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基于单色光干涉的光刻胶膜厚测量方法研究
基于单色光干涉的光刻胶膜厚测量方法研究
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作者: 李嘉锐 哈尔滨工业大学
学位级别:硕士
光刻胶的膜厚测量在光刻工艺中是很重要的一个过程,为了得到合乎要求的元器件,需要得到精确的光刻胶膜厚。由不准确的膜厚信息来调整曝光时间,往往会导致金属电极短路或边缘模糊等问题。传统的光刻胶膜厚测量是由实验人员根据光刻胶厂... 详细信息
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本体知识库构建研究 ——以水稻领域为例
本体知识库构建研究 ——以水稻领域为例
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作者: 李嘉锐 中国农业科学院
学位级别:硕士
随着本体知识库构建方面的研究不断增多,人们所构建出来的领域本体也逐渐拓展到多个领域。但是,由于本体自身的专业性强、领域特点显著、构建周期相对较长,使得本体的构建成为一项高智力的劳动密集型工作,本体构建过程中对领域知识背景... 详细信息
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三相伞状支撑式管道清洁机器人的设计与研究
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机床与液压 2020年 第15期48卷 27-29,55页
作者: 李东炜 李嘉锐 广州大学机械与电气工程学院 广东广州510006 哈尔滨工业大学(深圳)机电工程与自动化学院 广东深圳518055
基于雨伞伸缩的结构,设计一种清洁中央空调通风管道内灰尘的机器人。该机器人由清洁单元和2组行走单元组成,其中清洁单元通过特制的弹簧使得清洁头可以自动适应管道直径大小的变化。行走部分由2组行走单元和连接机构组成,行走单元上沿... 详细信息
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基于单色光干涉的光刻胶膜厚测量方法
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机械与电子 2021年 第2期39卷 59-64页
作者: 李嘉锐 胡泓 哈尔滨工业大学(深圳)机电工程与自动化学院 广东深圳518055
针对传统的通过转速与光刻胶膜厚的关系来大致判断膜厚范围的问题,研究了基于单色光干涉的光刻胶膜厚测量方法。基于光刻胶的基本特性,将油膜的膜厚测量方法应用在光刻胶上。基于薄膜干涉原理进行系统的光路设计以及光刻胶膜厚测量平台... 详细信息
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“边缘地区”华侨华人研究中的口述史实践:以泰北山区为例
随园史学
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随园史学 2022年 93-106页
作者: 李嘉锐 杨新新 中国历史研究院 南京师范大学历史系
自20世纪初梁启超在日本通过《新民丛刊》有意识刊登华侨华人史的伟大人物等论著始,采用历史学的研究方法,发掘此前长期为各方所“忽略”的华侨华人历史,便占据了国内外研究界,尤其中国华侨华人研究界的主导地位。((1))相当长时期...
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华北泥河湾盆地铺路哺乳动物群的磁性地层学定年
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地球物理学报 2024年 第1期67卷 225-240页
作者: 李嘉 刘平 高显丽 中国科学院大学地球与行星科学学院 北京100049 中国科学院大学地球与行星科学学院计算地球动力学重点实验室 北京100049 中国科学院大学 北京燕山地球关键带国家野外科学观测研究站北京101408
华北泥河湾盆地的晚新生代河湖相沉积地层,产出了十分丰富的旧石器和哺乳动物化石,记录了早期人类活动以及晚上新世以来哺乳动物群的演化过程.作为广义泥河湾动物群之一,铺路动物群化石点位于盆地内的壶流河东侧,含有晚上新世及早更新... 详细信息
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面向汗液的可穿戴柔性电化学传感器研究进展
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材料工程 2024年 第2期52卷 78-91页
作者: 陈晨 李嘉 聂磊 湖北工业大学机械工程学院现代制造质量工程湖北省重点实验室 武汉430068
汗液中含有人体诸多生理信息,如电解质、代谢物、激素、温度等。基于汗液的可穿戴式传感器可对多模态生物指标实现分子层面上的实时、连续、非侵入式监测,在运动感知、疾病预防以及健康管理等领域具有重大发展潜力,而被广泛研究。本文... 详细信息
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张栻“主一”观探索及书法实践
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中国书法 2024年 第2期 132-138页
作者: 李嘉 杭州师范大学
张栻由于其早逝且南轩门人无大力者继之,未能使思想延续成为一股“洪流”,但其对于湖湘学派的发展、岳麓书院的办学功不可没。本文以其思想成就与之书学观念相结合进行考察,以为其书法实践的动机是与其“主一”思想密不可分的。
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基于分布鲁棒优化的广义共享储能容量配置方法
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电力系统自动化 2024年 第8期48卷 185-194页
作者: 朱佳男 艾芊 李嘉 上海交通大学电子信息与电气工程学院 上海市200240
共享储能通过储能资源的复用,能有效应对高成本和利用率低的难题。迅速发展的需求侧资源在共享储能中具有潜在应用,但其不确定性问题亟待解决。文中引入了电动汽车和温控负荷的虚拟储能模型,结合实体储能,建立了考虑不确定性的广义共享... 详细信息
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CNT/PVA@碳布膜的光电联合驱动界面蒸发性能研究
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化工学报 2024年 第3期75卷 1028-1039页
作者: 张昕 陈雪梅 南京理工大学能源与动力工程学院 江苏南京210094
利用电能辅助的太阳能驱动界面蒸发技术是提高淡水产量的一个有效途径,但是如何绿色高效地获取淡水仍是一个挑战。利用带有孔洞的亚克力板作为支撑装置,在碳布上喷涂碳纳米管(CNT)和无水乙醇的混合溶液作为光热电热膜(CNT/PVA@碳布),与... 详细信息
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