检索结果-南通市图书馆

Thermal Annealing of Gold Thin Films on the Structure and Surface Morphology Using RF Magnetron Sputtering

材料科学与工程（中英文B版） 2018年第2期8卷 66-76页

作者： Moniruzzaman Syed caleb glaser Cameron Hynes Muhtadyuzzaman Syed Division of Natural and Mathematical Sciences Lemoyne-Owen CollegeMemphisTN 38126USA Sandia National Laboratories AlbuquerqueNM 87185USA Department of Electrical and Computer Engineering Purdue UniversityWest LafayetteIN 47907USA

Gold(Au)thin films were deposited on SiO2 substrate under argon(Ar)gas environment using RF(radio frequency)magnetron sputtering at room temperature for various deposition *** samples have been annealed at the temperature range of 250-450°*** change of the structural and surface morphological properties of both as-deposited and annealed films has been studied using an AFM(atomic force microscope),XRD(X-ray diffraction)and Raman *** improvement of crystallinity was observed at the annealing temperature of 350°C and degradation was found *** agreement with XRD and Raman measurements,both crystallite size and crystalline volume fraction were found to be increased having maximum at 350°C and decreased *** result can be explained by simple kinetic theory where sticking probabilities,Au structures agglomerated on SiO2 surfaces and surface coverage of Au atoms must be ***,it can also be explained by the occurrence of two competing phenomena like roughening induced grain growth and smoothing induced inhibition of grain growth with increasing annealing *** mechanisms are also discussed.

关键词： Gold annealing and magnetron sputtering

来源：

维普期刊数据库评论

在线全文

维普期刊数据库

学校读者我要写书评

暂无评论

欢迎您,

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

在线全文

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：

通借通还

欢迎您,

建议与咨询 留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

在线全文

请选择保存的检索档案： 新增检索档案 确定 取消

请选择收藏分类： 新增自定义分类 确定 取消

通借通还

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：