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Picosecond burst pulse machining with temporal energy modulation

Chinese Optics Letters 2020年第12期18卷 87-91页

作者： Akinao Nakamura Tomoki Mizuta Yasuhiko Shimotsuma Masaaki Sakakura tomohito otobe Masahiro Shimizu Kiyotaka Miura Department of Material Chemistry Graduate School of Engineering Kyoto University National Institutes for Quantum and Radiological Science and Technology Kansai Photon Science Institute

Suppression of stress and crack generation during picosecond laser processing in transparent brittle materials such as glass was successfully demonstrated by a picosecond laser pulse with temporal energy modulation. The origin of deterioration in processing accuracy could be interpreted in terms of the discontinuous movement of plasma in the vicinity of the focus. To reveal the effectiveness of the temporal energy modulation for smooth machining, such plasma motion was simulated by the finite-difference time-domain method. Furthermore, photoinduced birefringence was observed using a high-speed polarization camera.

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Picosecond burst pulse machining with temporal energy modulation [Invited]

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Chinese Optics Letters 2020年第12期18卷 83-87页

作者： Akinao Nakamura Tomoki Mizuta Yasuhiko Shimotsuma Masaaki Sakakura tomohito otobe Masahiro Shimizu Kiyotaka Miura Department of Material Chemistry Graduate School of EngineeringKyoto UniversityKyoto 615-8510Japan National Institutes for Quantum and Radiological Science and Technology Kansai Photon Science InstituteKyoto 619-0215Japan

Suppression of stress and crack generation during picosecond laser processing in transparent brittle materials such as glass was successfully demonstrated by a picosecond laser pulse with temporal energy *** origin of deterioration in processing accuracy could be interpreted in terms of the discontinuous movement of plasma in the vicinity of the *** reveal the effectiveness of the temporal energy modulation for smootli machining,such plasma motion was simulated by the fiidtc-d ifference time-domain method.F urt her more,photoinduced birefringence was observed using a high-speed polarization camera.

关键词： picosecond laser energy modulation burst pulse material processing stress distribution

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