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NEPCON上海’93展览会概况

微细加工技术 1993年第2期 90-92页

作者：许春高

1 展览会概况由电子工业部、机械工业部主办,中国贸促会机械电子行业分会、新加坡励展博览集团、上海国际贸易信息和展览公司承办的第五届中国上海国际电子生产设备及半导体技术展览会(5TH Internepcon/Semiconductor Shanghai’93)于1... 详细信息

1 展览会概况由电子工业部、机械工业部主办,中国贸促会机械电子行业分会、新加坡励展博览集团、上海国际贸易信息和展览公司承办的第五届中国上海国际电子生产设备及半导体技术展览会(5TH Internepcon/Semiconductor Shanghai’93)于1993年5月25日至28日在上海展览中心举行。

关键词： NEPCON 电子束曝光机摄影设备连续可变上海

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弗里曼离子源综述

微细加工技术 1992年第4期 37-44页

作者： D.J.Chivers 许春高

弗里曼离子源至今已有30多年的历史,仍然是适用面最广、用得最多的一种离子源。由于它能够对大多数元素产生聚焦得很小、束流达毫安级的离子束,而且具有较宽的能量范围,因而成为人们普遍选用的一种离子源。就半导体离子注入的应用来说,... 详细信息

弗里曼离子源至今已有30多年的历史,仍然是适用面最广、用得最多的一种离子源。由于它能够对大多数元素产生聚焦得很小、束流达毫安级的离子束,而且具有较宽的能量范围,因而成为人们普遍选用的一种离子源。就半导体离子注入的应用来说,该源具有性能好和操作简单等特点,因而被广泛地用作硅器件的掺杂。几十年来弗里曼离子源已成功地应用在离子注入机领域的许多方面,其中包括束流为毫安级的多种金属离子束的常规生产。本文将详细讨论离子束的产生方法,对灯丝寿命和离子源研究的最新进展及今后展望等也分别作了介绍。

关键词：离子注入掺杂弗里曼离子源

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用于强流离子注入的多极头离子源

微细加工技术 1992年第4期 45-48页

作者： S.R.Welther 许春高

多极头离子源技术已在融合和等离子加工的中性束加热方面获得了应用,但把这种离子源应用于离子注入的报道却少见。多极头离子源的几何形状能满足离子注入所希望的若干特征,具有束流引出面积大,产生静等离子体和形成手段灵活等特点。与... 详细信息

多极头离子源技术已在融合和等离子加工的中性束加热方面获得了应用,但把这种离子源应用于离子注入的报道却少见。多极头离子源的几何形状能满足离子注入所希望的若干特征,具有束流引出面积大,产生静等离子体和形成手段灵活等特点。与常规的弗里曼源不同,它不需外加磁场、用于强流离子注入机的多极头离子源已研制成功,实验结果表明这种离子源的性能与标准弗里曼源相似,而且源的寿命更长。本文将介绍用BF_3作为掺杂气体的多极头离子源性能和寿命的实验结果。

关键词：强流离子注入多极头离子源

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离子注入用强流微波离子源

微细加工技术 1992年第2期 74-77页

作者： S.R.Walther 许春高

一种用于强流离子注入的新型2.45GHz微波离子源已由Varian公司研制成功。该源使用永磁铁产生ECR磁场。与典型的螺线型磁场微波源相比,这种源具有设计简单、结构紧凑的特点。利用强磁场和高微波功率密度,引出硼束流中^(11)B^+离子含量可... 详细信息

一种用于强流离子注入的新型2.45GHz微波离子源已由Varian公司研制成功。该源使用永磁铁产生ECR磁场。与典型的螺线型磁场微波源相比,这种源具有设计简单、结构紧凑的特点。利用强磁场和高微波功率密度,引出硼束流中^(11)B^+离子含量可达30％。以前对有关离子注入用微波离子源的研究中,通常都没有涉及到对评估离子源实用性很重要的引出B离子时离子源的性能或寿命,这是由于引出硼离子的微波离子源性能较差且寿命有限。本文对BF_3源的特性和寿命特征作了详细的论述。

关键词：离子源微波离子注入

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国外微细加工技术最新文献索引

微细加工技术 1992年第3期 94-96页

作者：吴健昌许春高吴明华

国外电子束曝光、聚焦离子束曝光和X射线曝光最新文献索引

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微细加工技术 1992年第1期 93-97页

作者：吴健昌许春高吴明华

*** Physics Letters J.J.A.P. Japanese Journal of Applied Physics J.V.S.T. Journal of Vacuum Science & Technology M.M.T. Microelectronics Manufacturing Technology N.I.M.P.R. Nuclear Instruments and Methods in Physics R... 详细信息

关键词：聚焦离子束微细加工电子束曝光摄影设备邻近效应校正

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国外微细加工技术最新文献索引

微细加工技术 1992年第2期 88-90页

作者：吴健昌许春高吴明华

与内心谈判,为灵魂活着——许春樵中篇小说集《月光粉碎》访谈

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中国图书评论 2024年第7期 8-16页

作者：江飞许春樵安庆师范大学人文学院安徽省作家协会

“写小说的目的是在现实的根基上,建造一个与现实完全不同的世界,这个完全不同的世界是一个道德苏醒、灵魂获救、人性向善的世界。我们现在都被扔在了水里,我们和小说中的人物都需要上岸。”许春樵如是说。那么,如何上岸?不妨试试“与... 详细信息

“写小说的目的是在现实的根基上,建造一个与现实完全不同的世界,这个完全不同的世界是一个道德苏醒、灵魂获救、人性向善的世界。我们现在都被扔在了水里,我们和小说中的人物都需要上岸。”许春樵如是说。那么,如何上岸?不妨试试“与内心谈判,为灵魂活着!”

关键词：许春樵《月光粉碎》访谈