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检索条件"作者=Jiaqi ZHU Jiecai HAN Songhe MENG Qiang LI Manlin TAN"
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Effect of Substrate Bias on Microstructure and Properties of Tetrahedral Amorphous Carbon Films
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Journal of Materials Science & Technology 2003年 第Z1期19卷 109-111页
作者： jiaqi zhu jiecai han songhe meng qiang li manlin tan Center of Composite Materials Harbin Institute of Technology Harbin 150001 China Center of Composite Materials Harbin Institute of Technology Harbin 150001 China Center of Composite Materials Harbin Institute of Technology Harbin 150001 China Center of Composite Materials Harbin Institute of Technology Harbin 150001 China Center of Composite Materials Harbin Institute of Technology Harbin 150001 China
The microstructure and properties of tetrahedral amorphous carbon (ta-C) films deposited by the filtered cathodic vacuum arc technology has been investigated by visible Raman spectroscopy, AFM and Nano-indentor. The R... 详细信息
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