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激光在MEMS键合技术中的应用
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半导体光电 2004年 第2期25卷 143-146页
作者： 杨道虹 董典红 徐晨 张剑铭 阳启明 沈光地 北京工业大学电信学院 北京100022
键合技术已经广泛地应用于微电子机械系统(MEMS)领域,但传统的键合技术由于其缺点,限制了其应用范围,而激光以其独特的优势在键合技术中得到了人们的重视。文章介绍了激光在键合技术中的应用及其原理,以及今后发展的方向。
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新型红外探测器可动薄膜微腔的腐蚀工艺研究
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红外与激光工程 2003年 第6期32卷 651-654页
作者： 李兰 董典红 刘铮 邓军 徐晨 邹德恕 沈光地 北京工业大学电子信息和控制工程学院北京市光电子技术实验室 北京100022
基于气体直接吸收机理、微机械技术实现的气动红外探测器是对中远波段实现室温探测的新型红外探测器。该探测器的关键结构———微气腔和可动薄膜的腐蚀工艺研究对整个器件的制作有重要意义。根据探测器结构提出了对腐蚀工艺的要求,采用... 详细信息
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硅腐蚀停止技术制备超薄硅膜中的分形现象
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Journal of Semiconductors 2005年 第1期26卷 67-71页
作者： 杨道虹 徐晨 董典红 张剑铭 阳启明 金文贤 沈光地 北京工业大学电子信息与控制工程学院
利用浓硼扩散腐蚀停止技术制备自由悬空硅薄膜时 ,在薄膜的表面观察到了呈分形生长的反应生成络合物聚集结构 .研究表明 ,薄膜表面的生成物的分形属于典型的有限扩散集团凝聚模型 ,其分形维数值约为 1 6 6 7.实验还发现 。
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一种新型键合工艺的理论和实验研究
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北京工业大学学报 2004年 第4期30卷 423-426页
作者： 杨道红 徐晨 董典红 李兰 吴畯苗 张剑铭 阳启明 金文贤 邹德恕 沈光地 北京工业大学电子信息与控制工程学院北京市光电子技术实验室 北京100022
为了实现在较低超净环境下的硅／硅直接键合,提出了在乙醇的环境中进行硅／硅键合的方法,并建立了合理的物理模型,在常温、常压和低于10万级超净环境下,用普通的国产硅片进行了无水乙醇环境下的硅／硅直接键合实验.键合后进行了拉力强... 详细信息
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用于高灵敏度红外探测器的超薄硅膜的研制
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红外与激光工程 2005年 第1期34卷 23-26页
作者： 董典红 徐晨 邹德恕 李兰 杨道虹 张剑铭 阳启明 沈光地 北京工业大学电子与信息控制工程学院北京市光电子技术实验室 北京100022
超薄、平整的硅膜对于制作高灵敏度红外探测器是非常重要的。这种超薄硅膜的各向异性腐蚀技术,包括有机溶液EPW和无机溶液KOH及KOH+IPA(异丙醇)。从腐蚀速率、腐蚀表面质量、腐蚀停特性、腐蚀边缘形貌及腐蚀工艺的角度分析比较了两种腐... 详细信息
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新型室温中远波段红外探测器的关键工艺研究
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仪表技术与传感器 2004年 第4期 3-4页
作者： 杨道虹 徐晨 董典红 李兰 吴畯苗 张建铭 阳启明 邹德恕 沈光地 北京工业大学电子信息与控制工程学院北京市光电子技术实验室 北京100022
介绍了一种基于MEMS技术的新型室温中远红外波段硅基电容式红外探测器原理和制作工艺过程,并详细介绍了针对单面光刻机而采用的对准孔双面对准和键合对准技术、浓硼扩散EPW腐蚀停止技术制备超薄敏感硅膜以及薄膜的疏水处理等关键工艺。... 详细信息
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激光熔融键合在新型室温红外探测器的应用
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功能材料与器件学报 2004年 第2期10卷 236-238页
作者： 杨道虹 徐晨 董典红 金文贤 阳启明 张剑铭 沈光地 北京工业大学电子信息与控制工程学院 北京100022
运用Nd:YAG激光在功率300W、光束运动速度为0.05m/s、光束直径为700μm的条件下能得到键合强度平均为9.3MPa的硅/玻璃熔融键合效果。该键合方法能进行选择区域键合,完全避免了由于键合过程中电场给超薄敏感可动微结构带来的畸变甚至失效... 详细信息
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CMU的科学哲学与珀尔的因果理论——科学哲学如何影响人工智能?
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自然辩证法通讯 2025年 第1期 28-35页
作者： 董焕防 清华大学科学史系
科学哲学之于科学的价值一直存在着争议。本文通过研究CMU的科学哲学对于朱迪·珀尔的因果理论的贡献来讨论科学哲学对于人工智能的影响。珀尔的因果理论是人工智能的最重要理论之一。CMU科学哲学研究成果“将‘干预’表示为图结构上的... 详细信息
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CEO自恋对高管团队成员工作幸福感的影响:CEO谦卑与领导关系认同的作用
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管理工程学报 2025年 第2期 206-220页
作者： 尹奎 赵景 宋萌 崔国东 董念念 北京科技大学经济管理学院 中国人民大学劳动人事学院 北京工业大学经济管理学院 山东大学山东省人才发展战略研究院
自恋的CEO在企业中比比皆是,会对员工与组织产生深远影响,而CEO谦卑特质是重要的情境因素。高管团队成员直面CEO并担负着组织内部重要的领导职责,对CEO自恋特质的感知和反应更深刻,其工作幸福感可能也更容易受到影响。基于关系认同理论... 详细信息
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区块链环境下基于商业信用融资模式的供应链运营决策研究
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管理工程学报 2025年 第1期 243-255页
作者： 王道平 朱梦影 董汉玺 北京科技大学经济管理学院
应用区块链可以解决现有商业信用融资模式中存在的交货期过长、产品真实性难以保证和零售商不按时还款等问题。本文构建了应用区块链与未应用区块链的两种商业信用融资模式,运用Stackelberg博弈求解两种模式下供应链的最优批发价和零售... 详细信息
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