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基于最小二乘拟合的不同探针测量线宽的比较

哈尔滨工业大学学报 2004年第11期36卷 1514-1519页

作者：褚巍赵学增 Joseph Fu 肖增文哈尔滨工业大学机电工程学院 Precision Engineering Division National Institute of Standards and Technology Gaithersburg MD 20899 USA

AFM探针的形貌和尺寸对纳米尺度线宽的测量有较大影响.首先建立了一个基于最小二乘的应用于AFM测量技术的线宽计量模型,并使用三种不同探针在NanoScopeⅢa型AFM上对设计线宽尺寸为1000nm的样本进行了测量.应用该模型和算法对线宽进行计... 详细信息

AFM探针的形貌和尺寸对纳米尺度线宽的测量有较大影响.首先建立了一个基于最小二乘的应用于AFM测量技术的线宽计量模型,并使用三种不同探针在NanoScopeⅢa型AFM上对设计线宽尺寸为1000nm的样本进行了测量.应用该模型和算法对线宽进行计算,揭示出探针尺寸对线宽测量结果的影响以及该模型对探针尺寸的依赖性.

关键词：线宽原子力显微镜探针最小二乘拟合

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AFM压电微悬臂振动影响测量图像的研究

压电与声光 2006年第1期28卷 99-101,105页

作者：肖增文赵学增哈尔滨工业大学机电工程学院黑龙江哈尔滨150001

在轻敲工作模式下,原子力显微镜(AFM)压电微悬臂以较大的振幅振动。以纳米管针尖为例建立了压电微悬臂振动的数学模型并描述了纳米管尖端的振动轨迹,从纳米管尖端的振动轨迹和仿真图形的关系,指出压电微悬臂振动影响测量精度的有关参数... 详细信息

在轻敲工作模式下,原子力显微镜(AFM)压电微悬臂以较大的振幅振动。以纳米管针尖为例建立了压电微悬臂振动的数学模型并描述了纳米管尖端的振动轨迹,从纳米管尖端的振动轨迹和仿真图形的关系,指出压电微悬臂振动影响测量精度的有关参数及减小由振动产生膨胀变形的方法。根据数学图形学膨胀理论仿真出纳米管尖端振动轨迹对标准线宽模型的影响,AFM测量线宽的试验验证了上述结果。

关键词：压电微悬臂原子力显微镜振动膨胀变形数学形态学

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塞拉门焊缝视觉跟踪图像处理技术

焊接学报 2008年第5期29卷 61-64,116页

作者：刘极峰肖增文邹景超杨小兰南京工程学院机械工程学院南京210036 黄河科技学院工学院郑州450015 南京工程学院材料工程学院南京210036

根据塞拉门框焊点多而短、焊接质量要求高的特点,提出一种机器人间断式弧焊视觉跟踪系统,综合运用灰度变换等方法,建立基于普通光源的视觉跟踪移动窗口图像处理体系,克服传统图像分割方法易受到工件上刀痕亮斑和暗影等噪声干扰的不足,... 详细信息

根据塞拉门框焊点多而短、焊接质量要求高的特点,提出一种机器人间断式弧焊视觉跟踪系统,综合运用灰度变换等方法,建立基于普通光源的视觉跟踪移动窗口图像处理体系,克服传统图像分割方法易受到工件上刀痕亮斑和暗影等噪声干扰的不足,在采集图像中移动与焊缝具有相同形状和大小的窗口,以窗口中所有像素灰度平均值最小窗口作为焊缝当前位置,能有效的滤除刀痕亮斑和暗影噪声。通过焊缝当前位置与标准位置比较,可直接计算出焊缝位置偏差。结果表明,移动窗口焊缝图像处理体系具有很强的适应性和抗干扰能力,能满足实时跟踪要求。

关键词：塞拉门弧焊机器人焊缝跟踪图像处理移动窗口

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AFM轻敲模式中微悬臂振动的研究

振动与冲击 2006年第5期25卷 183-185页

作者：肖增文赵学增李洪波哈尔滨工业大学机电工程学院哈尔滨150001

针对原子力显微镜AFM(Atomictorcemicroscope)在轻敲工作模式下微悬臂在谐振频率附近振动的问题,依据振动学理论和仿真分析的方法,建立了微悬臂的振动模型,仿真出了微悬臂前几阶的振动模态。得到了在保证振幅不变的情况下微悬臂各参数... 详细信息

针对原子力显微镜AFM(Atomictorcemicroscope)在轻敲工作模式下微悬臂在谐振频率附近振动的问题,依据振动学理论和仿真分析的方法,建立了微悬臂的振动模型,仿真出了微悬臂前几阶的振动模态。得到了在保证振幅不变的情况下微悬臂各参数与其自由端偏转角的关系,指出了轻敲模式下减小AFM测量误差的方法。

关键词： AFM 微悬臂振动仿真

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汽车机械式ABS波动效应的研究

汽车机械式ABS波动效应的研究

作者：肖增文东北林业大学

学位级别：硕士

汽车液压制动系统的研究是当今汽车技术研究的前沿课题，而其中关于汽车防抱制动系统（ABS）的研究占有重要地位。由于ABS、VDC和EHB等电子控制系统应用，使制动管路中产生显著的波动效应。本项目研究采用笔者同他人共同研制的夏... 详细信息

汽车液压制动系统的研究是当今汽车技术研究的前沿课题，而其中关于汽车防抱制动系统（ABS）的研究占有重要地位。由于ABS、VDC和EHB等电子控制系统应用，使制动管路中产生显著的波动效应。本项目研究采用笔者同他人共同研制的夏利TJ7100型轿车液压制动仿真系统，对制动过程中的压力瞬变规律进行了深入研究，并获取了该系统数学模型。该仿真系统是以工业控制计算机为核心，集机械、液压、气动、真空发生系统于一体的实时数据采集控制系统，它为汽车液压制动系统的理论研究、元件开发、产品测试提供了一种全新、高效、灵活的手段。在无ABS和有ABS的状态下，对系统进行了全面测试，并利用所获得的大量数据，辩识出了两种状态下的系统参数模型，然后通过MATLAB用仿真的方法对系统进行了波动效应的比较分析。本研究完成了弹性囊式MABS元件性能实验，以大量实测数据为基础，深入客观地探讨了该类型机械式防抱死装置对制动系统特性的影响及可预见的制动效果，为汽车液压制动系统及机械 ABS的研究提供了理论和实践依据。根据阶跃及脉冲仿真结果，初步分析了 MABS的工作机理。笔者在导师指导下独立设计制造的振动泵系统能够为系统提供稳定的波动源，并为后续的实际装车试验奠定了基础。同时，该振动泵系统又为简单电控 ABS的设计制造提供了依据。汽车液压制动系统波动效应的仿真研究，对分析液压制动特性，研究其工作机理具有重要的理论意义，将为我国汽车防抱制动的推广和发展提供充分的理论与实践依据，它的研究必将对我国汽车液压制动系统设计、元件测试与汽车主动安全技术的发展起到积极的推动作用。

关键词：汽车防抱制动仿真波动效应

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半导体工业中临界尺寸线边缘粗糙度的测量

哈尔滨工业大学学报 2005年第5期37卷 674-678页

作者：李洪波赵学增褚巍肖增文哈尔滨工业大学机电工程学院黑龙江哈尔滨150001

详细论述了刻线边缘粗糙度问题的产生原因,线边缘粗糙度的定义以及目前采用的测量方法和分析方法,比较了线边缘粗糙度的测量工具,并讨论了测量线边缘粗糙度的技术障碍.

关键词：纳米侧墙粗糙度线边缘粗糙度原子力显微镜

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基于结构光的半自主轨迹规划焊接技术

焊接技术 2008年第6期37卷 7-11页

作者：肖增文刘极峰南京工程学院机械工程学院江苏南京211167

传统弧焊机器人采用示教方式进行轨迹规划,这种方式存在很大误差,为此提出一种基于结构光的半自主轨迹规划技术。这种技术先采用示教方式沿着焊缝进行轨迹规划,然后在机器人焊枪上安装结构光线装置与摄像机,并使结构光线处于焊枪枪尖正... 详细信息

传统弧焊机器人采用示教方式进行轨迹规划,这种方式存在很大误差,为此提出一种基于结构光的半自主轨迹规划技术。这种技术先采用示教方式沿着焊缝进行轨迹规划,然后在机器人焊枪上安装结构光线装置与摄像机,并使结构光线处于焊枪枪尖正下方,再按照轨迹规划的路线扫描,在扫描过程中按照时间序列记录焊缝中心相对于枪尖的位置偏差,自主规划用于纠正偏差的外部轴的轨迹。建立了外部轴轨迹规划系统和自主轨迹规划模型,同时建立了图像处理体系。综合运用中值滤波、阈值变换、细化变换等多种图像处理技术与分段直线拟合技术,准确地定位焊缝中心。试验证明,该技术结合焊缝图像处理体系具有很强的抗干扰能力,误差小,处理速度快,能满足实时处理要求。

关键词：焊接自主轨迹规划结构光图像处理变位机

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基于计量学的线边缘粗糙度定义

机械工程学报 2007年第1期43卷 214-218页

作者：赵学增李洪波褚巍肖增文李宁哈尔滨工业大学机电工程学院哈尔滨150001

对目前线边缘粗糙度(Line edge roughness,LER)的研究进行了分类,区分线宽变化率、线的边缘粗糙度和侧墙(边缘)粗糙度的物理本质。重新给出一个LER定义,定义LER是由加工工艺和材料本身结构引起的刻线侧墙的表面形貌微观不规则程度,并分... 详细信息

对目前线边缘粗糙度(Line edge roughness,LER)的研究进行了分类,区分线宽变化率、线的边缘粗糙度和侧墙(边缘)粗糙度的物理本质。重新给出一个LER定义,定义LER是由加工工艺和材料本身结构引起的刻线侧墙的表面形貌微观不规则程度,并分析给出定义的合理性。给出该定义和ITRS定义间的换算关系。结合刻线的加工过程主要发生在刻线的边缘表面,且该加工过程发生于深纳米尺度,给出一种基于原子尺度的LER计量模型,在该模型中分离了材料本质粗糙度。

关键词：纳米计量临界尺寸线边缘粗糙度材料本质粗糙度扫描电子显微镜(SEM) 原子力显微镜(AFM)

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使用AFM测量纳米尺度线宽的不确定度研究

计量学报 2005年第2期26卷 120-124页

作者：褚巍赵学增王凌肖增文李洪波哈尔滨工业大学黑龙江哈尔滨150001

针对NanoscopeIII型原子力显微镜,进行了纳米尺度线宽测量的不确定度分析。提出一个线宽测量的误差校正步骤,确定并分析了影响测量结果不确定度的4方面因素。根据实验和测量过程,分析和计算得到被测样品的线宽值、不确定度分量以及合成... 详细信息

针对NanoscopeIII型原子力显微镜,进行了纳米尺度线宽测量的不确定度分析。提出一个线宽测量的误差校正步骤,确定并分析了影响测量结果不确定度的4方面因素。根据实验和测量过程,分析和计算得到被测样品的线宽值、不确定度分量以及合成不确定度。

关键词：计量学纳米线宽测量不确定度原子力显微镜