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分频光栅的衍射特性及误差分析

强激光与粒子束 2004年第9期16卷 1166-1170页

作者：邢德财杨李茗冯国英周礼书四川大学电子信息学院四川成都610064 成都精密光学工程研究中心四川成都610041

　基于标量衍射理论推导出了分频光栅的各级衍射效率公式,分析了分频光栅的衍射特性,发现入射光波在满足相应的相位延迟条件时,能被分频光栅以最大效率衍射进3个中央级次中的某一级。分析和比较了两种制作工艺中的刻蚀深度误差、占空比... 详细信息

　基于标量衍射理论推导出了分频光栅的各级衍射效率公式,分析了分频光栅的衍射特性,发现入射光波在满足相应的相位延迟条件时,能被分频光栅以最大效率衍射进3个中央级次中的某一级。分析和比较了两种制作工艺中的刻蚀深度误差、占空比误差对衍射效率的影响。在惯性约束聚变(ICF)应用中,对于同一要求的3倍频光的衍射效率范围,两种工艺的刻蚀误差容限是相同的,但是两种工艺的相同刻蚀误差却带来不同的衍射效率。在不计其它误差时,占空比误差不会对3倍频光的衍射效率产生影响,但可以对基频光和2倍频光产生相反的影响,占空比误差还可以使基频光和2倍频光的主要衍射级次的效率都降低,同时增大它们的0级衍射效率。

关键词：分频光栅衍射效率刻蚀深度误差占空比误差

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色分离光栅镀膜减反技术研究

强激光与粒子束 2004年第2期16卷 177-180页

作者：杨春林许乔杨李茗周礼书张清华成都精密光学工程研究中心四川成都610041

　根据惯性约束聚变系统技术要求,提出一种镀膜减反方案,以解决现有光栅由于元件表面反射影响衍射效率的问题。对色分离光栅镀膜减反技术进行了详细的分析,根据标量理论给出了镀膜光栅的各项技术要求,优化了光栅结构参数。模拟计算结果... 详细信息

　根据惯性约束聚变系统技术要求,提出一种镀膜减反方案,以解决现有光栅由于元件表面反射影响衍射效率的问题。对色分离光栅镀膜减反技术进行了详细的分析,根据标量理论给出了镀膜光栅的各项技术要求,优化了光栅结构参数。模拟计算结果发现,光栅表面反射几乎完全消除,表明可以通过色分离光栅镀膜减反提高衍射效率的目的。该镀膜光栅刻槽深度的优化值为2.84μm,膜厚为等效1/4波长,即71.2nm。

关键词：色分离光栅镀膜衍射效率溶胶-凝胶膜减反技术惯性约束聚变系统

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高斯-谢尔模光束通过光栅的远场特性

光学技术 2006年第5期32卷 735-737页

作者：杨春林许乔马平杨李茗成都精密光学工程研究中心成都610041

针对现代激光系统中使用的衍射光学元件,以高斯-谢尔模光束为研究对象,分析了部分相干光通过光栅后的远场特性。利用部分相干光的标量传播公式,对不同束腰宽度、相关长度和相干长度的高斯-谢尔模光束经光栅后的传输特性进行了数值计算,... 详细信息

针对现代激光系统中使用的衍射光学元件,以高斯-谢尔模光束为研究对象,分析了部分相干光通过光栅后的远场特性。利用部分相干光的标量传播公式,对不同束腰宽度、相关长度和相干长度的高斯-谢尔模光束经光栅后的传输特性进行了数值计算,得到了多种情况下光束的远场强度分布。

关键词：部分相干光高斯-谢尔模光束远场分布光栅

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榕树型互连网络及光学实现

光学学报 1997年第8期17卷 1045-1049页

作者：杨李茗周柯江浙江大学光学仪器国家重点实验室

讨论了一种用扭曲向列相液晶器件和偏振分光棱镜实现光学榕树互连网络的结构，这种结构具有直线式传输、无错位、无缩放、并能够实现模块化和集成化的优点。

关键词：光学互连网络榕树网液晶分光棱镜光计算机

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非球面非零位检测中的回程误差分析与校正

光学学报 2009年第3期29卷 688-696页

作者：刘东杨甬英田超翁俊淼卓永模杨李茗浙江大学现代光学仪器国家重点实验室浙江杭州310027 中国工程物理研究院激光聚变研究中心四川绵阳621000

光学测试中常用非零位法来对非球面进行初步检测。由于非零位法偏离了零位条件,导致检测得到的被测非球面而形与其真实面形存在一定程度的偏差(称之为回程误差)。分析了非球面非零位检测系统中的回程误差问题,得出了回程误差与被测非球... 详细信息

光学测试中常用非零位法来对非球面进行初步检测。由于非零位法偏离了零位条件,导致检测得到的被测非球面而形与其真实面形存在一定程度的偏差(称之为回程误差)。分析了非球面非零位检测系统中的回程误差问题,得出了回程误差与被测非球面口径、相对口径以及非球面本身面形误差均紧密相关的结论。针对回程误差的表现形式,提出了有效校正回程误差的方法。计算机仿真及检测实验结果均表明,该方法可以较好地解决非球面非零位榆测中的回程误差问题。针对非球面非零位检测中回程误差问题所做的分析以及提出的相应校正方法,有利于非球面非零位法检测精度的提高和系统的广泛应用。

关键词：非球面检测非零位检测回程误差误差校正

利用Zemax辅助标定长期存放的大口径圆形离轴非球面

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红外与激光工程 2011年第7期40卷 1310-1313页

作者：叶海仙鄢定尧张宁杨李茗成都精密光学工程研究中心四川成都610041

检测标定了一块放置多年的Φ530 mm离轴非球面。根据当年的结构参数,在光学设计软件Zemax中建立了该离轴非球面的检测模型。利用y轴离心和x轴倾斜实现了离轴和光束倾斜。通过对某结构参数多次赋值,并将其他结构参数设为变量,优化并观察... 详细信息

检测标定了一块放置多年的Φ530 mm离轴非球面。根据当年的结构参数,在光学设计软件Zemax中建立了该离轴非球面的检测模型。利用y轴离心和x轴倾斜实现了离轴和光束倾斜。通过对某结构参数多次赋值,并将其他结构参数设为变量,优化并观察干涉图变化,找到最佳参数值。根据Zemax对参数的优化结果,使用4D干涉仪和Φ510 mm的平面反射镜,搭建实际检测光路,观察干涉图并进行微调,测得最终结果。去彗差和像散前后图像PV值几乎不变,达到了调节标定要求。使用Zemax软件辅助干涉仪对离轴非球面的检测,大大提高了检测效率,有利于光学加工效率的提高。

关键词：大口径离轴非球面 Zemax辅助标定离轴量 4D干涉仪

用于ICF驱动器的取样光栅的矢量分析与计算

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强激光与粒子束 2002年第2期14卷 270-274页

作者：柴立群杨李茗许乔成都精密光学工程研究中心四川成都610041

在 ICF的终端光学聚焦系统中 ,采用取样光栅 ( BSG)将透射的三倍频光按一定比例送入能量计中进行能量诊断。采用精确耦合波矢量分析方法分析了衍射效率与光栅周期、刻槽深度、占空比等的关系。

关键词： ICF 驱动器取样光栅耦合波法衍射效率矢量分析计算

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磁流变加工对中频误差的影响

强激光与粒子束 2012年第7期24卷 1695-1699页

作者：徐曦杨李茗石琦凯雷向阳侯晶成都精密光学工程研究中心成都610041

基于传统抛光的亚表面损伤层厚度,进行磁流变去除亚表面损伤层的实验以便验证在该加工方式下对元件中频误差的影响。计算机模拟结果及实验数据表明:磁流变加工的走刀间距会引起中频误差评价指标PSD曲线出现对应频率的峰值;抛光斑的不稳... 详细信息

基于传统抛光的亚表面损伤层厚度,进行磁流变去除亚表面损伤层的实验以便验证在该加工方式下对元件中频误差的影响。计算机模拟结果及实验数据表明:磁流变加工的走刀间距会引起中频误差评价指标PSD曲线出现对应频率的峰值;抛光斑的不稳定性会引起PSD曲线出现不确定的次主峰;去除深度与PSD曲线峰值之间有近似的线性关系。采用磁流变作为亚表面损伤层的去除手段,元件的中频误差质量受加工参数影响很大。如果前级加工不佳导致留下的亚表面损伤层较深,用磁流变加工进行去除时会造成中频误差质量超过限定指标。

关键词：磁流变中频误差走刀间距抛光斑稳定性去除深度

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采用环摆抛的双面抛光技术

红外与激光工程 2011年第8期40卷 1526-1529页

作者：何曼泽王琳周佩璠杨李茗成都精密光学工程研究中心四川成都610041

针对大口径方形超薄光学元件的抛光,提出一种新型的基于环摆抛的双面抛光方法,该方法将环形抛光和钟摆式抛光的运动方式和加工机理耦合起来,使其具备同步控制大口径方形超薄光学元件透射波前和反射面形的特点。从理论上介绍了该方法的... 详细信息

针对大口径方形超薄光学元件的抛光,提出一种新型的基于环摆抛的双面抛光方法,该方法将环形抛光和钟摆式抛光的运动方式和加工机理耦合起来,使其具备同步控制大口径方形超薄光学元件透射波前和反射面形的特点。从理论上介绍了该方法的抛光原理,利用研制的双面抛光原理样机,通过实验验证了对大口径超薄光学元件的面形修正能力,证实了这种双面抛光方法的可行性。该方法在控制大口径超薄光学元件的透射波前和反射面形上具有显著的效果。

关键词：双面抛光超薄光学元件透射波前反射面形