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Highly compliant planar Hall effect sensor with sub 200 nT sensitivity

npj Flexible Electronics 2019年第1期3卷 25-30页

作者： pablo nicolás granell Guoliang Wang Gilbert santiago Cañon Bermudez Tobias Kosub Federico Golmar Laura steren Jürgen Fassbender Denys Makarov Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V. Institute of Ion Beam Physics and Materials ResearchBautzner Landstrasse 40001328 DresdenGermany Instituto Nacional de Tecnología Industrial(INTI) Centro de Micro-y Nanoelectrónica del Bicentenario(CMNB)Av.Gral Paz 5445B1650KNA San MartínBuenos AiresArgentina Escuela de Ciencia y Tecnología UNSAMCampus MigueleteB1650KNA San MartínBuenos AiresArgentina Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas C1425FQB Ciudad Autónoma de Buenos AiresArgentina Instituto de Nanociencia y Nanotecnología B1650KNA San MartínBuenos AiresArgentina Dpto.Materia Condensada Centro Atómico ConstituyentesB1650 San MartínBuenos AiresArgentina

Being a facet of flexible electronics,mechanically reshapeable magnetic field sensorics enable novel device ideas for soft robotics,interactive devices for virtual-and augmented reality and point of care *** applications demand mechanically compliant yet robust sensor devices revealing high sensitivity to small magnetic *** push the detection limit of highly compliant and linear magnetic field sensors to be in the sub-µT range,we explore a new fundamental concept for magnetic field sensing,namely the planar Hall effect in magnetic thin *** their remarkable bendability down to 1 mm,these compliant planar Hall effect sensors allow for an efficient detection of magnetic fields as small as 200 nT with a limit of detection of 20 *** demonstrate the application potential of these devices as a direction(angle)as well as proximity(distance)sensors of tiny magnetic fields emanating from magnetically functionalized *** their intrinsic linearity and simplicity of fabrication,these compliant planar Hall effect sensors have the potential to become a standard solution for low field applications of shapeable magnetoelectronics in point of care applications and on-skin interactive electronics.

关键词： interactive planar limit

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