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离子束辅助沉积TiCN多层膜的研究

核技术 2007年第12期30卷 1019-1022页

作者：金杰徐志潜王锦辉明建川过骐千李刘合北京机械工业自动化研究所北京100011 北京航空航天大学机械自动化学院北京100083

利用离子束辅助沉积设备,通过特殊的工艺在45号钢和硅片上生长出具有不同结构的复合多层TiCN膜。通过冷场发射扫描电镜,观察到膜层呈多层晶态和非晶态的复合结构;检测到划痕仪划过的划痕十分平滑,显示出晶态和非晶态膜层与基底具有良好... 详细信息

利用离子束辅助沉积设备,通过特殊的工艺在45号钢和硅片上生长出具有不同结构的复合多层TiCN膜。通过冷场发射扫描电镜,观察到膜层呈多层晶态和非晶态的复合结构;检测到划痕仪划过的划痕十分平滑,显示出晶态和非晶态膜层与基底具有良好的结合力;用显微硬度计检测膜层的表面硬度,发现不同结构和不同成份的组合对硬度影响很大;在摩擦磨损试验机上进行干摩擦试验,结果表明膜层具有较低的摩擦系数。

关键词：离子束辅助沉积晶态多层膜

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永磁微波离子源

核技术 2006年第2期29卷 90-92页

作者：宋执中于金祥郭之虞彭士香明建川袁忠喜王忠义北京大学重离子物理研究所重离子物理教育部重点实验室北京100871

介绍了2.45 GHz袖珍永磁微波离子源的进展,源的外廓尺寸Φ100 min×100mm,重量小于5 kg。它可工作于脉冲和连续两种放电模式。在微波功率500 W、引出电压45 kV及等离子体电极发射孔径为5 mm的条件下,对于脉冲模式,峰值流强为100 mA,柬... 详细信息

介绍了2.45 GHz袖珍永磁微波离子源的进展,源的外廓尺寸Φ100 min×100mm,重量小于5 kg。它可工作于脉冲和连续两种放电模式。在微波功率500 W、引出电压45 kV及等离子体电极发射孔径为5 mm的条件下,对于脉冲模式,峰值流强为100 mA,柬流密度500 mA／cm2;而对于连续模式,流强为60 mA,束流密度300 mA／cm2。两种模式的质子比均可达到80％,归一化均方根发射度小于0．1πmm·mrad。

关键词：永磁微波离子源强流质子

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永磁强流ECR离子源

原子能科学技术 2004年第z1期38卷 50-53页

作者：宋执中明建川于金祥王忠义郭之虞北京大学重离子物理研究所重离子物理教育部重点实验室北京100871

文章介绍一台2.45GHz永磁强流ECR离子源,其直径为10cm,长10cm,重量不足5kg,可工作在直流模式和脉冲模式。脉冲模式引出的氢离子束峰值流强大于100mA,束流密度达到500mA/cm2;直流模式引出束流达到60mA,束流密度为300mA/cm2。两种模式的... 详细信息

文章介绍一台2.45GHz永磁强流ECR离子源,其直径为10cm,长10cm,重量不足5kg,可工作在直流模式和脉冲模式。脉冲模式引出的氢离子束峰值流强大于100mA,束流密度达到500mA/cm2;直流模式引出束流达到60mA,束流密度为300mA/cm2。两种模式的质子比均达到80%。

关键词： ECR离子源永磁强流

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强流脉冲离子束发射度的测量

核技术 2006年第2期29卷 105-107页

作者：明建川袁忠喜彭士香宋执中于金祥郭之虞宋翔翔邹宇斌朱昆北京大学重离子物理研究所重离子物理教育部重点实验室北京100871

介绍了一台基于多缝单丝法的强流离子束发射度仪,讨论了发射度仪硬件的系统构成和设计要点,并对测量计算软件进行了介绍。利用该发射度仪对北京大学重离子物理研究所电子回旋共振(Electron cyclotron resonance,ECR)离子源引出的强流脉... 详细信息

介绍了一台基于多缝单丝法的强流离子束发射度仪,讨论了发射度仪硬件的系统构成和设计要点,并对测量计算软件进行了介绍。利用该发射度仪对北京大学重离子物理研究所电子回旋共振(Electron cyclotron resonance,ECR)离子源引出的强流脉冲质子束的发射度进行了测量,并对测量数据进行了分析。

关键词：强流离子束发射度缝丝法

双元素离子注入机及其在航空发动机主轴轴承上的应用

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核技术 2008年第2期31卷 95-99页

作者：王锦辉梁华明建川过骐千丁伽徐志潜金杰朱启良白玉兰北京机械工业自动化研究所北京100011 洛阳轴承研究所洛阳471039

为了延长航空发动机主轴轴承的使用寿命,在自制的双元素离子注入机上对GCr15和M50两种轴承钢材料的试样、轴承试验件和正式轴承零件进行了双元素离子注入,注入能量为100keV。经检测,GCr15和M50两种材料经N、Ti两种元素注入后,摩擦系数... 详细信息

为了延长航空发动机主轴轴承的使用寿命,在自制的双元素离子注入机上对GCr15和M50两种轴承钢材料的试样、轴承试验件和正式轴承零件进行了双元素离子注入,注入能量为100keV。经检测,GCr15和M50两种材料经N、Ti两种元素注入后,摩擦系数和耐磨损、耐腐蚀、抗疲劳等性能都得到了显著提高。轴承的内外套圈、滚柱和钢球注入的均匀性都达到了87%以上。

关键词：离子注入航空发动机主轴轴承耐磨损耐腐蚀

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永磁强流ECR离子源

永磁强流ECR离子源

第三届北京核学会核应用技术学术交流会

作者：宋执中明建川于金祥王忠义郭之虞北京大学重离子物理研究所重离子物理教育部重点实验室

文章介绍一台2.45GHz永磁强流ECR离子源,其直径为10cm,长10cm,重量不足5kg,可工作在直流模式和脉冲模式。脉冲模式引出的氢离子束峰值流强大于100mA,束流密度达到500mA/cm;直流模式引出束流达到60mA,束流密度为300mA/cm。两种模式的质... 详细信息

文章介绍一台2.45GHz永磁强流ECR离子源,其直径为10cm,长10cm,重量不足5kg,可工作在直流模式和脉冲模式。脉冲模式引出的氢离子束峰值流强大于100mA,束流密度达到500mA/cm;直流模式引出束流达到60mA,束流密度为300mA/cm。两种模式的质子比均达到80%。

关键词： ECR离子源永磁强流

离子束辅助沉积TiCN复合结构多功能膜的研究

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离子束辅助沉积TiCN复合结构多功能膜的研究

2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议

作者：金杰徐志潜过骐千王锦辉明建川李刘合北京机械工业自动化研究所北京机械工业自动化研究所北京机械工业自动化研究所北京机械工业自动化研究所北京机械工业自动化研究所北京航空航天大学机械自动化学院

利用离子束辅助沉积设备,通过特殊的工艺在45号钢和硅片上生长出具有不同结构的复合多功能TiCN膜层。通过冷场发射扫描电镜,观察到膜层呈多层次晶态和非晶态复合结构;用划痕仪检测在膜层上划过的划痕十分平滑,可见该晶态和非晶态膜层与... 详细信息

利用离子束辅助沉积设备,通过特殊的工艺在45号钢和硅片上生长出具有不同结构的复合多功能TiCN膜层。通过冷场发射扫描电镜,观察到膜层呈多层次晶态和非晶态复合结构;用划痕仪检测在膜层上划过的划痕十分平滑,可见该晶态和非晶态膜层与基底具有良好的结合力;用显微硬度计检测膜层的表面硬度,发现不同结构和不同成份的组合对硬度影响很大;在摩擦磨损试验机上进行干摩擦试验,具有较低的摩擦系数。

关键词：离子束辅助沉积晶态复合功能膜层

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电化学方法退镀氮化铬膜层的研究

电化学方法退镀氮化铬膜层的研究

2008年全国荷电粒子源、粒子束学术会议暨中国电工技术学会第十二届电子束离子束学术年会、中国电子学会焊接专业委员会第九届全国电子束焊接学术交流会、粒子加速器学会第十一届全国离子源学术交流会、中国机械工程学会焊接分会2008年全国高能束加工技术研讨会、北京电机工程学会第十届粒子加速器学术交流会

作者：梁爱凤徐志潜金杰王锦辉明建川过骥千北京机械工业自动化研究所

采用离子镀技术在0Cr17Ni4CuNb钢基体上制备了CrNx膜。使用两电极电化学系统将膜层退镀,退镀液采用氢氧化钠(NaOH)溶液,电压2～20V,其中,将含有膜层的钢基体作为阴极,镍板作为阳极,通过调整退镀电压和控制反应时间得到不同参数下的基体... 详细信息

采用离子镀技术在0Cr17Ni4CuNb钢基体上制备了CrNx膜。使用两电极电化学系统将膜层退镀,退镀液采用氢氧化钠(NaOH)溶液,电压2～20V,其中,将含有膜层的钢基体作为阴极,镍板作为阳极,通过调整退镀电压和控制反应时间得到不同参数下的基体表面形貌,经过扫描电镜和EDX分析,退镀后的基体表面无膜层残留且基体腐蚀损伤有限。

关键词：离子镀 CrN膜电化学退镀

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永磁微波离子源

永磁微波离子源

2004全国荷电粒子源、粒子束学术会议

作者：宋执中于金祥郭之虞明建川袁忠喜彭士香王忠义北京大学重离子物理研究所重离子物理教育部重点实验室北京大学重离子物理研究所重离子物理教育部重点实验室北京大学重离子物理研究所重离子物理教育部重点实验室北京大学重离子物理研究所重离子物理教育部重点实验室北京大学重离子物理研究所重离子物理教育部重点实验室北京大学重离子物理研究所重离子物理教育部重点实验室北京大学重离子物理研究所重离子物理教育部重点实验室

本文介绍了2.45GHz袖珍永磁微波离子源的进展,源的外廓尺寸Φ100×100mm,重量小于5kg.它可工作在脉冲和连续两种放电模式。在微波功率500W、引出电压45kV及等离子体电极发射孔径为5mm的条件下,对于脉冲模式,峰值流强100mA,束流密度500mA... 详细信息

本文介绍了2.45GHz袖珍永磁微波离子源的进展,源的外廓尺寸Φ100×100mm,重量小于5kg.它可工作在脉冲和连续两种放电模式。在微波功率500W、引出电压45kV及等离子体电极发射孔径为5mm的条件下,对于脉冲模式,峰值流强100mA,束流密度500mA/cm2:而对于直流模式,流强60mA,束流密度300mA/cm2.两种模式的质子比均可达80%,归一化均方根发射度小于0.1π***。

关键词：永磁微波离子源强流质子