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Solving the inverse grating problem by white light interference Fourier scatterometry

Light(Science & Applications) 2012年第1期1卷 17-23页

作者： valeriano ferreras paz Sandy Peterhansel Karsten Frenner Wolfgang Osten Institute of Applied Optics Stuttgart University70569 StuttgartGermany SCoPE—Stuttgart Research Center of Photonic Engineering Stuttgart UniversityStuttgartGermany

Scatterometry is a well-established,fast and precise optical metrology method used for the characterization of sub-lambda periodic *** Fourier scatterometry method,by analyzing the Fourier plane,makes it possible to collect the angle-resolved diffraction spectrum without any mechanical *** improve the depth sensitivity of this method,we combine it with white light *** show the exemplary application of the method on a silicon line *** characterize the sub-lambda features of the grating structures,we apply a model-based reconstruction approach by comparing simulated and measured *** simulations are based on the rigorous coupled-wave analysis method.

关键词： Fourier scatterometry inverse problem optical sub-lambda metrology RCWA white light interference

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