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ZnO/P-Si接触及其温度特性

功能材料 2006年第6期37卷 857-860页

作者：刘磁辉刘秉策马泽宇段理付竹西中国科技大学物理系安徽合肥230026 合肥工业大学理学院安徽合肥230026

用射频磁控溅射在硅衬底上淀积ZnO薄膜,随后进行I-V-T测量。实验结果显示硅基氧化锌接触具有异质结特性,异质结的电流输运机制为热发射和电流隧穿。用I-V-T测量的结果拟合计算了势垒高度和理想因子,结果发现ZnO/P-Si势垒高度随温度降低... 详细信息

用射频磁控溅射在硅衬底上淀积ZnO薄膜,随后进行I-V-T测量。实验结果显示硅基氧化锌接触具有异质结特性,异质结的电流输运机制为热发射和电流隧穿。用I-V-T测量的结果拟合计算了势垒高度和理想因子,结果发现ZnO/P-Si势垒高度随温度降低而减小理想因子则升高。异质结的这种反常的随温度变化的关系可以用肖特基势垒不均匀性理论解释。样品经Air^800℃热退火后势垒高度与未退火相比上升,说明热退火改善了氧化锌薄膜的结晶质量,减少了界面态影响。

关键词：氧化锌异质结势垒温度特性

ZnO∶Al薄膜中本征缺陷对光电效应的影响

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发光学报 2004年第3期25卷 309-312页

作者：段理林碧霞朱俊杰汪进张国非傅竹西中国科学院结构分析重点实验室

在直流溅射法制备ZnO薄膜的过程中 ,通过合适选取溅射时氧氩的压力比 ,可以显著提高所得n ZnO p Si异质结的光生短路电流 ,并且对该异质结的光生开路电压没有明显影响 ,从而可以用这种方法明显提高其光电转化能力。即使是在已经进行了n... 详细信息

在直流溅射法制备ZnO薄膜的过程中 ,通过合适选取溅射时氧氩的压力比 ,可以显著提高所得n ZnO p Si异质结的光生短路电流 ,并且对该异质结的光生开路电压没有明显影响 ,从而可以用这种方法明显提高其光电转化能力。即使是在已经进行了n型掺杂的ZnO薄膜 (这里为ZnO∶Al)中 ,改变溅射时氧氩比对光电效应的影响也很明显。通过实验 ,已经证实了产生这种现象的原因是溅射时氧氩比的改变导致了ZnO薄膜内部的本征缺陷浓度的改变 ,使得载流子浓度变化而导致的结果。在氧氩压力比约为 1∶3时。

关键词：氧化锌薄膜异质结本征缺陷光电效应

磁控溅射制备银掺杂ZnO薄膜结构及光电性质研究

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材料导报 2010年第24期24卷 13-16页

作者：段理樊小勇于晓晨倪磊长安大学材料科学与工程学院西安710064 长安大学高性能路面国际合作研究中心西安710064

利用磁控溅射法在玻璃衬底上制备了银掺杂ZnO薄膜,通过改变制备条件生长了一系列样品,样品退火后呈现p型导电特性。测量了样品的结构特性、光学性质和电学性质,实验表明薄膜厚度与淀积时间、溅射功率分别呈近似线性关系;薄膜晶体质量随... 详细信息

利用磁控溅射法在玻璃衬底上制备了银掺杂ZnO薄膜,通过改变制备条件生长了一系列样品,样品退火后呈现p型导电特性。测量了样品的结构特性、光学性质和电学性质,实验表明薄膜厚度与淀积时间、溅射功率分别呈近似线性关系;薄膜晶体质量随溅射功率、背景气压的增加而降低;退火过程是银元素形成受主的重要环节,且退火能有效提高薄膜晶体质量,改善薄膜的光学性质和电学性质。分析了这些影响的机理和来源。

关键词：溅射银掺杂 p型ZnO薄膜光电性能

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NSVR硬岩隧道掘进机刀盘扭矩预测分析

浙江大学学报（工学版） 2018年第3期52卷 479-486页

作者：王超龚国芳杨华勇周建军段理文张亚坤浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室浙江杭州310027

为了避免硬岩隧道掘进机(TBM)刀盘受困,提出TBM刀盘扭矩的非线性支持向量回归(NSVR)预测模型来指导TBM掘进施工.结合吉林引松供水工程现场掘进大量数据,研究TBM刀盘扭矩与掘进参数间的相关关系,得到刀盘扭矩与围岩类别、刀盘转速和推进... 详细信息

为了避免硬岩隧道掘进机(TBM)刀盘受困,提出TBM刀盘扭矩的非线性支持向量回归(NSVR)预测模型来指导TBM掘进施工.结合吉林引松供水工程现场掘进大量数据,研究TBM刀盘扭矩与掘进参数间的相关关系,得到刀盘扭矩与围岩类别、刀盘转速和推进速度具有明显相关关系:随着围岩强度由强到弱,推进速度对刀盘扭矩的影响逐渐变弱,刀盘转速对刀盘扭矩的影响逐渐变强.基于这种相关关系,建立刀盘扭矩NSVR预测模型,并将该模型应用于吉林引松隧道工程,对按1∶1划分的19 854个训练样本和19 854个测试样本的刀盘扭矩进行预测.预测结果表明:训练样本集和测试样本集的平均相对预测误差分别为11.3%和12.9%,测试样本集中相对预测误差高于60%的有516个测试样本,占测试样本集总数的2.6%.各项数据表明,在给定刀盘转速、推进速度和围岩类别条件下,建立的刀盘扭矩NSVR预测模型具有较高的预测精度.

关键词：硬岩隧道掘进机(TBM) 刀盘扭矩非线性支持向量回归(NSVR) 推进速度刀盘转速围岩类别

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中小学生学业评价管理系统设计与实现

电脑编程技巧与维护 2013年第22期 130-131,135页

作者：段理重庆市涪陵第二中学校重庆408000

地方教育主管部门常常采用抽测的方式评估义务教育阶段的教学质量,而成绩统计是进行中小学生学业评价的前提和基础。运用VFP、SQL Server、Excel和Winsock,开发以C/S模式(Client/Serve)r为基础的软件管理系统,可以实现区域内学校教学成... 详细信息

地方教育主管部门常常采用抽测的方式评估义务教育阶段的教学质量,而成绩统计是进行中小学生学业评价的前提和基础。运用VFP、SQL Server、Excel和Winsock,开发以C/S模式(Client/Serve)r为基础的软件管理系统,可以实现区域内学校教学成绩的数据上报和统计分析,确保成绩统计的准确性和高效性。

关键词： C S模式成绩统计数据分析

Influences of different oxidants on characteristics of La_2O_3/Al_2O_3 nanolaminates deposited by atomic layer deposition

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Chinese Physics B 2017年第6期26卷 395-400页

作者：樊继斌刘红侠段理张研于晓晨 School of Materials Science and Engineering Chang’an University School of Microelectronics Key Laboratory of Wide Band-Gap Semiconductor Materials and DevicesXidian University

A comparative study of two kinds of oxidants（H2O and O3） with the combination of two metal precursors（TMA and La（～iPrCp）3） for atomic layer deposition（ALD） La2O3/Al2O3 nanolaminates is carried out. The effects of different oxidants on the physical properties and electrical characteristics of La2O3/Al2O3 nanolaminates are studied. Initial testing results indicate that La2O3/Al2O3 nanolaminates could avoid moisture absorption in the air after thermal annealing. However, moisture absorption occurs in H2O-based La2O3/Al2O3 nanolaminates due to the residue hydroxyl/hydrogen groups during annealing. As a result, roughness enhancement, band offset variation, low dielectric constant and poor electrical characteristics are measured because the properties of H2O-based La2O3/Al2O3 nanolaminates are deteriorated. Addition thermal annealing effects on the properties of O3-based La2O3/Al2O3 nanolaminates indicate that O3 is a more appropriate oxidant to deposit La2O3/Al2O3 nanolaminates for electron devices application.

关键词： La2O3/Al2O3 nanolaminates atomic layer deposition oxidants annealing