微小尺寸器件的CO2雪清洗

作     者：斯蒂芬·詹特伦 汤玛斯·迪卡罗 马丁·史坦那 卡琳·尼尔纳 安德鲁·迪策尔布 李东炎(翻译) Stephan Jantzena;Thomas Decarreauxa;Martin Steina;Karin Kniela;Andreas Dietzelb

作者机构：联邦物理与技术研究所邦德卡利100号布伦瑞克38116德国 布伦瑞克工业大学显微技术学院阿尔特·萨尔兹达卢默街道203号布伦瑞克38124德国 不详 

出 版 物：《中国洗涤用品工业》 (China Cleaning Industry)

年 卷 期：2020年第1期

页      面：57-67页

学科分类：081702[工学-化学工艺] 08[工学] 0817[工学-化学工程与技术] 

主　　题：CO2雪清洗 精密器件 尺寸测量法 超声波清洗 高速空气喷射 

摘      要：在许多应用中,亚毫米微小器件的表面清洗依然是一个巨大的挑战。这种挑战可能是颗粒在微观尺度上的强黏附、样品的难以处理、黏附颗粒的小尺寸和不利的几何形状等中的一种或多种。尽管如此,在器件加工、组装、包装、应用和测量之前通常是需要深度清洗的。以前对CO2雪清洗的评估几乎完全是指清洗光滑度,凹陷或凸起的表面,通常检查的器件是晶片和光学元件。在本文中,我们研究了微型齿轮上复杂表面形状的CO2雪清洗。将CO2雪清洗的效果与超声波清洗和高速空气喷射清洗进行了比较。通过对清洗前后四个研究样品的光学显微镜图像的分析,评估了72次清洗实验。结果表明,CO2雪清洗方法可以清楚测试样品中超过95%的微米级污染物。相比较而言,超声波清洗只能除去88%的颗粒,高速空气喷射也仅能除去74%的颗粒。