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  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...

主题

  • 1 篇 磁控溅射
  • 1 篇 振动
  • 1 篇 粒子沉积
  • 1 篇 功能薄膜

机构

  • 1 篇 英国曼彻斯特城市...

作者

  • 1 篇 asima farooq
  • 1 篇 peter j kelly
  • 1 篇 marina ratova
  • 1 篇 may azzawi
  • 1 篇 david sawtell
  • 1 篇 glen t west

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"作者=David Sawtell"
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磁控溅射用于细微颗粒涂镀功能薄膜的新技术
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辽宁科技大学学报 2017年 第2期40卷 126-132页
作者： Peter J Kelly david sawtell Glen T West May Azzawi Asima Farooq Marina Ratova 英国曼彻斯特城市大学科学与工程学院 英国曼彻斯特M15GD
磁控溅射是一项成熟的技术,可用在各种基体上沉积高质量金属及陶瓷涂层。然而,此项技术一般并不适于涂镀微粒粒度为nm或μm到100μm的细微粒涂层。本文详述了一种可涂镀微粒粒径在上述范围的均匀功能薄膜的技术。在磁场下面安放的一个... 详细信息
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