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Power characteristics of multiple inductively coupled RF discharges inside a metallic chamber

Plasma Science and Technology 2022年第1期24卷 70-76页

作者： dane lojen Rok ZAPLOTNIK Miran MOZETIC Alenka VESEL Gregor PRIMC Department of Surface Engineering Jozef Stefan InstituteJamova cesta 391000 LjubljanaSlovenia Jozef Stefan International Postgraduate School Jamova cesta 391000 LjubljanaSlovenia Plasmadis Ltd. Teslova ulica 301000 LjubljanaSloven

The characteristics of an innovative configuration of multiple radiofrequency(RF)coils immersed in a large metallic chamber are ***-cooled copper coils were mounted within the slits of double-walled glass tubes,which were immersed into a stainless-steel *** coils were connected in parallel to a gamma-type matching network,powered by an RF generator operating at industrial *** leads enabled optimisation of the line impedances and thus uniformly distributed RF power across the four *** from E-to H-mode and vice versa were measured for all coils at various oxygen pressures between 5 and 25 Pa.A uniform plasma was sustained in H-mode at the absorbed power threshold,which increased monotonously with increasing pressure in the metallic *** coils exhibit the same E-to H-mode transition hysteresis and need the same amount of power for transitioning from E-to *** setup enables maintaining uniform plasma in virtually any number of coils at high power without the risk of arcing and without the dead volume typical for a classical configuration with coils mounted outside the metallic chamber.

关键词： inductively coupled plasma large-area plasma E-to H-mode transition high power

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