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主题

  • 1 篇 硅中氧
  • 1 篇 红外光谱

机构

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  • 1 篇 北京大学
  • 1 篇 rudjer boskovic ...

作者

  • 1 篇 b.pivac
  • 1 篇 a.borghesi
  • 1 篇 陈辰嘉
  • 1 篇 a.sassella

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"作者=B.Pivac"
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硅中氧的高空间分辨本领红外光谱
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Journal of Semiconductors 1992年 第11期13卷 668-674页
作者： 陈辰嘉 A.borghesi A.Sassella b.pivac 北京大学物理系 Dipartimento di Fisica'A.Volta'.Universita di Pavia.I-27100 Pavia.Italy Rudjer boskovic Institute P. O. Box 1016 YU'-41000 Zagreb Croatia Yugoslavia
用高空间分辨本领的富利埃变换红外光谱研究了CZ法生长硅薄片中氧的沉淀.用此技术我们能探测到单个沉淀物的聚集所贡献的1230cm^(-1)处的吸收带.实验发现在1100℃退火80分钟就足以形成薄层盘形的SiO_2沉淀物.获得的样品中沉淀物的空间... 详细信息
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