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适合硅微机械系统(MEMS)的集成驱动结构──铝硅双金属膜片

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Journal of Semiconductors 1997年第6期18卷 441-447页

作者：战长青罗台秦刘理天钱佩信清华大学微电子学研究所北京100084 香港科技大学微制造中心

双金属效应是一种基本的物理效应，这一效应在硅微机械装置上的应用，有力地弥补了硅材料不具备压电效应，电信号难以直接转换为机械驱动力的缺陷。本文将介绍我们研制的铝硅双金属膜片．膜片尺寸为4mm×4mm×（20μm单晶硅＋10μm金属... 详细信息

双金属效应是一种基本的物理效应，这一效应在硅微机械装置上的应用，有力地弥补了硅材料不具备压电效应，电信号难以直接转换为机械驱动力的缺陷。本文将介绍我们研制的铝硅双金属膜片．膜片尺寸为4mm×4mm×（20μm单晶硅＋10μm金属铝）．实验和分析结果表明，铝硅双金属膜片具有优越的力学特性，能提供足够大的动力和位移。这种集成的单片驱动结构不仅在材料及工艺上与IC工艺完全兼容，而且通过调整有关结构参数及工艺参数，可使该结构在5伏电压下稳定工作，为实现硅微机械系统（MEMS）奠定了基础．这种驱动方式是目前制造微阀门、微流量泵等需要大动力、大位移的硅微机械及其系统的理想驱动结构．

关键词：硅微机械系统 MEMS 集成驱动结构双金属效应

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具有微流量检测功能的集成微流量泵驱动结构

仪表技术与传感器 1998年第3期 1-3页

作者：庞江涛战长青刘理天清华大学微电子学研究所

根据我们研制成功的铝硅双金属驱动微流量泵驱动结构的特点，本文介绍了一种实现微流量泵驱动结构与微流量传感器系统集成的方法。该方法在原微流量泵双金属驱动结构的单晶硅膜上集成制作了微流量传感器。这种一体化的集成驱动结构单元... 详细信息

根据我们研制成功的铝硅双金属驱动微流量泵驱动结构的特点，本文介绍了一种实现微流量泵驱动结构与微流量传感器系统集成的方法。该方法在原微流量泵双金属驱动结构的单晶硅膜上集成制作了微流量传感器。这种一体化的集成驱动结构单元同时具有驱动功能和流量检测功能，并且制作工艺简单，为进一步实现与控制电路集成的集成微流量泵系统奠定了基础。

关键词：微流量泵微流量传感器微流量检测

氢氧化钾各向异性腐蚀制作近似圆形单晶硅膜的掩膜补偿技术

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仪表技术与传感器 1998年第4期 11-12,22页

作者：战长青庞江涛刘理天钱佩信清华大学微电子学研究所

本文介绍我们通过掩膜图形的设计，在（１００）单晶硅上利用氢氧化钾各向异性腐蚀制作错综复杂的正八边形单晶硅膜的方法。据此技术可获得最小外接圆半径仅为腐蚀深度的２．６７倍的小尺寸正八边形单晶硅膜，其力学性能大大优于同样面... 详细信息

本文介绍我们通过掩膜图形的设计，在（１００）单晶硅上利用氢氧化钾各向异性腐蚀制作错综复杂的正八边形单晶硅膜的方法。据此技术可获得最小外接圆半径仅为腐蚀深度的２．６７倍的小尺寸正八边形单晶硅膜，其力学性能大大优于同样面积的等厚方形单晶硅膜，满足微动力机械的要求。

关键词：各向异性腐蚀单晶硅膜掩膜补偿微压力传感器

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抚顺单片黑木耳栽培技术

新农业 2015年第13期 30-33页

作者：战长青抚顺县农村经营管理总站辽宁抚顺113006

抚顺单片黑木耳耳片厚1.7毫米左右,耳轮圆整,耳小,直径45毫米左右,无根,浸泡后外形似＂碗＂状,背面绒毛短而少,暗灰色,耳面黑褐色,平滑有光感,弹性好,口感润滑,营养丰富,可称为黑木耳产品中的精品。经中科院沈阳生态研究所农产品安全与... 详细信息

抚顺单片黑木耳耳片厚1.7毫米左右,耳轮圆整,耳小,直径45毫米左右,无根,浸泡后外形似＂碗＂状,背面绒毛短而少,暗灰色,耳面黑褐色,平滑有光感,弹性好,口感润滑,营养丰富,可称为黑木耳产品中的精品。经中科院沈阳生态研究所农产品安全与环境质量检测中心检测。

关键词：面黑质量检测中心栽培技术圆整无根二级菌种接种箱菌袋一级菌种棉塞

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抚顺地区黑豆栽培的品种选择和技术要领

新农业 2016年第6期 34-35页

作者：战长青抚顺县农村经营管理总站

黑豆是典型的高蛋白、低脂肪食物,含有18种氨基酸,包括人体必需的8种氨基酸;含有19种油酸,其不饱和脂肪酸含量达80%,吸收率极高;含有丰富的维生素E、花青素、异黄酮;含有丰富的微量元素如锌、铜、镁、钼、硒、氟等。黑豆具有预防动脉血... 详细信息

黑豆是典型的高蛋白、低脂肪食物,含有18种氨基酸,包括人体必需的8种氨基酸;含有19种油酸,其不饱和脂肪酸含量达80%,吸收率极高;含有丰富的维生素E、花青素、异黄酮;含有丰富的微量元素如锌、铜、镁、钼、硒、氟等。黑豆具有预防动脉血管硬化、骨质疏松、便秘、抗老防衰、防止大脑老化和美容护发等多种保健功效。黑豆的食用方法较多。

关键词：食用方法技术要领不饱和脂肪酸骨质疏松血管硬化抚顺地区有限结荚习性打垄春整地重迎茬

微系统／欧洲的MEMS技术未来的机遇与挑战

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计算机与信息处理标准化 1997年第1期 64-65页

作者：战长青钱佩信

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抚顺县“三品”认证工作全面展开 B02

抚顺日报

作者：战长青

本报讯　抚顺县为提高农产品质量安全，推动特色农业和产业化农业的发展，加强农业投入品管理，通过政策引导和资金扶持，鼓励农产品加工企业开展“三品”(无公害农产品、绿色食品、有机食品)认证工作。　　目前，抚顺县“三品”认证

关键词：

来源： cnki报纸评论

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大豆新品种辽豆9号优化栽培措施的研究

国外农学（油料作物） 1995年第4期 41-44页

作者：王日升战长青

铝硅双金属驱动膜片形变方向控制及其结构参数的优化

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功能材料与器件学报 1998年第2期4卷 95-100页

作者：庞江涛战长青谭智敏钱欣刘理天李志坚清华大学微电子学研究所

对三种典型的铝硅双金属驱动膜片结构进行了有限元分析。结果表明，铝硅双金属驱动膜片的结构参数与驱动膜片的弯曲变形方向、中心最大挠度和有效形变体积具有紧密的联系。通过不同的结构设计可以控制驱动膜片结构的弯曲变形方向。另外... 详细信息

对三种典型的铝硅双金属驱动膜片结构进行了有限元分析。结果表明，铝硅双金属驱动膜片的结构参数与驱动膜片的弯曲变形方向、中心最大挠度和有效形变体积具有紧密的联系。通过不同的结构设计可以控制驱动膜片结构的弯曲变形方向。另外，通过结构参数优化，可使驱动膜片的中心最大挠度和有效形变体积达到最大值，驱动膜片的性能得到显著提高。

关键词：微电子机械系统微机械微执行器