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Plasma atomic layer etching of GaN/AlGaN materials and application: An overview

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Journal of Semiconductors 2022年第11期43卷 70-77页

作者： Lulu Guan Xingyu Li Dongchen Che kaidong xu Shiwei Zhuang School of Physics and Electronic Engineering Jiangsu Normal UniversityXuzhou 221116China Jiangsu Leuven Instruments Co.Ltd Xuzhou 221300China

With the development of the third generation of semiconductor devices,it is essential to achieve precise etching of gallium nitride(GaN)materials that is close to the atomic *** with the traditional wet etching and continuous plasma etching,plasma atomic layer etching(ALE)of GaN has the advantages of self-limiting etching,high selectivity to other materials,and smooth etched *** this paper the basic properties and applications of GaN are *** also presents the various etching methods of *** plasma ALE systems are reviewed,and their similarities and differences are *** addition,the industrial application of GaN plasma ALE is outlined.

关键词： gallium nitride plasma etching atomic layer etching self-limiting

Effect of hydrogen content on dielectric strength of the silicon nitride film deposited by ICP-CVD

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Chinese Physics B 2021年第4期30卷 550-554页

作者： Yudong Zhang Jiale Tang Yongjie Hu Jie Yuan Lulu Guan Xingyu Li Hushan Cui Guanghui Ding Xinying Shi kaidong xu Shiwei Zhuang School of Physics and Electronic Engineering Jiangsu Normal UniversityXuzhou 221116China Jiangsu Leuven Instruments Co.Ltd Xuzhou 221300China

The inductively coupled plasma chemical vapor deposition(ICP-CVD) deposited silicon nitride(SiN_(x)) thin film was evaluated for its application as the electrical insulating film for a capacitor *** order to achieve highest possible dielectric strength of SiN_(x),the process parameters of ICP-CVD were carefully tuned to control hydrogen in SiN_(x) films by means of tuning N_(2)/SiH_(4) ratio and radio frequency(RF) *** electrical measurements,the hydrogen content in the films was measured by dynamic secondary ion mass spectrometry(D-SIMS).Fourier transform infrared spectroscopy(FTIR) and micro Raman spectroscopy were used to characterize the SiN_(x) films by measuring Si-H and N-H bonds’ *** was found that the more Si-H bonds lead to the higher dielectric strength.

关键词： dielectric strength silicon nitride film inductively coupled plasma chemical vapor deposition(ICP-CVD) hydrogen content

国有银行金融交易结构比较与其金融风险状态分析

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统计研究 1999年第6期16卷 3-11页

作者：黄敏徐开东湖北省随州市建设银行湖北省随州市人民银行

在传统体制下，我国国有银行是一种行政机关及经济组织的捏合体，垄断信用、统存统贷，并履行结算支付职能，充当“公共簿记”。在社会经济活动有限的债权债务关系中，银行的最终债权人与最终债务人都是国家，银行经营成果及收支最后均... 详细信息

在传统体制下，我国国有银行是一种行政机关及经济组织的捏合体，垄断信用、统存统贷，并履行结算支付职能，充当“公共簿记”。在社会经济活动有限的债权债务关系中，银行的最终债权人与最终债务人都是国家，银行经营成果及收支最后均由财政统一包揽，事实上并不存在真正...

关键词：国有银行金融交易金融风险中国

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表面纳米化镁合金的微波诱导渗铝行为

特种铸造及有色合金 2011年第7期31卷 599-603页

作者：王继娜徐开东河南城建学院土木与材料工程系

采用真空高温微波炉对表面自身纳米化处理前后的Mg-Gd系稀土变形镁合金试样进行了粉末包覆扩散合金化试验。通过光学显微镜和高分辨透射电镜研究了由表层沿厚度方向不同变形层区的微观结构特点及微观组织细化特征,并通过X射线衍射仪对... 详细信息

采用真空高温微波炉对表面自身纳米化处理前后的Mg-Gd系稀土变形镁合金试样进行了粉末包覆扩散合金化试验。通过光学显微镜和高分辨透射电镜研究了由表层沿厚度方向不同变形层区的微观结构特点及微观组织细化特征,并通过X射线衍射仪对不同条件下微波处理的合金化层的物相进行了分析。结果表明,塑性变形层的微观组织和结构呈梯度分布,在试样表层形成了尺寸为10-20nm晶界清晰的纳米晶粒;微波诱导显著降低了扩散合金化温度,具有纳米化表层的镁合金在320℃实现了Al元素合金化;高体积分数的晶界和严重的畸变,促进了扩散合金化进程,且在相同试验条件下,纳米化处理的合金化层厚度达到未经纳米化处理的2-3倍。

关键词：微波诱导镁合金表面纳米化渗铝

稀土镁合金表面激光TiB_2合金化层的结构与性能

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特种铸造及有色合金 2012年第11期32卷 1070-1073页

作者：徐开东王继娜河南城建学院土木与材料工程系

采用新型高性能TiB2陶瓷微粉体,以Al粉作为粘结相,通过Nd∶YAG激光表面合金化工艺,对耐热、高强Mg-Gd系变形镁合金进行了表面激光合金化处理。利用SEM、XRD、TEM、显微硬度仪、摩擦磨损试验机和ZahnerIM6ex型电化学工作站分别对不同TiB... 详细信息

采用新型高性能TiB2陶瓷微粉体,以Al粉作为粘结相,通过Nd∶YAG激光表面合金化工艺,对耐热、高强Mg-Gd系变形镁合金进行了表面激光合金化处理。利用SEM、XRD、TEM、显微硬度仪、摩擦磨损试验机和ZahnerIM6ex型电化学工作站分别对不同TiB2含量合金化层的精细结构、物相、耐磨及耐蚀性能等进行了检测和分析。结果表明,合金化层中Al元素与镁合金基体中的Gd、Y等元素产生了原位反应,生成了高温硬质相Al2Gd和Al2Y等金属间化合物,且强化相TiB2未发生分解;原位合成的金属间化合物尺寸为100nm左右,强化相TiB2粒度为200nm左右,强化相与基体相容性良好,呈均匀分布,但分布特点和结构差异显著;合金化层整体显微硬度提高达4～6倍,且随着TiB2含量增多而增大;摩擦因数和磨损质量损失却表现出了相反的变化趋势;在一定配比范围内,激光表面合金化处理能有效改善镁合金的耐蚀性能。

关键词：镁合金激光表面TiB2合金化精细结构性能

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水玻璃旧砂基透水烧结路面砖的制备

辽宁工程技术大学学报（自然科学版） 2016年第12期35卷 1470-1474页

作者：王继娜徐开东牛季收河南城建学院土木工程学院河南平顶山467036

为研究铸造工业产生的固体废弃物-水玻璃旧砂制备砂基透水烧结路面砖的可行性，研究了水玻璃旧砂掺量、煤矸石粒径、烧结温度和保温时间对透水烧结路面砖透水系数和抗压强度的影响，并通过微观结构分析了水玻璃旧砂制备透水烧结路面砖... 详细信息

为研究铸造工业产生的固体废弃物-水玻璃旧砂制备砂基透水烧结路面砖的可行性，研究了水玻璃旧砂掺量、煤矸石粒径、烧结温度和保温时间对透水烧结路面砖透水系数和抗压强度的影响，并通过微观结构分析了水玻璃旧砂制备透水烧结路面砖的机理．结果表明：采用水玻璃旧砂可以制备出透水系数和抗压强度均满足国家标准要求的透水烧结路面砖；水玻璃旧砂掺量为70％时，透水烧结路面砖的综合性能较好；煤矸石粒度为0．16～2．5mm时，透水烧结路面砖的透水系数和抗压强度均可以达到国家标准的要求；烧成温度为1000℃时制得的透水烧结路面砖的透水系数和抗压强度已经可以满足国家标准的要求；制备水玻璃旧砂基透水烧结路面砖较适宜的保温时间为40-60min．

关键词：水玻璃旧砂透水烧结路面砖透水系数抗压强度微观结构制备工艺

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典型硬化工艺水玻璃砂型吸湿机理研究

热加工工艺 2012年第13期41卷 45-48页

作者：王继娜徐开东樊自田河南城建学院土木与材料工程系河南平顶山467036 华中科技大学材料科学与工程学院湖北武汉430074

吸湿性强是水玻璃砂工艺的一个较难解决的问题,尤其在我国南方的梅雨季节,型砂的吸湿性给生产带来了很大的麻烦,如砂型的硬透性差、易产生蠕变等。测试了粉末硬化、酯硬化、微波硬化三种典型水玻璃砂型,存放于高湿度环境中的吸湿量、强... 详细信息

吸湿性强是水玻璃砂工艺的一个较难解决的问题,尤其在我国南方的梅雨季节,型砂的吸湿性给生产带来了很大的麻烦,如砂型的硬透性差、易产生蠕变等。测试了粉末硬化、酯硬化、微波硬化三种典型水玻璃砂型,存放于高湿度环境中的吸湿量、强度变化情况及强度损失率;通过XRD测试了三种典型水玻璃砂硬化工艺粘结剂膜的成分,分析了它们的吸湿机理;讨论了三种典型硬化水玻璃砂工艺吸湿后的强度损失机制,为解决水玻璃砂型的吸湿性问题奠定了理论基础。

关键词：粉末硬化酯硬化微波硬化水玻璃砂吸湿性

低温HVOF微粒撞击稀土镁合金表面纳米化的组织特征

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稀有金属材料与工程 2010年第7期39卷 1199-1201页

作者：王洋王爱华徐开东董选普张祥林华中科技大学湖北武汉430074

材料失效多发生于表面,采用超音速火焰喷涂设备获得了低温HVOF微粒,对稀土镁合金表面进行纳米化处理,并利用金相显微镜和透射电镜对处理后的试样进行微观组织表征分析,沿试样厚度方向进行显微硬度测试。结果表明:镁合金表层晶粒细化明显... 详细信息

材料失效多发生于表面,采用超音速火焰喷涂设备获得了低温HVOF微粒,对稀土镁合金表面进行纳米化处理,并利用金相显微镜和透射电镜对处理后的试样进行微观组织表征分析,沿试样厚度方向进行显微硬度测试。结果表明:镁合金表层晶粒细化明显,形成了晶粒尺寸小于20nm的随机取向的纳米晶,纳米晶层深约80μm,随着深度的增加晶粒尺寸增加。表面纳米化是通过位错和孪晶的协调变形,导致大晶粒被分割细化而成。表层硬度显著提高,是基体硬度的2倍。

关键词：低温微粒撞击稀土镁合金表面纳米化 HVOF

HVOF微粒撞击诱导镁合金表面纳米化工艺研究

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稀有金属材料与工程 2011年第7期40卷 1271-1276页

作者：徐开东王爱华王洋董选普张祥林黄早文华中科技大学材料成形与模具技术国家重点实验室湖北武汉430074

研究了超音速火焰喷涂(HVOF,high velocity oxygen-fuel flame)微粒撞击诱导Mg-15Gd-3Y镁合金表面纳米化新工艺,分析了不同工艺参数对表层变形及纳米化的影响规律。发现撞击钢丸粒径大小、轰击距离和处理时间对表层组织和硬度分布具有... 详细信息

研究了超音速火焰喷涂(HVOF,high velocity oxygen-fuel flame)微粒撞击诱导Mg-15Gd-3Y镁合金表面纳米化新工艺,分析了不同工艺参数对表层变形及纳米化的影响规律。发现撞击钢丸粒径大小、轰击距离和处理时间对表层组织和硬度分布具有重要影响。通过光学显微镜和透射电镜观察了表面自身纳米化处理后镁合金样品表层组织的形变特征和纳米化效果;利用显微硬度仪测试了样品从表面至基体的硬度分布;采用X射线衍射仪分析了纳米化处理前后样品表层的物相变化情况。检测结果显示,该工艺在镁合金材料表面成功实现了自身纳米化,表层晶粒细化至20nm左右,显微硬度提高至2倍以上,处理后样品表层没有出现氧化。

关键词： Mg-15Gd-3Y HVOF微粒撞击表面自身纳米化工艺控制