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6H碳化硅衬底上硅碳锗薄膜的生长特性研究

物理学报 2008年第9期57卷 6007-6012页

作者：林涛陈治明李佳李连碧李青民蒲红斌西安理工大学电子工程系西安710048

采用低压热壁化学气相沉积法,在6H-SiC衬底(0001)面上生长了不同温度(1100—1250℃),不同GeH4流量比(6.3%—25%)的SiCGe薄膜样品,研究了SiCGe薄膜的表面形貌、生长特性以及样品中Ge组分含量的变化.扫描电镜测试结果表明,SiCGe薄膜在低... 详细信息

采用低压热壁化学气相沉积法,在6H-SiC衬底(0001)面上生长了不同温度(1100—1250℃),不同GeH4流量比(6.3%—25%)的SiCGe薄膜样品,研究了SiCGe薄膜的表面形貌、生长特性以及样品中Ge组分含量的变化.扫描电镜测试结果表明,SiCGe薄膜在低温下倾向于岛状生长模式,随着生长温度提高,岛状生长逐渐过渡到层状生长模式,同时伴有岛形状和密度的变化.X射线光电子能谱测试得出SiCGe样品中的Ge含量约为0.15%—0.62%,在其他参数不变的情况下,样品的Ge含量随GeH4流量比的增大而升高,随生长温度的降低而升高.此外还定性分析了样品中的反相边界(APB)缺陷.

关键词：碳化硅化学气相沉积反相边界岛状生长

6H-SiC上3C-SiC缓冲层及SiCGe薄膜的生长

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6H-SiC上3C-SiC缓冲层及SiCGe薄膜的生长

作者：李青民西安理工大学

学位级别：硕士

在6H-SiC衬底上异质外延生长SiCGe薄膜,通过调节材料的禁带宽度从而实现材料对近红外和可见光的较强吸收,进而开发碳化硅在光电子技术领域的新应用,具有很高的实用价值。然而在材料的生长过程中,还存在很多问题。通过对材料的测试分析... 详细信息

在6H-SiC衬底上异质外延生长SiCGe薄膜,通过调节材料的禁带宽度从而实现材料对近红外和可见光的较强吸收,进而开发碳化硅在光电子技术领域的新应用,具有很高的实用价值。然而在材料的生长过程中,还存在很多问题。通过对材料的测试分析来优化实验工艺条件,改善薄膜的质量就显得尤为重要。本文介绍采用热壁化学气相沉积(HWCVD)法在6H-SiC衬底上异质外延生长3C-SiC缓冲层和SiCGe合金薄膜的工艺及材料的特性。主要研究内容如下: 1、研究了两个重要因素——源气体流量和生长温度对3C-SiC质量的影响。通过优化工艺条件,在热壁CVD系统中生长出了品质良好的3C-SiC薄膜,并采用SEM、AFM、TEM、XPS等测试方法对样品进行了表征。通过分析得出生长温度为1250℃、反应源气体流量为H:SiH:CH=2000:10:4 SCCM,生长压力为480Pa的情况下3C-SiC薄膜生长模式表现为层状生长模式,外延层与衬底的界面清晰,晶体内部无明显的晶格缺陷,样品表面光滑平整,晶型唯一。 2、研究了源气体流量比例和生长温度对SiCGe薄膜的影响,优化了SiCGe薄膜的生长工艺。在生长温度为1250℃、反应源气体流量为H:SiH:CH:GeH=1000:10:4:2 SCCM的情况下得到了二维层状生长的高质量的SiCGe薄膜。 3、对SiCGe薄膜进行了光透过测试,计算了三元合金的禁带宽度。

关键词： SiC SiCGe 化学气相淀积异质外延

大庆西部外围稠油提高采收率技术室内实验研究

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大庆西部外围稠油提高采收率技术室内实验研究

作者：李青民大庆石油学院

学位级别：硕士

本文在详细调研大庆西部外围稠油油藏储层特征和流体性质的基础上,通过开展热水驱油、蒸汽驱、化学驱、微生物驱、泡沫驱、烟道气驱等驱替室内实验,得出了不同驱替条件下的最终采收率,最后以室内实验结果为基础,采用增量分析方法,以利... 详细信息

本文在详细调研大庆西部外围稠油油藏储层特征和流体性质的基础上,通过开展热水驱油、蒸汽驱、化学驱、微生物驱、泡沫驱、烟道气驱等驱替室内实验,得出了不同驱替条件下的最终采收率,最后以室内实验结果为基础,采用增量分析方法,以利润总额为指标,采用增量法对比评价了各驱油方案的经济效益。评价结果表明,蒸汽驱、注热水、CO2泡沫驱、表面活性剂3#+污水驱替、表面活性剂2#+清水为优选的方案。考虑到固定投资的风险及CO2气源问题,推荐注热水(80℃)、表面活性剂3#+污水驱替和表面活性剂2#+清水三种驱替方案为大庆西部稠油提高采收率技术。

关键词：稠油驱替采收率室内实验

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SiC衬底上SiCGe薄膜的岛状机理分析

材料科学与工艺 2009年第5期17卷 704-706,712页

作者：李连碧陈治明李青民西安理工大学电子工程系西安710048

对热壁化学气相沉积法(HWCVD)在6H-SiC(0001)面上外延生长的SiCGe薄膜结构进行了机理分析.SiCGe薄膜具有球形岛和三角形层状堆叠岛两种岛状结构,球形岛为金刚石型结构,而三角形层状堆叠岛则为闪锌矿型结构.认为球形岛是Ge富集后,高温析... 详细信息

对热壁化学气相沉积法(HWCVD)在6H-SiC(0001)面上外延生长的SiCGe薄膜结构进行了机理分析.SiCGe薄膜具有球形岛和三角形层状堆叠岛两种岛状结构,球形岛为金刚石型结构,而三角形层状堆叠岛则为闪锌矿型结构.认为球形岛是Ge富集后,高温析出形成的,而三角岛则是堆垛层错形成四面体的露头.生长温度的变化会引起球形岛和三角岛的相互转变,其原因主要有两方面:一方面,高温时,立方SiC相比SiCGe相更为稳定,随着温度的升高,SiCGe相逐渐向SiC相转变,替位式的Ge原子的数量会有所下降,从而使SiCGe外延层和SiC衬底间的晶格失配度减小,于是薄膜的生长模式由3D岛状变为2D生长,仅仅靠产生三角形堆垛层错释放失配应力;另一方面,生长温度越高,原子能量就越大,达到理想位置的原子比例越高,就会表现出材料本身的结构特征,而面心立方的{111}面上这种结构特征的体现就是三角形堆垛层错的产生.

关键词： SiC SiCGe 岛状生长热壁化学气相沉积

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动力转向系统故障原因分析

重型汽车 2001年第4期 38-39页

作者：李青民

动力转向系统技术状况的好坏直接影响汽车操纵的轻便性和行驶的稳定性.当转向系统出现故障时,汽车将失去控制,甚至发生事故.下面对重型汽车液压式动力转向系统中经常发生的主要故障进行分析.

关键词：动力转向系统故障分析重型汽车液压式排除方法

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井口回压对站外集油系统的影响

当代化工 2011年第7期40卷 713-715页

作者：李青民中国石油大庆油田公司第九采油厂黑龙江大庆163853

通过分析油井回压对油井产量、抽油机耗电量、集油系统的影响,得出了抽油机的耗电量基本不受回压高低的影响,但由于井口油套连通工艺,回压会对套压造成影响,进而改变生产压差影响产量的结论。并对回压对掺水系统的影响进行了计算,得出... 详细信息

通过分析油井回压对油井产量、抽油机耗电量、集油系统的影响,得出了抽油机的耗电量基本不受回压高低的影响,但由于井口油套连通工艺,回压会对套压造成影响,进而改变生产压差影响产量的结论。并对回压对掺水系统的影响进行了计算,得出适当提高回压有利于减少地面投资及运行费用,达到节能降耗的目的的结论。

关键词：回压套压油井产量抽油机耗电量运行费用

大庆西部外围油田含油污泥生物修复适应性分析

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企业技术开发 2010年第A7期29卷 99-100页

作者：李青民中国石油大庆油田公司第九采油厂黑龙江大庆163853

文章指出了石油污染的危害,通过对大庆西部外围油田含油污泥的分析,对比生物技术修复方式,提出了适应大庆西部外围油田含油污泥的物化-生物-植物联合修复的方法。

关键词：含油污泥生物修复预制床堆腐植物修复

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诚信纳税和会计打假

山西财税 2002年第9期 24-25页

作者：张美卿李青民山西省汾河管理局一坝分局永济热电厂实业总公司

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法律视角下的建设工程抵押贷款风险及防范

当代金融家 2016年第11期 128-129页

作者：耿金衡李青民中国银行业监督管理委员会鹤壁监管分局中国工商银行股份有限公司鹤壁分行

银行应当重视对借款人自身的借款主体资格、主营业务收入、现金流量、信用状况等因素进行审查分析,在符合借款条件的基础上,再考虑贷款担保措施。在房地产高速发展期,工程抵押贷款是银行的低风险业务。但在房地产行业深度调整期,法律风... 详细信息

银行应当重视对借款人自身的借款主体资格、主营业务收入、现金流量、信用状况等因素进行审查分析,在符合借款条件的基础上,再考虑贷款担保措施。在房地产高速发展期,工程抵押贷款是银行的低风险业务。但在房地产行业深度调整期,法律风险开始显现。基本情况2011年4月,G公司以自有在建工程H大厦抵押担保,向某银行申请1年期4000

关键词：抵押贷款在建工程建设工程款优先受偿权保证期间保证人借款主体借款人贷款本金优先受偿法律视角