国外电子束曝光、聚焦离子束曝光和X射线曝光最新文献索引
出 版 物：《微细加工技术》 (Microfabrication Technology)
年 卷 期：1992年第1期
页 面：93-97页
主 题：聚焦离子束 微细加工 电子束曝光 摄影设备 邻近效应校正
摘 要：*** Physics Letters J.J.A.P. Japanese Journal of Applied Physics J.V.S.T. Journal of Vacuum Science & Technology M.M.T. Microelectronics Manufacturing Technology N.I.M.P.R. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research S.S.T. Solid State Technology 92—1 ***
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