检索结果-南通市图书馆

传感器与微系统 2011年第7期30卷 38-40,44页

作者：李兴辉 selvarasah selvapraba LIU Yu Mohebbi Marjan Dokmeci Mehmet R 中国电子科技集团公司第十二研究所大功率微波电真空器件技术国防科技重点实验室北京100015 Department of Electrical and Computer Engineering Northeastern University

在柔性聚对二甲苯C基底上制作了基于单壁碳纳米管的小型化、高灵敏、反应快速的气体传感器。使用介质电泳集成碳管束,并利用单链脱氧核糖核酸修饰增强器件灵敏度。当传感器暴露在甲醇蒸气中时,会出现明显可重复的反应,它可以检测含量低... 详细信息

在柔性聚对二甲苯C基底上制作了基于单壁碳纳米管的小型化、高灵敏、反应快速的气体传感器。使用介质电泳集成碳管束,并利用单链脱氧核糖核酸修饰增强器件灵敏度。当传感器暴露在甲醇蒸气中时,会出现明显可重复的反应,它可以检测含量低至4.3×10-6的甲醇,并且在相当宽的体积分数范围有清晰的分辨能力。对于4.3×10-6的含量,未修饰的传感器对应电阻变化率是4.8%;经过脱氧核糖核酸修饰,电阻变化率增加到了12.3%。此外,该传感器还显示了很快的响应速度和很好的测试复验性。研究表明:这种柔性气体传感器在未来环境监测应用中有很好的前景。

关键词：碳纳米管纳米传感器气体传感器柔性的脱氧核糖核酸修饰

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柔性聚合物基材上三维纳米间隙的制作及互连

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微纳电子技术 2011年第10期48卷 674-678页

作者：李兴辉 selvapraba selvarasah Chia-Ling Chen Mehmet R.Dokmeci 中国电子科技集团公司第十二研究所微波电真空器件国家级重点实验室北京100016 Department of Electrical and Computer Engineering Northeastern University

利用普通的紫外光刻、等离子体刻蚀、剥离和薄膜技术,在生物和半导体技术兼容的柔性聚对二甲苯-C基材上制作出了三维纳米间隙结构。室温下,使用介质电泳的方法对制作的纳米间隙进行材料集成实验。在间距80 nm的间隙电极间,实现了碳纳米... 详细信息

利用普通的紫外光刻、等离子体刻蚀、剥离和薄膜技术,在生物和半导体技术兼容的柔性聚对二甲苯-C基材上制作出了三维纳米间隙结构。室温下,使用介质电泳的方法对制作的纳米间隙进行材料集成实验。在间距80 nm的间隙电极间,实现了碳纳米管的互连。I-V特性测试显示,互联后电极之间表现出了较好的线性导电特征。当使用的碳纳米管电泳液浓度为0.004 g/mL时,通过介质电泳方法得到连接于两电极间的碳管束的电阻约为13 kΩ。研究结果表明,这种柔性三维纳米间隙结构有望应用于柔性电子学、分子生物学和纳米材料科学等领域。

关键词：柔性基材纳米间隙介质电泳单壁碳纳米管三维聚对二甲苯

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一种新型可重复利用荫罩掩膜技术

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真空电子技术 2011年第4期24卷 49-56页

作者：李兴辉 selvapraba selvarasah Mehmet R.Dokmeci 北京真空电子技术研究所大功率微波电真空器件技术国防科技重点实验室 Department of Electrical and Computer Engineering Northeastern UniversityBostonMA 02115USA

利用化学气相沉积、光刻和反应离子刻蚀等微细加工技术,可以制作柔性、低成本、结实耐用、生物科技和半导体技术兼容、可重复使用的聚对二甲苯-C荫罩掩膜。利用这种透明的惰性材料掩膜,可以制作出传统平面微加工技术难以实现的曲面微图... 详细信息

利用化学气相沉积、光刻和反应离子刻蚀等微细加工技术,可以制作柔性、低成本、结实耐用、生物科技和半导体技术兼容、可重复使用的聚对二甲苯-C荫罩掩膜。利用这种透明的惰性材料掩膜,可以制作出传统平面微加工技术难以实现的曲面微图形,同时在多次使用场合,可以实现其它柔性荫罩掩膜材料难以达到的微米级特征尺寸,并能保持很好的图形复制特性。

关键词：荫罩掩膜聚对二甲苯微细加工

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一种新型可重复利用荫罩掩膜技术

一种新型可重复利用荫罩掩膜技术

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真空电子与专用金属材料、陶瓷——金属封接第十一届技术研讨会

作者：李兴辉 selvapraba selvarasah Mehmet R. Dokmeci 北京真空电子技术研究所大功率微波电真空器件技术国防科技重点实验室 Department of Electrical and Computer Engineering Northeastern University

关键词：荫罩掩膜聚对二甲苯微细加工

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