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应用于前沿技术节点的集成生产覆盖逐场控制
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中国集成电路 2016年 第7期25卷 69-75页
作者： Woong Jae Chung John Tristan Karsten Gutjahr Lokesh Subramany Chen Li Yulei Sun mark yelverton Young Ki Kim Jeong Soo Kim Chin-Chou Kevin Huang William Pierson Ramkumar Karur-Shanmugam Brent Riggs Sven Jug John C.Robinson Lipkong Yap Vidya Ramanathan GLOBALFOUNDRIES 400 Stone Break Road Extension Malta NY 12020 USA KLA-Tencor corp. 1 Technology Drive Milpitas CA 95035 USA
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