磁控溅射离子镀化爆材料

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外探测器的蚀刻特性

核技术 1985年第4期 24-25页

作者：邓新绿大连工学院

有些工作已证明外探测器的可蚀刻径迹密度可用以下公式计算: 若0 详细信息

有些工作已证明外探测器的可蚀刻径迹密度可用以下公式计算: 若0

关键词：蚀刻后径迹密度可观测径迹密度

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从外表面到内表面的过渡特性

核技术 1985年第4期 27-28页

作者：邓新绿大连工学院

外表面就是在记录裂片时处于2π几何条件的表面,而内表面是处于4π几何条件的表面。这里我们给出一个新概念——过渡表面。它们是处于外表面与内表面之间的一系列表面,在记录裂片时它们处于大于2π而小于4π的几何条件。一个过渡表面的... 详细信息

外表面就是在记录裂片时处于2π几何条件的表面,而内表面是处于4π几何条件的表面。这里我们给出一个新概念——过渡表面。它们是处于外表面与内表面之间的一系列表面,在记录裂片时它们处于大于2π而小于4π的几何条件。一个过渡表面的潜伏径迹是由一个外表面的潜伏径迹与一个源厚为T(0

关键词：过渡表面过渡特性

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外表面与内表面裂变径迹的各种分布

核技术 1985年第4期 26-27页

作者：邓新绿大连工学院

***曾经计算作为自探测器的厚晶体内(内表面)潜伏径迹的各种分布,可能由于没有考虑蚀刻作用的影响,计算结果与实验测量偏离较大。本工作采用分层径迹球法,进行了下列计算。

关键词：外表面内表面分层径迹球法

尺度效应下太赫兹非局部二维纳米薄膜结构涟漪动力学建模方法

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动力学与控制学报 2024年第10期22卷 67-76页

作者：邹衡胡开明邓心陆张文明孟光上海交通大学机械与动力工程学院机械系统与振动国家重点实验室上海200240

本研究通过非局部理论和分子动力学模拟,深入探讨了尺度效应下二维纳米薄膜涟漪动力学特性.首先,基于非局部Kirchhoff板理论,构建了太赫兹激励下二维纳米薄膜涟漪动力学模型,揭示了涟漪波数与太赫兹激励频率的关系.其次,通过与分子动力... 详细信息

本研究通过非局部理论和分子动力学模拟,深入探讨了尺度效应下二维纳米薄膜涟漪动力学特性.首先,基于非局部Kirchhoff板理论,构建了太赫兹激励下二维纳米薄膜涟漪动力学模型,揭示了涟漪波数与太赫兹激励频率的关系.其次,通过与分子动力学模拟对比,验证了非局部涟漪动力学模型的准确性,并对非局部参数进行了辨识.进一步,分析了小尺度范围下二维薄膜结构离散分子动力学模型和连续介质理论模型的差异性,讨论了等效厚度,手性和非局部参数等重要参数对涟漪波数和相速度的影响.研究表明:当涟漪波长接近碳-碳键尺度时,原子的离散特性破坏了相邻涟漪的均匀性,论证了考虑原子分布的离散特性对太赫兹高频激励下二维纳米薄膜跨尺度涟漪动力学建模的重要性.此外,本研究还发现了锯齿方向的相速度大于扶手椅方向的相速度,且随着中心激励频率的增加,闭合涟漪的波型从环形转变为六边形.

关键词：太赫兹振动二维纳米薄膜涟漪动力学非局部理论

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