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lift⁃off制程PEB温度对负性光阻显影后截面Profile的影响

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信息记录材料 2024年第3期25卷 228-230页

作者：齐鹏王颢然孙鹏姜倍鸿邢栗沈阳芯源微电子设备股份有限公司辽宁沈阳110168

本文研究了lift⁃off(揭开-剥离)制程曝光后烘烤温度(post exposure bake,PEB)对负性光阻显影截面Profile(光刻胶结构)的影响。结果表明:在保留原有PEB盘面加热的方式前提下通过增加PEB盘盖加热功能进行烘烤,通过控制PEB盘面温度可调整... 详细信息

本文研究了lift⁃off(揭开-剥离)制程曝光后烘烤温度(post exposure bake,PEB)对负性光阻显影截面Profile(光刻胶结构)的影响。结果表明:在保留原有PEB盘面加热的方式前提下通过增加PEB盘盖加热功能进行烘烤,通过控制PEB盘面温度可调整光阻关键尺寸(critical dimension,CD)及截面Profile形貌,通过控制PEB盘盖加热可调整截面Profile光阻顶端形貌及强度,可显著改善负性光阻显影后截面Profile难以调整的问题。另外,不同的盘面温度、不同盘盖温度以及不同的显影时间相互配合,可以实现一种负性光阻产生不同截面光刻胶结构效果,可以实现同种光阻lift⁃off制程多样化。

关键词： lift⁃off 负性光阻截面Profile PEB盘盖加热

WTO框架下典型沿海经济区开放体制创新模式探讨

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WTO框架下典型沿海经济区开放体制创新模式探讨

作者：邢栗中国海洋大学

学位级别：硕士

沿海经济区通常是一个国家社会经济较为发达的地区,对一国的经济发展具有重要的作用。改革开放以来,我国沿海经济区建设取得了显著的成效,初步形成了创业和创新的发展环境。随着我国开放型经济的深入发展,特别是在加入WTO之后,伴随着世... 详细信息

沿海经济区通常是一个国家社会经济较为发达的地区,对一国的经济发展具有重要的作用。改革开放以来,我国沿海经济区建设取得了显著的成效,初步形成了创业和创新的发展环境。随着我国开放型经济的深入发展,特别是在加入WTO之后,伴随着世界科技、经济的快速发展,沿海经济区作为受WTO制度影响最直接的地区,其现行的体制已经出现了明显的不适应性,如果不实时改革与创新将严重地制约沿海经济区的社会经济的进一步发展。以科学发展观和创新思想为指导,本文着重运用制度经济学理论在WTO框架下来解释沿海经济区开放体制模式。以公共行政学相关理论为依托,抓住当前中国沿海经济区在加入WTO后亟待解决的开放体制创新问题,围绕如何进一步创新沿海经济区开放体制,在理论与实践相结合的基础上,运用定性分析、定量分析、比较研究等研究方法展开论述。本文第一章主要阐述了对典型沿海经济区开放体制创新模式进行研究的背景和意义。在对相关的研究进行总结的基础上,概括了国内外经济技术开发区体制创新模式,并给出了技术路线图和相关的研究方法。第二章针对典型沿海经济区开放体制创新模式的经济学理论进行论述。主要是运用制度经济学中的制度变迁理论、制度效率递减规律以及WTO框架原则,集中对我国沿海经济区开放体制创新的必然性进行了阐述。第三部分指出了沿海经济区的重要作用,通过概括国内外典型沿海经济区的开放体制模式的发展历程,对比分析了我国典型沿海经济区开放体制模式的创新。第四部分在充分论述了WTO框架对中国典型沿海经济区开放体制创新的影响后,以青岛市经济技术开发区为例进行实证分析,提出了沿海经济区开放体制创新中存在的问题,主要是管理体制对WTO框架的不适应、运行机制和管理方式的不协调、法制环境不完善和社会管理服务职能的不完善等问题。第五章主要在前文系统论述和阐述的基础上,就我国沿海经济区开放体制的创新方向和创新模式提出了相应的建议。包括在WTO框架下实现政府转型升级、建立合理运行机制和管理方式、建立长效管理机制和制定与WTO相关方面法律的制定,并对典型沿海经济区开放体制创新模式的研究进行了展望。本文以开放体制作为经济发展的参数,将其起纳入经济发展过程中,在WTO框架下探讨了典型沿海经济区开放体制的创新模式问题,以期能够对我国典型沿海经济区开放体制创新,进而进一步提升其对沿海经济区的影响力提供一定的理论基础和实践借鉴。

关键词： WTO框架沿海经济区开放体制

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完善我国人权司法保障制度研究

完善我国人权司法保障制度研究

作者：邢楷栗吉林财经大学

学位级别：硕士

人权问题是当今社会普遍关注的全球性问题,而人权的保护更是人们对自身利益关注的焦点。社会上普遍认可的人权是一个人应当享有的作为人的最基本的权利,而人权得以实现则是世界上所有人民和所有国家都共同希望并且正在共同努力实现的目... 详细信息

人权问题是当今社会普遍关注的全球性问题,而人权的保护更是人们对自身利益关注的焦点。社会上普遍认可的人权是一个人应当享有的作为人的最基本的权利,而人权得以实现则是世界上所有人民和所有国家都共同希望并且正在共同努力实现的目标。进入21世纪以来,中国的人权保障制度和人权理念持续发展。“人权”这一概念先后被载入我国的宪法、国民经济和社会发展的五年规划以及中国共产党章程中。2012年11月召开的中共十八大,还将“人权得到切实尊重和保障”确立为我国全面建成小康社会的重要目标内容。2013年11月9日中共召开的第十八届三中全会上全面提出了中国将进行全面化改革,并在计划中提出了“完善人权司法保障制度”的改革目标。在此基础上我们应该要更进一步的加强对人权的司法保障,通过司法保障使人权得以真正实现。虽然我国已将人权写入宪法,而如何运用司法保障来实现人权尤为重要,现有的保障制度是否完善,是否适合于当今社会的发展,是评价我国人权实现程度的重要标准。文章第一部分首先对人权这一概念进行梳理,在当今学者们对人权的不同定义的基础上,提出现今普遍适用的人权定义和观念,以及人权司法保障的特点及其要求。第二部分主要研究我国人权司法保障制度标准及实施现状,通过分析人权司法保障机制来对我国的人权司法保障制度现状加以认知与反思。第三部分通过四个层面分析我国人权司法保障制度存在的主要问题,并针对每一层面的问题加以深入研究。最后部分提出建议,尝试对目前我国司法保障制度中存在的问题加以解决,提出诸如司法制度监督、提升司法人员职业素养、努力建立人权保障专门部门等具体建议。本文通过关注人权在我国的发展及实现情况,分析我国在人权保障方面存在的不足,尤其着重解决在人权司法保障方面的不足之处。同时,研究过程中尝试能够完善司法保障制度的途径,希望通过尝试而对我国的人权司法保障制度的建设与完善有所帮助。

关键词：人权司法保障问题建议

基于无线传感网络的设施生产环境下作物表型检测与分析

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基于无线传感网络的设施生产环境下作物表型检测与分析

作者：邢栗茹山西农业大学

学位级别：硕士

针对传统温室监测设备存在的成本高、资源利用率低、缺少结合作物表型检测的问题,本文设计了基于无线传感网络的设施生产环境下作物表型系统,系统可通过后台软件对设施生产环境及作物生长状况进行远程监测,对于科学、合理的调控环境因素... 详细信息

针对传统温室监测设备存在的成本高、资源利用率低、缺少结合作物表型检测的问题,本文设计了基于无线传感网络的设施生产环境下作物表型系统,系统可通过后台软件对设施生产环境及作物生长状况进行远程监测,对于科学、合理的调控环境因素,促进作物生长具有重要的现实意义。本研究的主要结果和结论如下:(1)设施生产环境与作物表型信息采集平台的搭建。本文通过对系统监测指标的分析来选择所需的硬件设施,在对其进行校准后应用于信息采集平台。(2)搭建设施生产环境调控模型可以反映设施生产环境下温湿度的实际情况,同时,模型具备描述设施生产环境内温湿度变化规律的能力。对模型进行验证,其预测精度为89.641%,完全满足系统的需求。(3)设计了一种新型的智能控制器来控制灯光。它具有自动调整灯丝电压和电流等功能,从而达到节能效果;同时还可对室内光照强度进行实时检测并显示出来。(4)采用以土壤水分土壤湿度传感器的土壤水分值负反馈产生PWM波信号阶段性滴灌滴管控制算法建立了滴灌滴管控制器,对自动泵的启动程度进行控制系统。(5)搭建设施生产环境与作物表型关联模型,大豆植株综合性状相对误差绝对值在10%以内,可以用来进行环境因子与大豆植株生长指标的模拟。表型分析平台主要通过Open CV分析作物表型。

关键词：无线传感网络设施生产环境预测精度远程监控表型分析

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山东省FDI分布现状及原因分析

知识经济 2011年第5期 55-56页

作者：邢栗中国海洋大学经济学院 266100

FDI投入对经济社会发展具有重大影响,改革开放以来山东省吸引FDI金额不断扩大,随之而来的是FDI的分布不均衡问题。山东省FDI在总体规模不断扩大的同时,其行业分布和地区分布的不均衡日趋明显,FDI来源国(或地区)的投资金额也存在巨大差... 详细信息

FDI投入对经济社会发展具有重大影响,改革开放以来山东省吸引FDI金额不断扩大,随之而来的是FDI的分布不均衡问题。山东省FDI在总体规模不断扩大的同时,其行业分布和地区分布的不均衡日趋明显,FDI来源国(或地区)的投资金额也存在巨大差距。研究山东省FDI分布现状并探究其形成原因对于本省进一步引进国际投资、省内产业结构调整、区域平衡发展以及政策的制定具有重要的现实意义,同时对我国其他省份外资引进工作也有一定的借鉴作用。

关键词：山东省 FDI 对外直接投资

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AZ4620光刻胶的喷雾式涂胶工艺

电子工业专用设备 2011年第12期40卷 43-46页

作者：邢栗汪明波沈阳芯源微电子设备有限公司辽宁沈阳110168

对于一些MEMS应用,需要在形貌起伏很大的晶圆表面均匀地涂布光刻胶。喷雾式涂胶工艺满足了这些要求。研究了几种稀释的AZ4620光刻胶溶液的雾化喷涂性能,在沈阳芯源微电子设备有限公司KS-M200-1SP喷雾式涂胶机上进行了雾化喷涂试验,分别... 详细信息

对于一些MEMS应用,需要在形貌起伏很大的晶圆表面均匀地涂布光刻胶。喷雾式涂胶工艺满足了这些要求。研究了几种稀释的AZ4620光刻胶溶液的雾化喷涂性能,在沈阳芯源微电子设备有限公司KS-M200-1SP喷雾式涂胶机上进行了雾化喷涂试验,分别对裸片及深孔不同尺寸的晶圆进行喷雾式涂胶实验;特别研究了决定喷涂薄膜膜厚和均匀性的光刻胶流量和浓度;实验得到的膜厚和均匀性可以满足图形复杂、有深孔的晶圆。结尾列出了喷雾式涂胶在实际中的一些应用。这些结果证明喷雾式涂胶存在的潜力以及美好前景。

关键词：喷雾式涂胶机 AZ4620光刻胶膜厚均匀性

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中西医结合护理查房在妇科临床教学中的作用

护理实践与研究 2009年第13期6卷 80-81页

作者：黄权邢栗菸新疆医科大学附属中医医院妇科 830000

目的:增加护生及年轻护士对妇科疾病的中西医结合护理知识,弥补西医院校毕业的护生对中医知识的空白。方法:每轮护生均参加科室组织的中西医结合护理查房,通过评估患者,针对索取资料辩证分析,提出护理诊断及相关因素护理措施,与全科护... 详细信息

目的:增加护生及年轻护士对妇科疾病的中西医结合护理知识,弥补西医院校毕业的护生对中医知识的空白。方法:每轮护生均参加科室组织的中西医结合护理查房,通过评估患者,针对索取资料辩证分析,提出护理诊断及相关因素护理措施,与全科护士及护生进行互动式讨论。结果:促进了护生及护理人员对专科知识的了解,满足了临床教学的需要。结论:中西医结合护理查房的临床教学有利于培养护生综合素质。

关键词：中西医结合护理查房临床教学

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蓬莱强化社会中介机构监督管理

中国机构改革与管理 2016年第9期 21-22页

作者：张奇业邢栗山东省蓬莱市事业单位监督管理局蓬莱市编办

规范社会中介机构的发展,提升社会中介机构的服务能力,是进一步推动政府职能转变、深化简政放权改革的重要内容。2014年以来,山东省蓬莱市重点围绕阻碍创新发展的“堵点”、影响干事创业的“痛点”和市场监管的“盲点”,全力破解行政审... 详细信息

规范社会中介机构的发展,提升社会中介机构的服务能力,是进一步推动政府职能转变、深化简政放权改革的重要内容。2014年以来,山东省蓬莱市重点围绕阻碍创新发展的“堵点”、影响干事创业的“痛点”和市场监管的“盲点”,全力破解行政审批中介服务环节多、耗时长、收费乱、垄断性强等难题,为企业松绑减负、为创新创业清障搭台,为稳增长、促改革、调结构、惠民生提供支撑。

关键词：社会中介机构蓬莱市监督管理政府职能转变创新创业服务能力简政放权 “盲点”

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崩漏的中医整体护理体会

白求恩军医学院学报 2012年第6期10卷 538-539页

作者：邢栗菸谢群黄权新疆医科大学附属中医医院妇科乌鲁木齐830000

崩漏西医称之为功能失调性子宫出血,为妇科常见疾病。祖国医学认为崩漏是因肾—天癸—冲任—胞宫生理轴的严重紊乱,引起月经周期、经期、经量的严重失调,是妇科月经病范畴中的疑难急重病症。妇女多因社会因素、经济状况、家庭问题及全... 详细信息

崩漏西医称之为功能失调性子宫出血,为妇科常见疾病。祖国医学认为崩漏是因肾—天癸—冲任—胞宫生理轴的严重紊乱,引起月经周期、经期、经量的严重失调,是妇科月经病范畴中的疑难急重病症。妇女多因社会因素、经济状况、家庭问题及全身健康状况使七情过激,劳神、劳倦过度。

关键词：崩漏中医诊治辨证施护整体护理