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Role of CF_2 in the etching of SiO_2,Si_3N_4 and Si in fluorocarbon plasma

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Journal of Semiconductors 2009年第3期30卷 30-34页

作者：陈乐乐朱亮徐昕睿李东霞蔡辉包大勇 Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology Chinese Academy of Sciences Graduate University of the Chinese Academy of Sciences Grace Semiconductor Manufacturing Corporation

The CF2 density and etch rate of SiO2, Si3N4 and Si are investigated as a function of gas pressure and O2 flow rate in fluorocarbon plasma. As the pressure increases, the self-bias voltage decreases whereas the SiO2 etch rate increases. Previous study has shown that SiO2 etch rate is proportional to the self-bias voltage. This result indicates that other etching parameters contribute to the SiO2 etching. Generally, the CF2 radical is considered as a precursor for fluorocarbon layer formation. At a given power, defluorination of fluorocarbon under high-energy ion bombardment is a main source of fluorine for SiO2 etching. When more CF2 radical in plasma, SiO2 etch rate is increased because more fluorine can be provided. In this case, CF2 is considered as a reactant for SiO2 etching. The etch rate of Si3N4 and Si is mainly determined by the polymer thickness formed on its surface which is dominated by the CF2 density in plasma. Etching results obtained by varying O2 flow rate also support the proposition.

关键词： CF2 SiO2 etching fluorocarbon film

以高质量发展推进中国式现代化:生成逻辑、实践路径与价值意蕴的三维解读

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经济学家 2024年第2期 5-14页

作者：徐昕中国人民大学马克思主义学院

发展关乎一个社会的存续与兴衰,决定人类现代化何以可能。党的二十大提出高质量发展是全面建设社会主义现代化国家的首要任务。从生成逻辑来看,它体现了中国共产党对人类社会发展规律的科学研判、是一百多年来探索现代化发展道路而得出... 详细信息

发展关乎一个社会的存续与兴衰,决定人类现代化何以可能。党的二十大提出高质量发展是全面建设社会主义现代化国家的首要任务。从生成逻辑来看,它体现了中国共产党对人类社会发展规律的科学研判、是一百多年来探索现代化发展道路而得出的必然结论、是在把握重大机遇与现实挑战中实现发展水平新跃升的时代要求。从实践路径来看,高质量发展应在发展理念、产业体系、经济制度、开放水平等方面对标社会主义现代化强国目标。从价值意蕴来看,以高质量发展推进中国式现代化不仅厚植了经济社会的物质技术根基,而且提升了人类文明新形态的中国创造力和国际影响力,为建构中国式现代化的理论体系提供了丰富资源,从而实现了对西方现代化的全面超越。

关键词：高质量发展中国共产党中国式现代化首要任务

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数字技术资本主义应用的意识形态批判

中国地质大学学报（社会科学版） 2024年第3期24卷 10-19页

作者：徐昕中国人民大学马克思主义学院北京100872

因受到特定的阶级意志、政治制度、经济利益等因素的影响,数字技术具有鲜明的意识形态属性。具体表现为:资产阶级利用人们在数字技术中所获得的自由、共享、便捷等情感体验,在数字化生产中制造劳动解放幻象。他们试图塑造技术主义观念... 详细信息

因受到特定的阶级意志、政治制度、经济利益等因素的影响,数字技术具有鲜明的意识形态属性。具体表现为:资产阶级利用人们在数字技术中所获得的自由、共享、便捷等情感体验,在数字化生产中制造劳动解放幻象。他们试图塑造技术主义观念以增进数字劳动者的心理认同和情感归属,同时使后者在无意识中遭受数字资本的剥削与奴役。数字技术资本主义应用的意识形态实质在于为数字资本加剧对数字劳动者更加深入、广泛的剥削开辟道路,进而强化资本对劳动全方位的统治权力,也进一步激化了私有化与更充分的社会化大生产之间的矛盾。唯有准确识别和科学把握数字技术资本主义应用的意识形态表现、实质、危害等基础性问题,阐释其中所反映的意识形态的阶级性与虚假性,并最终落脚于现实的生产关系批判,才能明确数字时代人类意识形态的重塑进路。

关键词：数字技术数字劳动资本主义意识形态批判共产主义

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逆强化学习算法、理论与应用研究综述

自动化学报 2024年第9期50卷 1704-1723页

作者：宋莉李大字徐昕北京化工大学信息科学与技术学院北京100029 国防科技大学智能科学学院长沙410073

随着高维特征表示与逼近能力的提高,强化学习(Reinforcement learning,RL)在博弈与优化决策、智能驾驶等现实问题中的应用也取得显著进展.然而强化学习在智能体与环境的交互中存在人工设计奖励函数难的问题,因此研究者提出了逆强化学习(... 详细信息

随着高维特征表示与逼近能力的提高,强化学习(Reinforcement learning,RL)在博弈与优化决策、智能驾驶等现实问题中的应用也取得显著进展.然而强化学习在智能体与环境的交互中存在人工设计奖励函数难的问题,因此研究者提出了逆强化学习(Inverse reinforcement learning,IRL)这一研究方向.如何从专家演示中学习奖励函数和进行策略优化是一个重要的研究课题,在人工智能领域具有十分重要的研究意义.本文综合介绍了逆强化学习算法的最新进展,首先介绍了逆强化学习在理论方面的新进展,然后分析了逆强化学习面临的挑战以及未来的发展趋势,最后讨论了逆强化学习的应用进展和应用前景.

关键词：强化学习逆强化学习线性逆强化学习深度逆强化学习对抗逆强化学习

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基于创新创业教育的大学生创业意愿影响因素研究

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江苏高教 2024年第7期 107-114页

作者：徐昕黄宇苏州大学北京研究院江苏苏州215006 常熟理工学院纺织服装与设计学院江苏常熟215500

文章旨在通过深入分析大学生的创业意愿及其影响因素,来评估创新创业教育在激发学生创业意愿和能力提升方面的成效及存在问题。文章采用问卷调查法,将创新创业教育元素融入问卷中,对收集到的有效样本数据进行主成分分析,并根据析出的四... 详细信息

文章旨在通过深入分析大学生的创业意愿及其影响因素,来评估创新创业教育在激发学生创业意愿和能力提升方面的成效及存在问题。文章采用问卷调查法,将创新创业教育元素融入问卷中,对收集到的有效样本数据进行主成分分析,并根据析出的四个成分的特点,将其分为个人、家庭、学校、社会四个成分,并计算出每个成分的权重。分析表明,个人因素对大学生创业意愿的影响最大,其次是社会因素,再次是学校因素,家庭因素也有一定影响。进一步研究发现,大学生的创业热情普遍不高,许多家长对子女创业持保守态度,高校创新创业教育课程效果并不显著,社会创业氛围尚未完全形成,是当前制约大学生创业意愿的关键因素。研究结果有助于高校优化创新创业课程设置、改进教学方法和加强实践环节,并为完善大学生创业支持政策提供参考。

关键词：创新创业教育大学生创业意愿主成分分析

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基于跨模态语义关系建模的视觉定位技术研究

基于跨模态语义关系建模的视觉定位技术研究

作者：徐昕合肥大学

学位级别：硕士

单边经济制裁引发国际投资争端的路径、挑战及中国应对

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国际经济评论 2024年

作者：徐昕吴金昌上海对外经贸大学国际组织学院（贸易谈判学院）

近年来，日益扩张的单边经济制裁成为影响国际投资活动的重要因素，不同类型的制裁措施可能损害投资者的多项权益，违反国际投资协定中的实体待遇条款并引发国际投资争端。传统国际投资仲裁在解决由单边经济制裁引发的争端时将面临新的... 详细信息

近年来，日益扩张的单边经济制裁成为影响国际投资活动的重要因素，不同类型的制裁措施可能损害投资者的多项权益，违反国际投资协定中的实体待遇条款并引发国际投资争端。传统国际投资仲裁在解决由单边经济制裁引发的争端时将面临新的挑战与障碍，导致争端难以通过仲裁得到高效、合理解决。作为全球对外投资大国，中国应在国家和投资者两个层面加强对单边经济制裁引发投资争端的预防和应对工作：在国家层面，可在国际投资协定中针对单边经济制裁制定约束条款，以此有效降低制裁对投资的不利影响并推动争端得到合理解决；在投资者层面，应构建面向单边经济制裁的风险防范体系，并积极利用东道国行政申诉、司法诉讼等救济机制，以维护投资者合法权益。

关键词：单边经济制裁国际投资争端投资仲裁中国对外投资

二硫键桥连环糊精水凝胶药物载体的制备及控释性能研究

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二硫键桥连环糊精水凝胶药物载体的制备及控释性能研究

作者：徐昕齐鲁工业大学

学位级别：硕士

水凝胶是一类可利用化学键力或物理结合力相互作用形成三维网状结构的高分子材料,因其具有良好的生物相容性及与人体组织相近的柔韧性被广泛用于药物递送研究。但传统水凝胶载药量低,突释效应显著,限制了其作为药物载体的应用。本课题... 详细信息

水凝胶是一类可利用化学键力或物理结合力相互作用形成三维网状结构的高分子材料,因其具有良好的生物相容性及与人体组织相近的柔韧性被广泛用于药物递送研究。但传统水凝胶载药量低,突释效应显著,限制了其作为药物载体的应用。本课题设计了高载药量,释药可控的水凝胶药物载体,将环糊精通过二硫键桥连到水凝胶高分子骨架中。一方面,环糊精结构的引入可作为药物的亲和位点增加载药量;另一方面二硫键赋予材料智能响应性,通过调控二硫键的还原性断裂控制水凝胶的释药性能。首先,合成了二硫键桥连的单取代甲基丙烯酸-β-CD（MA-SS-β-CD）,HNMR、CNMR、FTIR、元素分析确定其结构及纯度约在98%以上。并将此单体MA-SS-β-CD和甲基丙烯酸羟基乙酯（HEMA）组成聚合体系,模压热固化制备了二硫键桥连的含β-CD水凝胶薄膜（p HEMA/β-CD）。元素分析法测定了β-CD的含量,进行了平衡溶胀度、力学及透光性能表征,并以小鼠成纤维细胞（L929细胞株）为模型,利用直接接触法与浸提法进行了材料的细胞毒性评价。实验结果表明,引入环糊精组分轻微降低了材料的透光性能,但β-CD含量为13.83%时其透光率仍维持在80%以上（600 nm）。随着凝胶中引入β-CD含量的增加,凝胶的含水量增加,力学性能也随之显著提高。含环糊精水凝胶细胞毒性评级为1级,具有良好的生物相容性。然后,以两种具有不同疏水性的药物葛根素（PUE）和姜黄素（CUR）为模型药物,评估水凝胶的药物负载和体外释放情况。结果表明,在水凝胶中加入β-CD后,葛根素和姜黄素的载药量分别增加了0.8倍和7倍,释放率也明显降低,表现出良好的高加载量及缓释效应。最后,将负载药物的水凝胶浸入还原型谷胱甘肽（GSH）溶液中,以评估其氧化还原反应性。结果表明,水凝胶对GSH高度敏感。3 m M的低浓度GSH可以明显加快药物释放速度。β-CD含量越高,水凝胶对GSH越敏感,药物释放速度越快。此外不同p H条件下凝胶释药结果显示酸性环境可小幅提升药物释放速率。为匹配不同给药方式,本文将单体MA-SS-β-CD与N-异丙基丙烯酰胺（NIPAM）聚合得到还原与温度双重响应线型聚合物（PNIPAM-SS-β-CD）。HNMR、FTIR、元素分析、凝胶渗透色谱法表征了高分子PNIPAM-SS-β-CD的结构、组成及分子量。结果表明,聚合物中两种单体MA-SS-β-CD与NIPAM摩尔比为1:9.28,重均分子量为5.375×10～4 Da。和单纯p HIPAM相比,引入环糊精组分轻微升高了其凝胶相变温度（LCST）,但在较低浓度（10 wt%）水溶液中,相变温度（36℃）仍低于体温。继续对PNIPAM-SS-β-CD的细胞毒性及溶血性能进行考察,结果表明,PNIPAM-SS-β-CD的细胞存活率在95%以上,且无明显溶血现象。以姜黄素为模型药物,测试了PNIPAM-SS-β-CD的药物加载、载药PNIPAM-SS-β-CD的温敏性及释药性能。结果表明,共聚物对于姜黄素负载能力较纯PNIPAM聚合物提升约6倍,相变温度可控制在体温以下,并表现出良好的温敏性。释药时间可达24 h以上,并对GSH表现出高度敏感性。

关键词：水凝胶还原响应温度响应 β-CD 药物控释

医务社会工作服务困境及对策分析 ——以内蒙古R医院为例

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医务社会工作服务困境及对策分析 ——以内蒙古R医院为例

作者：徐昕内蒙古师范大学

学位级别：硕士