类金刚石薄膜在模拟体液中的电化学阻抗

作     者：刘成龙 杨大智 彭乔 邓新绿 LIU Chenglong;YANG Dazhi;PENG Qiao;DENG Xinlu

作者机构：大连理工大学三束材料改性国家重点实验室 大连理工大学化学工程系大连116024 大连理工大学材料系 

出 版 物：《硅酸盐学报》 (Journal of The Chinese Ceramic Society)

年 卷 期：2005年第33卷第11期

页      面：1314-1320页

核心收录：

学科分类：080503[工学-材料加工工程] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

基　　金：国家自然科学基金(50081001) 高等学校博士点基金(20010141003) 国家高技术研究发展计划(863计划)(2002AA326010) 大连理工大学三束材料表面改性国家重点实验室资助项目 

主　　题：类金刚石薄膜 电化学阻抗谱 模拟体液 等离子体源离子注入 等离子体增强化学气相沉积 

摘      要：利用双放电腔微波等离子体源全方位离子注入设备,分别采用等离子体增强化学气相沉积技术、等离子体源离子注入和等离子体增强化学气相沉积复合技术两种工艺对医用316L不锈钢进行类金刚石薄膜表面改性。利用电化学阻抗谱法考察了两种工艺制备的类金刚石薄膜在模拟体液中的抗腐蚀性能。结果表明:与采用等离子体增强化学气相沉积技术制备的类金刚石薄膜相比,在72 h的浸泡时间内,采用等离子体源离子注入和等离子体增强化学气相沉积复合技术制备的类金刚石薄膜防腐蚀性能明显增高,腐蚀阻抗较高,碳注入层可有效抑制溶液渗入薄膜和基体之间的界面,起到了腐蚀防护层的作用。动电位极化测试表明:采用复合技术制备的类金刚石薄膜在模拟体液中的腐蚀倾向性更低,钝态稳定性更好。