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The Effect of Diffusion Barrier and Bombardment on Adhesive Strength of CuCr Alloy Films

材料热处理学报 2004年第5B期25卷 875-878页

作者： WANGJian-feng songzhong-xiao XUKe-wei WANGYuan StateKeyLaboratoryforMechanicalBehaviorofMaterials Xi＇anJiaotongUniversityXi＇anChina KeyLabforPhysicalElectronicsandDevicesMinistryofEducation Xi＇anJiaotongUniversityXi＇anChina

A novel co-sputtering method that combined magnetron sputtering (MS) with ion beam sputtering (IBS) was used to fabricate CuCr alloy films without breaking vacuum after depositing diffusion barrier with IBS. Different bombardment energies were used to improve the comprehensive properties of Cu alloy film. The results indicated that the effects of diffusion barriers and bombardment energy on adhesive strength could be evaluated by a rolling contact fatigue adhesion test. Diffusion barrier can enhance the adhesive strength, and the adhesion of CuCr/CrN was higher than that of CuCr/TiN. When bombarding energy was higher, the adhesive strength of CuCr/TiN films was higher due to the broader transition zone.

关键词： CuCr合金扩散势垒粘合强度离子束溅射磁控管溅射

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Effect of Annealing Ambience on the Chemical Stability of Zr-Si-N Diffusion Barrier

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材料热处理学报 2004年第5B期25卷 1225-1228页

作者： songzhong-xiao WANGYuan XUKe-wei LIUChun-liang KeyLabforPhysicalElectronicsandDevicesMinistryofEducation Xi＇anJiaotongUniversity710049Xi＇anChina State-KeyLaboratoryforMechanicalBehaviorofMaterials Xi＇anJiaotongUniversity710049Xi＇anChina

Zr-Si-N films were deposited by RF magnetron sputtering (MS) technique. A Cu film on the top of Zr-Si-N films was prepared by DC pulsed magnetron sputtering. The Cu/Zr-Si-N systems were annealed in vacuum and N2/H2 gas mixture at 800°C, respectively. The structure of the films were characterized by X-ray diffraction (XRD), Auger electron spectroscopy (AES) and four-point probe method. The sheet resistances of the Cu/Zr-Si-N/Si contact systems annealed in N2/H2 gas mixture were lower than those of the specimens annealed in vacuum at 800°C. The residual oxygen contamination from vacuum annealing ambience influences the sheet resistances of the Cu/Zr-Si-N/Si contact systems due to residual oxygen contamination and/or voids in Cu films. Though thermal stabilities of the Cu/Zr-Si-N/Si systems were maintained up to 800°C when annealed in vacuum and N2/H2 gas mixture, the changes of thermal stability of specimens were noticeable. The vacuum can accelerate the oxidation and decomposition of Zr-Si-N barrier. On the contrary, N2/H2 gas mixture prevent from the Zr-Si-N barrier oxidation and decomposition.

关键词：扩散势垒 Zr-Si-N 退火化学稳定性

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星点设计-效应面法优化二氢槲皮素提取工艺

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化学工程师 2021年第2期35卷 10-13,16页

作者：逄弓一郎卓小玉刘玉婷田明黑龙江中医药大学黑龙江哈尔滨150040

目的星点设计-效应面法优化二氢槲皮素提取工艺。方法自变量为乙醇浓度、溶剂用量、提取时间,测得落叶松中二氢槲皮素含量为因变量,通过自变量各水平的多元线性回归及二项式拟合,以星点设计-效应面法选取优良工艺进行预测,并从中得出符... 详细信息

目的星点设计-效应面法优化二氢槲皮素提取工艺。方法自变量为乙醇浓度、溶剂用量、提取时间,测得落叶松中二氢槲皮素含量为因变量,通过自变量各水平的多元线性回归及二项式拟合,以星点设计-效应面法选取优良工艺进行预测,并从中得出符合生产的实际结论。结果经t检验显示,模型方程具有显著性(P<0.05),r=0.9866落叶松中二氢槲皮素含量较高,考虑实际生产情况下,二氢槲皮素提取最优工艺为乙醇含量为80%、乙醇体积是药材的10倍量、回流提取时间2h、提取次数为2次对实际生产效果最好。结论星点设计-效应面法优化二氢槲皮素提取工艺,可以得出在较短的时间内从条件中选出最优的方案,之后采用HPLC法检测快速、准确,可较好地检测二氢槲皮素含量。

关键词：落叶松二氢槲皮素高效液相色谱法

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