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四氯化碳等离子体腐蚀铝的若干特性

微电子学 1980年第1期 11-16页

作者：房振华

在集成电路结构中,广泛采用铝作为互连线。随着大规模和超大规模集成电路的发展,同对其它结构层的要求一样,需要对铝膜进行窄线条小间距的精细蚀刻;此外,作为互连线,必须保持一定的电流容量,因而要求Al条具有较小的宽度与厚度比。显然,... 详细信息

在集成电路结构中,广泛采用铝作为互连线。随着大规模和超大规模集成电路的发展,同对其它结构层的要求一样,需要对铝膜进行窄线条小间距的精细蚀刻;此外,作为互连线,必须保持一定的电流容量,因而要求Al条具有较小的宽度与厚度比。显然,常规的湿法化学腐蚀是不能满足这些要求的。因此,近几年来,许多人对铝的干法腐蚀进行了广泛的探索,以寻求适用于高集成度的电路中铝刻蚀的理想工艺。目前研究的干法工艺中有离子束腐蚀、射频溅射腐蚀,反应离子腐蚀(或称反应溅射腐蚀)和等离子腐蚀等四种。前两种方法由于设备庞大复杂,腐蚀速率小,选择性差,离子轰击损伤大等缺点,因而较少采用。报导较多并有成熟

关键词：引线图形平行电极坚膜等离子体腐蚀等离子腐蚀选择比反应离子腐蚀软击穿四氯化碳氯代烃

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腐蚀二氧化硅的新技术

微电子学 1978年第1期 35-39页

作者：房振华

在一种新的干法腐蚀二氧化硅工艺中,采用了无水氟化氢。这种方法不损伤SiO2层下面的Si层,具有精度高和实用的特点。在所规定的温度范围和压力下,HF对Si、Si3N4、Al及其它常用的材料没有作用。该工艺可分二种方法:一种是透过负性光致抗... 详细信息

在一种新的干法腐蚀二氧化硅工艺中,采用了无水氟化氢。这种方法不损伤SiO2层下面的Si层,具有精度高和实用的特点。在所规定的温度范围和压力下,HF对Si、Si3N4、Al及其它常用的材料没有作用。该工艺可分二种方法:一种是透过负性光致抗蚀剂进行腐蚀的“渗透腐蚀”;另一种是直接腐蚀。本文阐述了这种新技术的发展和使用。

关键词：负性光刻胶无水二氧化硅光致抗蚀剂抗腐蚀

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柬埔寨哥通大桥水中基础施工技术

石家庄铁道大学学报（自然科学版） 2014年第S1期27卷 188-190页

作者：房振华中国路桥工程有限责任公司北京618100

针对柬埔寨巴萨河哥通大桥的具体工程特点,经过现场勘查,在结合相关工程经验进行综合分析的基础上制定了本桥深水基础施工方案,对各主要施工过程进行了论述,并提出了施工注意事项,可为同类工程提供参考。

关键词：钻孔桩吊箱封底承台

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公路工程路基土石方施工技术探讨

工程技术研究 2021年第1期6卷 53-54页

作者：房振华中国路桥工程有限责任公司北京100011

在公路工程建设过程中路基土石方是非常重要的一项施工内容,一旦出现问题,就会对整体的工程质量造成较大的影响。为了避免外界因素干扰路基土石方施工,相关部门要全面分析施工环境,合理应用各项施工技术,严格要求施工人员规范操作,确保... 详细信息

在公路工程建设过程中路基土石方是非常重要的一项施工内容,一旦出现问题,就会对整体的工程质量造成较大的影响。为了避免外界因素干扰路基土石方施工,相关部门要全面分析施工环境,合理应用各项施工技术,严格要求施工人员规范操作,确保施工质量的安全性和可靠性。

关键词：公路工程路基土石方施工技术

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大跨度斜拉桥平转施工监控及称重方案

国防交通工程与技术 2014年第A1期12卷 72-74页

作者：房振华中国路桥工程有限责任公司北京102400

以某大跨度斜拉桥为背景,在系统分析桥梁平转施工过程及监控要点的基础上,制定了相应的平转结构施工过程主要监控内容,并提出了具体监控方案。根据监控结果提出了转体前转体结构的不平衡称重方案,根据具体称重结果计算了不平衡力矩,提... 详细信息

以某大跨度斜拉桥为背景,在系统分析桥梁平转施工过程及监控要点的基础上,制定了相应的平转结构施工过程主要监控内容,并提出了具体监控方案。根据监控结果提出了转体前转体结构的不平衡称重方案,根据具体称重结果计算了不平衡力矩,提出了相应的配重方案。通过以上工作确保了依托工程施工的安全,可为同类工程提供参考。

关键词：斜拉桥平转监测称重配重

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山西召开腐植酸溃散剂应用技术座谈会

腐植酸 1985年第1期 69-69页

作者：李凤藻房振华太原工业大学

太原工业大学和昔阳县溃散剂厂于一九八五年元月二十九日至元月三十日在昔阳县主办腐植酸溃散剂应用技术座谈会。参加座谈会的有太原矿山机器厂、河北峰峰矿务局机修厂、阳泉矿务局机修厂、雁北机械铸造厂、永济电机厂等17个单位20余

关键词：腐植酸溃散剂技术座谈会

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预应力技术在公路桥梁施工中的应用浅述

建筑技术开发 2021年第3期48卷 119-120页

作者：房振华中国路桥工程有限责任公司北京100011

计算机网络的高速发展极大地推动了各行业应用技术的提升。特别是在市政道路施工中引入了预应力技术后,为保证工程现场的施工效果,更好地解决施工中的常见问题,就要做好细节处理工作,根据不同施工路段的工作状况积极展开作业。此外,现... 详细信息

计算机网络的高速发展极大地推动了各行业应用技术的提升。特别是在市政道路施工中引入了预应力技术后,为保证工程现场的施工效果,更好地解决施工中的常见问题,就要做好细节处理工作,根据不同施工路段的工作状况积极展开作业。此外,现场施工中要选择适宜的操作器具。不断细化基础操作,才能为工程质量做好前期保障,使内部的作用力均匀,道路桥梁的结构稳固性更强,减少安全风险发生的概率。

关键词：市政工程预应力技术保障风险

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太原地区铸造车间噪声及防治调查

铸造 1982年第5期 54-58页

作者：房振华郭耀国山西省太原市铸造学会环保组

本文对大原地区铸造工厂的主要噪声源——冲天炉的鼓风机和砂处理设备,进行了普查和测定。并介绍了几个工厂防治噪声的经验。

关键词：噪声鼓风机砂处理设备噪音铸造车间噪声值太原山西

原尾蜥虎消化道5-羟色胺免疫反应细胞的免疫组织化学

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福建师范大学学报（自然科学版） 2009年第5期25卷 86-89页

作者：房振华张秋金耿宝荣福建师范大学生命科学学院福建福州350108

对原尾蜥虎消化道5-羟色胺免疫反应(5-HT-IR)细胞进行了免疫组织化学定位.结果显示:5-HT-IR细胞在原尾蜥虎消化道各段均有分布,分布密度从前往后呈升—降—升的特点,2个密度高峰出现在十二指肠和直肠部位,胃和回肠的分布密度次之,而食... 详细信息

对原尾蜥虎消化道5-羟色胺免疫反应(5-HT-IR)细胞进行了免疫组织化学定位.结果显示:5-HT-IR细胞在原尾蜥虎消化道各段均有分布,分布密度从前往后呈升—降—升的特点,2个密度高峰出现在十二指肠和直肠部位,胃和回肠的分布密度次之,而食道和空肠的分布密度最低.消化道两端5-HT-IR细胞主要呈圆形、椭圆形,分布于上皮基部、固有膜或腺泡上皮,而小肠的5-HT-IR细胞则主要呈梭形或楔形,分布于上皮细胞之间,5-HT-IR细胞的分布特点、形态特征与其功能相适应.

关键词：原尾蜥虎消化道 5-HT—IR细胞免疫组织化学