使用AFM测量纳米尺度线宽的不确定度研究
Uncertainty in Nano-scale Linewidth Measurements Using Atomic Force Microscope作者机构：哈尔滨工业大学黑龙江哈尔滨150001
出 版 物：《计量学报》 (Acta Metrologica Sinica)
年 卷 期：2005年第26卷第2期
页 面：120-124页
核心收录：
学科分类：08[工学] 080402[工学-测试计量技术及仪器] 0804[工学-仪器科学与技术]
基 金：哈尔滨工业大学校科研基金
摘 要：针对NanoscopeIII型原子力显微镜,进行了纳米尺度线宽测量的不确定度分析。提出一个线宽测量的误差校正步骤,确定并分析了影响测量结果不确定度的4方面因素。根据实验和测量过程,分析和计算得到被测样品的线宽值、不确定度分量以及合成不确定度。
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