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Tip-and Laser-based 3D Nanofabrication in Extended Macroscopic Working Areas

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Nanomanufacturing and Metrology 2021年第3期4卷 132-148页

作者： Ingo Ortlepp Thomas Frohlich Roland FuBl Johann Reger Christoph Schaffel Stefan Sinzinger Steffen Strehle ReneTheska Lena Zentner Jens-Peter Zollner Ivo WRangelow Carsten Reinhardt Tino Hausotte Xinrui Cao Oliver Dannberg Florian Fern David Fischer stephan Gorges Martin Hofmann Johannes Kirchner andreas Meister Taras Sasiuk Ralf Schienbein Shraddha Supreeti Laura Mohr-Weidenfeller Christoph Weise Christoph Reuter Jaqueline Stauffenberg Eberhard Manske Institute of Process Measurement and Sensor Technology Technische Universitat IlmenauEhrenbergstrasse 2998693 IlmenauGermany Control Engineering Group Technische Universitat IlmenauIlmenauGermany Optical Engineering Group.Technische Universitat Ilmenau IlmenauGermany Microsystems Technology Group.Technische Universitat Ilmenau IlmenauGermany Precision Engineering Group.Technische Universitat Ilmenau IlmenauGermany Compliant Systems Group Technische Universitat IlmenauIlmenauGermany Micro-and Nanoelectronic Systems Group Technische Universitat IlmenauIlmenauGermany Nanoscale Systems Group.Technische Universitat Ilmenau IlmenauGermany Division for Research Service and Technology Transfer Technische Universitat IlmenauIlmenauGermany Electronics Technology Group.Technische Universitat Ilmenau IlmenauGermany IMMS Institut flir Mikroelektronik-und Mechatronik-Systeme Gemeinniitzige GmbH(IMMS GmbH) IlmenauGermany Fachgebiet Technische Physik City University of Applied SciencesBremenGermany Lehrstuhl fiir Fertigungsmesstechnik Friedrich-Alexander-U niversitat(FAU)Erlangen-NiirnbergGermany JUMO GmbH&Co.KG FuldaGermany Asphericon GmbH JenaGermany

The field of optical lithography is subject to intense research and has gained enormous ***,the effort necessary for creating structures at the size of 20 nm and below is considerable using conventional *** effort and the resulting financial requirements can only be tackled by few global companies and thus a paradigm change for the semiconductor industry is conceivable:custom design and solutions for specific applications will dominate future development(Fritze in:Panning EM,Liddle JA(eds)Novel patterning *** society for optics and ***,Bellingham,***://***/10.1117/12.2593229).For this reason,new aspects arise for future lithography,which is why enormous effort has been directed to the development of alternative fabrication ***,the technologies emerging from this process,which are promising for coping with the current resolution and accuracy challenges,are only demonstrated as a proof-of-concept on a lab scale of several square *** scale is not adequate for the requirements of modern lithography;therefore,there is the need for new and alternative cross-scale solutions to further advance the possibilities of unconventional *** challenges arise because of the technical progress in various other fields,realizing new and unique functionalities based on nanoscale effects,e.g.,in nanophotonics,quantum computing,energy harvesting,and life *** platforms for basic research in the field of scale-spanning nanomeasuring and nanofabrication are necessary for these tasks,which are available at the Technische Universitiit Ilmenau in the form of nanopositioning and nanomeasuring(NPM)*** this equipment,the limits of technical structurability are explored for high-performance tip-based and laser-based processes for enabling real 3D nanofabrication with the highest precision in an adequate working range of several thousand cubic millimete

关键词： Nanomeasuring Nanopositioning Nanomanufacturing Scale-spanning Tip-based Laser-based Nanofabrication

18F-DOPA PET/CT可更准确识别肾上腺外副神经节瘤的侵犯范围:与123I-MIBG SPECT/CT显像比较

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中华核医学与分子影像杂志 2018年第1期38卷 71-71页

作者：唐军 Alexander stephan Kroiss Christian Uprimny Barry Lynn Shulkn andreas Freeh Herbert Tilg Rudolf Wolfgang Gasser Georg Mathias Sprinzl Leonhard Gruber Claudius Thorné Clemens Plangger Christoph Url Gustav Fraedrich Irene Johanna Virgolini 上海交通大学医学院附属苏州九龙医院核医学科 Department of Nuclear Medicine Medical University Innsbruck

目的通过功能显像、解剖影像及两者融合,比较123I-间碘苄胍(MIBG)SPECT/CT显像和18F-多巴(DOPA)PET/CT显像对肾上腺外副神经节瘤(PGL)患者分期的准确性。方法共纳入有解剖学和(或)组织学证实的3例男性和7例女性患者(年龄26～73岁),其中... 详细信息

目的通过功能显像、解剖影像及两者融合,比较123I-间碘苄胍(MIBG)SPECT/CT显像和18F-多巴(DOPA)PET/CT显像对肾上腺外副神经节瘤(PGL)患者分期的准确性。方法共纳入有解剖学和(或)组织学证实的3例男性和7例女性患者(年龄26～73岁),其中3例有转移性头颈部PGL(HNPGL)或多灶性PGL,余7例未发现转移瘤。在CT解剖影像、18F-DOPA和123I-MIBG的功能显像、123I-MIBG SPECT/CT间进行分析比较。对每例患者和每个病灶进行分析。结果分析每例患者发现,对于非转移性和转移性多灶性PGL,18F-DOPA PET的探测率为100%,单独123I-MIBCG平面显像的探测率为10.0%,123I-MIBG SPECT/CT为20.0%。分析每个病灶的结果显示,与单独CT相比,18F-DOPA PET的灵敏度为69.2%(P<0.001),而单独123I-MIBG平面显像的灵敏度为5.6%,123IMIBG SPECT/CT为11.1%(P<0.000 1)。总体而言,18F-DOPA PET发现了18个病灶,单独CT发现了26个病灶,而单独123I-MIBG平面显像仅找到1个病灶,123I-MIBG SPECT/CT找到2个病灶。结论在HNPGL分期中,18F-DOPA PET比123I-MIBG平面显像和SPECT/CT的灵敏度更高。功能性和解剖性影像的结合(PET/CT)可排除肾上腺外PGL患者的转移性病灶。

关键词： 123I-MIBG 18F-DOPA PET/CT 肾上腺外副神经节瘤

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微小尺寸器件的CO2雪清洗

中国洗涤用品工业 2020年第1期 57-67页

作者：斯蒂芬·詹特伦汤玛斯·迪卡罗马丁·史坦那卡琳·尼尔纳安德鲁·迪策尔布李东炎(翻译) 联邦物理与技术研究所邦德卡利100号布伦瑞克38116德国布伦瑞克工业大学显微技术学院阿尔特·萨尔兹达卢默街道203号布伦瑞克38124德国不详

在许多应用中,亚毫米微小器件的表面清洗依然是一个巨大的挑战。这种挑战可能是颗粒在微观尺度上的强黏附、样品的难以处理、黏附颗粒的小尺寸和不利的几何形状等中的一种或多种。尽管如此,在器件加工、组装、包装、应用和测量之前通常... 详细信息

在许多应用中,亚毫米微小器件的表面清洗依然是一个巨大的挑战。这种挑战可能是颗粒在微观尺度上的强黏附、样品的难以处理、黏附颗粒的小尺寸和不利的几何形状等中的一种或多种。尽管如此,在器件加工、组装、包装、应用和测量之前通常是需要深度清洗的。以前对CO2雪清洗的评估几乎完全是指清洗光滑度,凹陷或凸起的表面,通常检查的器件是晶片和光学元件。在本文中,我们研究了微型齿轮上复杂表面形状的CO2雪清洗。将CO2雪清洗的效果与超声波清洗和高速空气喷射清洗进行了比较。通过对清洗前后四个研究样品的光学显微镜图像的分析,评估了72次清洗实验。结果表明,CO2雪清洗方法可以清楚测试样品中超过95%的微米级污染物。相比较而言,超声波清洗只能除去88%的颗粒,高速空气喷射也仅能除去74%的颗粒。

关键词： CO2雪清洗精密器件尺寸测量法超声波清洗高速空气喷射

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单航天器激光天文动力学空间计划（ASTROD Ⅰ）

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单航天器激光天文动力学空间计划（ASTROD Ⅰ）

中国宇航学会深空探测技术专业委员会第一届学术会议

作者：严俊倪维斗李广宇陶金河马月华包纲夏炎柳磊赵海斌潮见幸江包芸黄超光黄天衣罗俊周泽兵汤俊雄聂玉昕魏志义王海涛吴季吴雪君须重明熊耀恒张书练张杨张元仲叶贤基 Hansjrg Dittus Claus Lmmerzahl Jean Franois Mangin Achim Peters Albrecht Rüdiger tienne Samain stephan Schiller Diana Shaul Timothy Sumner Pierre Touboul andreas Wicht 中国科学院紫金山天文台中国科学院紫金山天文台中国科学院紫金山天文台中国科学院紫金山天文台中国科学院紫金山天文台中国科学院紫金山天文台中国科学院紫金山天文台中国科学院紫金山天文台中国科学院紫金山天文台清华大学物理系中山大学力学系中国科学院高能物理研究所南京大学天文系华中科技大学物理系华中科技大学物理系北京大学电子学系中国科学院物理研究所中国科学院物理研究所南京航空航天大学测量与控制工程系中国科学院空间科学与应用中心南京师范大学物理系南京师范大学物理系中国科学院国家天文台云南天文台清华大学精密仪器系中国科技大学天文与应用物理系中国科学院理论物理研究所南洋科技大学制造工程学院 Center for Applied Space Technology and Microgravity Univ.of BremenGermany Center for Applied Space Technology and Microgravity Univ.of BremenGermany CERGA Observatoire de la Cote D’AzurGrasseFrance Department of Experimental Physics University of BerlinBerlinGermany Max-Planck-Institut für Gravitationsphysik GrchingGermany CERGA Observatoire de la Cote D’AzurGrasseFrance Department of Exp.Physics University of DüsseldorfDüsseldorfGermany Imperial College LondonUK Imperial College LondonUK ONERA Chatillon CedexFrance Department of Exp.Physics University of DüsseldorfDüsseldorfGermany

单航天器激光天文动力学空间计划（ASTROD I）是激光天文动力学空间计划（ASTROD: Astrodynamical Space Test of Relativity using Optical Devices）的第一步。ASTROD I空间计划概念是:使用一个在太阳轨道上的无拖曳航天器与地面站以... 详细信息

单航天器激光天文动力学空间计划（ASTROD I）是激光天文动力学空间计划（ASTROD: Astrodynamical Space Test of Relativity using Optical Devices）的第一步。ASTROD I空间计划概念是:使用一个在太阳轨道上的无拖曳航天器与地面站以双向激光干涉跟踪和脉冲计时测距的方法,精确地探讨天文动力学,检测相对论与时空基本定律,改进棵测引力波的灵敏度以及更准确地测定太阳、行星和小行星的参数。ASTROD I在天文动力学和检测相对论与时空基本定律方面, 精确度将比现在提高3个数量级;在测定太阳、行星和小行星参数方面,精确度将比现在提高1 -3个数量级。ASTROD I对引力波的探测灵敏度,也可以比现在的射电波追踪航天器的探测方法稍作提高。航天器可由长征四号乙（CZ-4B）运载火箭发射,从低绕地转移轨道直接进入绕日轨道,经由金星引力助推两次,于发射后三百七十天抵达太阳对面从事相对论Shapiro效应测量。乐观的发射日期可在2012年、2013年或2015年。单航天器激光天文动力学空间计划的推动,可以对重要关键技术如无拖曳航天、弱光锁相、空间光通讯等的发展起到带头作用。本计划正在进行第一阶段顸研究,主要由中国和欧洲的德国、英国和法国科学家合作进行。

关键词：天文动力学空间计划激光测距相对论检测太阳系测量

来源： cnki会议评论

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宝马世界

城市环境设计 2020年第4期126卷 134-149页

作者：沃尔夫·狄·普瑞克斯 Paul Kath Tom Wiscombe Waltraut Hoheneder Mona Marbach Hans Aescht Beatrix Basting Guy Bebiè Chris Beccone Johannes Behrens Marcelo Bernardi Pawel Bodzak Verena Boyer Antja Bulthaup Claudia Buhmann Timo Carl Jan Chaldil Ing Tse Chen Tadeusz Chimiak Andrea Christmann Patrick Erhardt stephan Exsternbrink Wolfgang Fiel Benedikt Frass Helmut Fr?tscher Volker Gessendorfer Andrea Graser Lukas Haller Markus Henning Armin Hess Jens Hoff Tamas Horvath Robert Huebser Astrid Jagersberger Marin Jurycz Gregor Kassl Areta Keller Markus Klausecker Tobias Klein Martin Konrad Quirin Krumbholz Caroline Kufferath Marion Lattenmayer Stefan Laub Wolfgang Leitgeb andreas Mieling Karin Miesenberger Dennis Milam Elke Müller Henrike Münker Claudia Nehammer Martin Oberascher Alexander Ott Stefan Pfefferle Florian Pfeifer Markus Pillhofer Ekkehard Rehfeld Goswin Rothenthal Wolfgang Ruthensteiner Jasmin Sauerbier Florian Schafschetzy Kristina Schinegger Karolin Schmidbaur Patrick Schneider Katharina Schneider Hubert Schoba Angus Schoenberger Andrea Sch?ning Anja Sorger Gernot Stangl Mark Steinmetz Sigrid Steinwender Martina Tippelskirch Dionicio Valdez Pascal Vauclair Akvile Rimantaite andreas Weissenbach Heribert Wolfmayer Irina Zahler 2007 Ari Marcopoulos Gerald Zugmann Hélène Binet Duccio Malagamba Marcus Buck Christian Richters Richard Walch

项目大事记/CHRONOLOGY竞赛（一等奖）/Competition（1st Prize）:2001规划设计起始时间/Start of Planning:11/2001施工起始时间/Start of Construction:08/2003投入使用/Opening:20/10/2007-21/10/2007项目参数/PROJECT DATA用地面积/Site Area:约25 000m2/Approx. 25 000m2建筑毛面积/Gross Floor Area:约73 000m2（除坡道）=100%/Approx.73 000m2（excluding ramps）=100%地上建筑毛面积/Gross Floor Area above ground:约28 500m2=40%/Approx.28 500m2=40%地下建筑毛面积/Gross Floor Area underground:约44 500m2=60%/Approx.44 500m2=60%

关键词：