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集成电路CMP中金属腐蚀复配缓蚀剂的研究进展

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半导体技术 2025年第1期50卷 1-9页

作者：武峥牛新环何潮董常鑫李鑫杰胡槟李佳辉河北工业大学电子信息工程学院天津300130 天津市电子材料与器件重点实验室天津300130 河北省微电子超精密加工材料与技术协同创新中心天津300130 河北省微电子专用材料与器件工程中心天津300130

在化学机械抛光(CMP)过程中,集成电路金属多层布线因受抛光液中化学试剂的腐蚀而经常导致表面缺陷的出现。将两种及以上能够产生协同缓蚀效果的化学试剂复配可以得到较单一试剂更强的缓蚀性能。介绍了多试剂协同腐蚀抑制的机理,总结了... 详细信息

在化学机械抛光(CMP)过程中,集成电路金属多层布线因受抛光液中化学试剂的腐蚀而经常导致表面缺陷的出现。将两种及以上能够产生协同缓蚀效果的化学试剂复配可以得到较单一试剂更强的缓蚀性能。介绍了多试剂协同腐蚀抑制的机理,总结了国内外多试剂协同中两种缓蚀剂、表面活性剂与缓蚀剂、两种表面活性剂的复配协同在集成电路CMP金属腐蚀抑制应用中的研究进展,并延伸到碳钢金属等防腐领域,最后对CMP领域中多试剂协同抑制的发展进行了展望。

关键词：缓蚀剂表面活性剂化学机械抛光(CMP) 协同作用金属腐蚀抑制

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广州粤财大厦振动台试验研究

工程力学 1999年第A3期3卷 838-842页

作者：李凡董宝广州粤财房地产开发有限公司

本文结合５２层的粤财大厦特定结构形式，对结构１：３５微粒混凝土模型进行了模护地震振动台试验，根据试验结果研究了结构的自振特性，地震加速度，位移和应变反应以及结构的坏部位和破坏机理。

关键词：振动台试验自振特性模型高层建筑

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论陶行知的中西教育观

教育研究 1997年第1期18卷 23-27页

作者：董宝良华中师大教育科学学院

论陶行知的中西教育观●董宝良对伟大的人民教育家陶行知的中西教育观进行整体的全面研究，是很有意义的。因为陶行知的中西教育观是其教育理论研究和办学实践的重要指导思想之一。他能在从事平民教育、乡村教育、国难教育、战时教育、... 详细信息

论陶行知的中西教育观●董宝良对伟大的人民教育家陶行知的中西教育观进行整体的全面研究，是很有意义的。因为陶行知的中西教育观是其教育理论研究和办学实践的重要指导思想之一。他能在从事平民教育、乡村教育、国难教育、战时教育、民主教育和全面教育各次运动中留下教...

关键词：陶行知中西教育观教育价值观传统教育中外教育观洋化教育思维方法经验教训知识结构逆反思维

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关于外商投资企业党的建设

探索 1995年第6期 11-13页

作者：董连翔祖强中共江苏省委党校

一、外商投资企业党建工作存在的主要问题当前,外商投资企业(中外合资、合作和外商独资企业)中党的工作普遍存在着滞后现象,各地、各企业间的发展很不平衡,出现的问题也不少,具体表现在以下几个方面:第一,不少同志对外商投资企业中党的... 详细信息

一、外商投资企业党建工作存在的主要问题当前,外商投资企业(中外合资、合作和外商独资企业)中党的工作普遍存在着滞后现象,各地、各企业间的发展很不平衡,出现的问题也不少,具体表现在以下几个方面:第一,不少同志对外商投资企业中党的工作重要性和紧迫性缺乏足够的认识。有的同志认为,外商投资企业姓“资”不姓“社”,要不要党的组织无所谓,不设党的工作机构,不配备专职或兼职党务干部照样出产品、出效率。还有的同志片面强调外商投资企业的特殊性,认为经济上享受特殊政策,政治上也应给予特殊对待,因此不重视党的工作和企业的思想政治工作。

关键词：外商投资企业企业党组织党的工作党的组织建设政治核心作用企业党建工作思想政治工作党的活动地位和作用党员

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金属敞焰少无氧化加热的炉温制度

钢铁 1991年第12期26卷 50-55页

作者：陈世海董宝娥东北工学院

叙述了金属敞焰少无氧化加热炉内的炉温制度和传热特征。根据金属高温氧化动力学规律的研究结果,利用电子计算机进行了钢坯加热计算,得出了合理的敞焰少无氧化加热的炉温制度,并对该制度下的金属烧损进行了预测。

关键词：金属少氧化加热炉温制度

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对政党本质属性及先进性建设的再认识

江汉论坛 2006年第6期 10-13页

作者：董连翔中共江苏省委党校党史党建教研部教授南京210004

先进性建设的核心是党的本质属性及其实现方式等能够适应长期为民执政的需要。进行党的先进性建设,必须清醒地认识到,共产党的先进性是一定历史方位的先进性;阶级性不是决定政党先进性的唯一因素;先进性通常是政党本质属性的外在表现。... 详细信息

先进性建设的核心是党的本质属性及其实现方式等能够适应长期为民执政的需要。进行党的先进性建设,必须清醒地认识到,共产党的先进性是一定历史方位的先进性;阶级性不是决定政党先进性的唯一因素;先进性通常是政党本质属性的外在表现。政党本质属性的构成要素包括政党的自然属性、政党的社会属性、政党的价值取向、政党的功能属性。因此,必须从多方面来提升党的先进性。

关键词：政党本质属性构成要素路径

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分形维数与熵间的关系

高压物理学报 1993年第2期7卷 127-131页

作者：屈世显董连科西安石油学院西安710061 中国科学院金属研究所沈阳110015

分形维数是熵的另一种量度,并且还是一个态函数,这就是分形维数与熵间的定量关系或者叫做分形维数的物理意义。我们用非晶结构的位形(信息)熵与信息维数随压力变化的标度关系S_1((?))CC(?)^(-D)1证明了我们的论断。这对于演化动力学的发... 详细信息

分形维数是熵的另一种量度,并且还是一个态函数,这就是分形维数与熵间的定量关系或者叫做分形维数的物理意义。我们用非晶结构的位形(信息)熵与信息维数随压力变化的标度关系S_1((?))CC(?)^(-D)1证明了我们的论断。这对于演化动力学的发展,特别是对于Prigogine提出的解决动力学与热力学的统一具有重要意义,同时也指出了用比例关系式作为测量分形维数的实验原理应该注意的问题。

关键词：分形维数位形熵演化动力学

镣铐下的舞蹈——论“第四种剧本”的政治化与人性化倾向

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小说评论 2011年第S1期 293-298页

作者：张迎宝董章芳浙江大学人文学院

一、引言"第四种剧本"的由来,要从《南京日报》上的一篇短文谈起。1957年6月11日《南京日报》发表了署名为黎弘的评论话剧《布谷鸟又叫了》的文章,题目就叫做《论"第四种剧本"》。这篇文章的开头是这样写的:"记得有人说过这样的话:我们... 详细信息

一、引言"第四种剧本"的由来,要从《南京日报》上的一篇短文谈起。1957年6月11日《南京日报》发表了署名为黎弘的评论话剧《布谷鸟又叫了》的文章,题目就叫做《论"第四种剧本"》。这篇文章的开头是这样写的:"记得有人说过这样的话:我们的话剧舞台上只有工、农、兵三种剧本。工人剧本:先进思想与保守思想的斗争。

关键词：意识形态合作化运动布谷鸟农业合作化文学创作作品概念化合作社公式化农村社会主义改造

高速形变过程中运动螺位错的声子产生与能量局域

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高压物理学报 1989年第3期3卷 181-186页

作者：董连科王克钢中国科学院金属研究所成都科技大学应用物理研究所

从量子力学观点出发,研究了运动螺位错产生的声子场。结果证明了位错运动产生点阵微扰,使得在滑移面附近产生声子,声子的能量局域在这些平面里,使这些区域的温度升高,而成为热点。最后,考查了声子能谱,发现它是非波尔兹曼分布。

关键词：声子场形变过程能量局域位错