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    • 2 篇 电子科学与技术（可...
  • 1 篇 理学
    • 1 篇 物理学

主题

  • 1 篇 低能离子注入法
  • 1 篇 光探测器
  • 1 篇 测试系统
  • 1 篇 浅结
  • 1 篇 紫外光探测器
  • 1 篇 光响应
  • 1 篇 紫外光
  • 1 篇 硅

机构

  • 2 篇 detectiontechnol...
  • 2 篇 清华大学

作者

  • 2 篇 陈武
  • 2 篇 mikkomatikkala
  • 2 篇 王勇
  • 2 篇 王水弟
  • 2 篇 单一林

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  • 2 篇 中文
检索条件"作者=MikkoMatikkala"
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200～1100nm光响应测试系统的研制
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半导体光电 2000年 第4期21卷 291-292,295页
作者： 陈武 王勇 王水弟 单一林 mikkomatikkala 清华大学微电子学研究所 北京100084 DetectionTechnologyInc.
设计并制作了 2 0 0～ 110 0nm的光响应测试系统 ,该系统工作稳定可靠 ,并可消除光源抖动和突发性光源对测试的影响。
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
硅浅结紫外光探测器的研究
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引用
半导体光电 2000年 第3期21卷 203-205页
作者： 陈武 王勇 王水弟 单一林 mikkomatikkala 清华大学微电子学研究所 北京100084 DetectionTechnologyInc.
采用低能离子注入法在Si材料上制作了浅结结构紫外光 (UV )探测器 ,介绍了探测器的结构设计、工艺制作以及主要测量结果。实验证明 ,这种探测器能够有效地探测波长为 2 0 0nm至 4 0 0nm的紫外光。
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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