利用Zemax辅助标定长期存放的大口径圆形离轴非球面

作     者：叶海仙 鄢定尧 张宁 杨李茗 Ye Haixian;Yan Dingyao;Zhang Ning;Yang Liming

作者机构：成都精密光学工程研究中心四川成都610041 

出 版 物：《红外与激光工程》 (Infrared and Laser Engineering)

年 卷 期：2011年第40卷第7期

页      面：1310-1313页

核心收录：

学科分类：070207[理学-光学] 0808[工学-电气工程] 07[理学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 0804[工学-仪器科学与技术] 0802[工学-机械工程] 0825[工学-航空宇航科学与技术] 0704[理学-天文学] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家科技重大专项 

主　　题：大口径离轴非球面 Zemax辅助标定 离轴量 4D干涉仪 

摘      要：检测标定了一块放置多年的Φ530 mm离轴非球面。根据当年的结构参数,在光学设计软件Zemax中建立了该离轴非球面的检测模型。利用y轴离心和x轴倾斜实现了离轴和光束倾斜。通过对某结构参数多次赋值,并将其他结构参数设为变量,优化并观察干涉图变化,找到最佳参数值。根据Zemax对参数的优化结果,使用4D干涉仪和Φ510 mm的平面反射镜,搭建实际检测光路,观察干涉图并进行微调,测得最终结果。去彗差和像散前后图像PV值几乎不变,达到了调节标定要求。使用Zemax软件辅助干涉仪对离轴非球面的检测,大大提高了检测效率,有利于光学加工效率的提高。