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中国空间科学技术 1997年第3期17卷 27-31,38页

作者：孙亦宁郭晚土李敬起梁歆桉兰州物理研究所

金刚石膜的研究已进入了以应用为主的阶段。介绍了金刚石膜的最新发展水平；概括了它们在空间光学、摩擦润滑，空间电子装置的热管理和环境探测方面的一些应用；指出了金刚石膜在航天工业中的重要性，它们的相互促进关系和发展前景。

关键词：金刚石薄膜航空航天系统发展趋势

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化学气相沉积金刚石膜的光学性质

兰州大学学报（自然科学版） 2003年第2期39卷 35-38页

作者：张继华李敬起孙亦宁郭晚土高欣雷青松王曦柳湘怀中国科学院上海微系统与信息技术研究所中国空间技术研究院兰州物理研究所甘肃兰州730000 中国空间技术研究院兰州物理研究所

多晶金刚石膜的光学性质与工艺参数密切相关 .采用一较为完备的金刚石透过率模型 ,研究了一系列金刚石膜在中远红外区的光学性质 .并得出了不同衬底预处理方法和反应室中甲烷分压对 CVD膜的平均透过率、表面粗糙度、非金刚石相含量、各... 详细信息

多晶金刚石膜的光学性质与工艺参数密切相关 .采用一较为完备的金刚石透过率模型 ,研究了一系列金刚石膜在中远红外区的光学性质 .并得出了不同衬底预处理方法和反应室中甲烷分压对 CVD膜的平均透过率、表面粗糙度、非金刚石相含量、各种成分的吸收系数等光学性质的影响。

关键词：金刚石膜光学性质化学气相沉积透过率表面粗糙度吸收系数

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通过圆形管道的分子流流导几率的计算

真空科学与技术学报 1982年第6期 366-374页

作者：郭晚土兰州物理研究所

导出一个简单的流导几率公式,与克劳辛的计算结果有大致相同的误差;扩大了克劳辛方程的使用范围,研究具有吸附内表面的管道的流导几率问题,并导出了具体公式。在管长与半径之比值大于1时,公式的误差小于1％。

关键词：流导几率计算结果方程劳辛管道长度分子流代入线性函数近似函数

微波化学气相沉积中气压对金刚石薄膜生长速率和质量的影响

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物理学报 2007年第12期56卷 7183-7187页

作者：李晓红郭晚土陈学康吴敢杨建平王瑞曹生珠余荣西南科技大学理学院绵阳621010 兰州物理研究所兰州730000

研究了微波化学气相沉积中沉积气压对金刚石薄膜生长速率和质量的影响.研究表明,金刚石薄膜的生长速率随沉积气压的提高而增大,生长速率与沉积气压为线性关系.在高沉积气压下生长的金刚石薄膜晶形完整,拉曼谱测量可得到锐利的金刚石相的... 详细信息

研究了微波化学气相沉积中沉积气压对金刚石薄膜生长速率和质量的影响.研究表明,金刚石薄膜的生长速率随沉积气压的提高而增大,生长速率与沉积气压为线性关系.在高沉积气压下生长的金刚石薄膜晶形完整,拉曼谱测量可得到锐利的金刚石相的峰,但电压-电流测量表明,随着制备时沉积气压的提高,金刚石薄膜的暗电流增大,膜的电学质量下降.

关键词：金刚石薄膜生长速率沉积气压

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金刚石膜高能粒子探测器

真空科学与技术 1997年第5期17卷 336-339页

作者：孙亦宁李敬起郭晚土谭继廉晁致远王柱生兰州物理研究所兰州730000 中国科学院近代物理研究所兰州730000

评述了金刚石膜探测器的优缺点，简要地介绍了由化学气相沉积的多晶金刚石膜所制成的辐射探测器，以及利用此探测器对α粒子进行测量的初步结果。

关键词：金刚石膜高能粒子探测器 α粒子辐照

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纳米金刚石薄膜紫外探测器研究

真空科学与技术学报 2009年第S1期29卷 16-20页

作者：王兰喜陈学康王云飞郭晚土吴敢曹生珠尚凯文兰州物理研究所表面工程国防科技重点实验室甘肃兰州730000

利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术,制备了高表面光洁度(其表面的高度标准偏差约为8.6nm)的纳米金刚石薄膜,在其表面上制作了共平面MSM结构的紫外探测器。电荷-深能级瞬态谱(Q-DLTS)测试表明,纳米金刚石薄膜的带隙中引入了一个能... 详细信息

利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术,制备了高表面光洁度(其表面的高度标准偏差约为8.6nm)的纳米金刚石薄膜,在其表面上制作了共平面MSM结构的紫外探测器。电荷-深能级瞬态谱(Q-DLTS)测试表明,纳米金刚石薄膜的带隙中引入了一个能级,能级激活能E_a=0.134eV,俘获截面σ_s=2.81×10^(-22)cm^2,能级密度N_I～10^(12)cm^(-2)。利用脉冲氙灯作为光源对器件的紫外探测性能进行了测试,器件在10V偏压下的脉冲光电流峰值可达9μA,光电流的响应时间为ms量级。分析得出,纳米金刚石薄膜中存在的这个浅能级,由于其低的激活能和小的俘获截面起到非平衡载流子的陷阱作用,导致紫外探测器具有较慢的响应速度和较高的光电流。

关键词：纳米金刚石薄膜紫外探测器粗糙度深能级电荷-深能级瞬态谱

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在硬质合金上化学气相沉积金刚石膜

真空与低温 1990年第4期9卷 17-19页

作者：孙亦宁郭晚土恽辉中兰州物理研究所 730000

含碳化物的硬质合金材料,是一种有用的刀具和耐磨材料。用热灯丝化学气相沉积的方法,在其上沉积金刚石薄膜,可进一步提高其耐磨性、切削性和使用寿命。采用了不同的表面预处理方法和沉积参数,在硬质合金底材上沉积出了均匀的金刚石薄膜... 详细信息

含碳化物的硬质合金材料,是一种有用的刀具和耐磨材料。用热灯丝化学气相沉积的方法,在其上沉积金刚石薄膜,可进一步提高其耐磨性、切削性和使用寿命。采用了不同的表面预处理方法和沉积参数,在硬质合金底材上沉积出了均匀的金刚石薄膜。初步检验证明其样品有很高的硬度和附着力。

关键词：金刚石薄膜化学气相沉积合金

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(100)面金刚石薄膜沉积的工艺参数研究

(100)面金刚石薄膜沉积的工艺参数研究

中国真空学会2008年学术年会

作者：尚凯文吴敢郭晚土王兰喜航天五院兰州510所

本文研究了不同工艺参数对金刚石薄膜(100)织构生长的影响。以 H和 CH的混合气体为气源,用微薄等离子体设备,在硅片上生长具有(100)面金刚石薄膜。分别采用了扫描电子显微镜(SEM)、Raman 光谱、X 射线衍射仪等对金刚石膜的表面形貌、质... 详细信息

本文研究了不同工艺参数对金刚石薄膜(100)织构生长的影响。以 H和 CH的混合气体为气源,用微薄等离子体设备,在硅片上生长具有(100)面金刚石薄膜。分别采用了扫描电子显微镜(SEM)、Raman 光谱、X 射线衍射仪等对金刚石膜的表面形貌、质量等进行具体分析。结果表明在适当的工艺参数下可以生长出具有低缺陷、表面平整致密,高质量的(100)面金刚石薄膜。

关键词：微波等离子体金刚石薄膜(100)晶面

来源： cnki会议评论

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cnki会议

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金刚石红外增透保护膜

真空与低温 1996年第3期2卷 131-133页

作者：李敬起郭晚土孙亦宁兰州物理研究所

金刚石在红外区具有很好的透过率，可用作红外光学保护材料。另外，金刚石又具有优越的机械、热学、化学性能，可镀在其它红外材料上作为保护膜。用热丝化学气相沉积法在硅晶片上镀了一层金刚石膜，测量其红外透过率，在２．５～１５μ... 详细信息

金刚石在红外区具有很好的透过率，可用作红外光学保护材料。另外，金刚石又具有优越的机械、热学、化学性能，可镀在其它红外材料上作为保护膜。用热丝化学气相沉积法在硅晶片上镀了一层金刚石膜，测量其红外透过率，在２．５～１５μｍ波长范围内透过率都有所增加，最高处透过率从５２％提高到６４．１％。

关键词：金刚石薄膜红外增透保护膜薄膜

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提高金刚石膜电阻率的几种方法

真空与低温 1997年第3期3卷 175-177,174页

作者：李敬起孙亦宁郭晚土梁歆桉兰州物理研究所

金刚石膜的电阻率是衡量金刚石膜性能的一个重要指标。由于各种因素的影响，沉积后的金刚石膜的电阻率比较低，还达不到实用要求，需要通过处理加以提高。介绍了几种后处理方法，并对其优缺点进行了比较。

关键词：金刚石薄膜电阻率后处理退火