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基于监控片更换策略的光学监控沉积仿真研究

光学技术 2005年第2期31卷 266-268,271页

作者：姚细林童南春华中光电技术研究所湖北武汉430074

在极值法光学膜厚监控中,使用多少监控片且何时更换(即监控片更换策略)在一定程度上是该膜系镀制成功与否的一个关键因素。分析了在反射式极值法光学监控中监控片更换策略的数值模型。根据大量的实验得到的工艺参数,在不同过正控制量下... 详细信息

在极值法光学膜厚监控中,使用多少监控片且何时更换(即监控片更换策略)在一定程度上是该膜系镀制成功与否的一个关键因素。分析了在反射式极值法光学监控中监控片更换策略的数值模型。根据大量的实验得到的工艺参数,在不同过正控制量下首次进行了监控片更换策略优化的沉积仿真模拟。结果表明:在多腔结构膜系的沉积过程中存在着"假性"极值,容易导致某些膜层厚度的严重误差。不同的过正控制量对光学监控效果会产生明显地影响;所给定的过正控制量存在着最佳的监控片更换策略;合适的变过正控制量可进一步改善薄膜的光学性能。

关键词：光学监控过正控制量沉积仿真光学薄膜

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微空心阴极放电自持的辉光放电的理论及实验

华中科技大学学报（自然科学版） 2005年第9期33卷 91-93页

作者：王新兵周俐娜姚细林华中科技大学激光技术与工程研究院湖北武汉430074

利用蒙特卡洛方法模拟了微空心阴极放电(MHCD)出射电子的空间以及能量分布,并在此基础上模拟了微空心阴极放电自持的辉光放电中电子的空间分布.模拟表明减小MHCD绝缘层厚度,能有效地改变从微空心阴极放电中出射电子的能量分布,从而提高... 详细信息

利用蒙特卡洛方法模拟了微空心阴极放电(MHCD)出射电子的空间以及能量分布,并在此基础上模拟了微空心阴极放电自持的辉光放电中电子的空间分布.模拟表明减小MHCD绝缘层厚度,能有效地改变从微空心阴极放电中出射电子的能量分布,从而提高电子发射效率.对于给定的微空心阴极放电电压,电子的发射存在一个轴向电压阈值;轴向电压的进一步增加,出射的电子数会达到饱和.实验表明以MHCD作为辉光放电电子源是可行的,并且微空心阴极放电自持的辉光放电特性的实验结果和理论模拟是一致的.

关键词：辉光放电微空心阴极放电蒙特卡洛模拟等离子体阴极

微空心阴极放电作大体积辉光放电电子源的模拟研究

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激光杂志 2003年第5期24卷 21-23页

作者：姚细林王新兵周俐娜卢宏华中科技大学激光技术国家重点实验室武汉430074

基于MATLAB与VC + +混合语言 ,采用MonteCarlo模拟对高气压下亚毫米级微空心阴极放电 (MHCD)在第三电极牵引下电子的运动过程进行了研究 ,计算出不同电压、不同的尺寸结构下 ,电子的空间分布和被牵引出MHCD的电子能量分布。从理论上分析... 详细信息

基于MATLAB与VC + +混合语言 ,采用MonteCarlo模拟对高气压下亚毫米级微空心阴极放电 (MHCD)在第三电极牵引下电子的运动过程进行了研究 ,计算出不同电压、不同的尺寸结构下 ,电子的空间分布和被牵引出MHCD的电子能量分布。从理论上分析了MHCD结构要求。

关键词：微空心阴极第三电极辉光放电阴极放电 MHCD 电子能量分布

High Pressure Micro-Slot Hollow Cathode Discharge

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Plasma Science and Technology 2005年第6期7卷 3135-3136页

作者：王新兵周俐娜姚细林 State Key Laboratory of Laser Technology Huazhong University of Science and TechnologyWuhan 430074 China

A direct current glow discharge source structure operating at high pressure based on the micro-slot hollow cathode is presented in this article. A 100 μm width slot cathode was fabricated of copper, and a stable DC glow discharge with an area of 0.5 mm^2 was produced in noble gases （He, Ne） and air over a wide pressure range （kPa - 10 kPa）. The current-voltage characteristics and the near UV radiation emission of the discharge were studied.

关键词： glow discharge hollow cathode high pressure DC discharge

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可见光-红外多波段窗口减反射膜研究

可见光-红外多波段窗口减反射膜研究

结构选择优化及过正量膜厚控制在激光析光膜中的应用

中国光学学会2011年学术大会

作者：姚细林熊长新华中光电技术研究所-武汉光电国家实验室

随着现代军用光电装备对多波段共光路、共窗口光学系统的应用需求,多波段合一窗口减反射膜逐步成为国内外研究的热点。根据多波段减反射膜的实际要求,引入了超薄膜层设计理念,设计出可见光、激光与长波红外三波段减反射膜系。通过ZnS、... 详细信息

随着现代军用光电装备对多波段共光路、共窗口光学系统的应用需求,多波段合一窗口减反射膜逐步成为国内外研究的热点。根据多波段减反射膜的实际要求,引入了超薄膜层设计理念,设计出可见光、激光与长波红外三波段减反射膜系。通过ZnS、YF3膜料进行了基于离子辅助沉积技术的基础工艺试验,获取了折射率数据库及相应的制备工艺。以此为基础,经过大量镀制实验,最终制备出光学性能良好的三光合一窗口减反射膜,镀膜样品通过GJB2485-95规定的高低温、恒定湿热实验以及海水浸泡实验等。

关键词：多波段减反射膜离子辅助沉积环境适应性

来源： cnki会议评论

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光学与光电技术 2004年第5期2卷 17-19页

作者：童南春姚细林胡勇华中光电技术研究所武汉430073

分析了膜系设计中的膜层结构选择性优化方法,阐述了用光电极值法控制非4/l膜系的膜厚的方法——计算出沉积每一层具有极值的波长,然后根据此波长,给出一定的过正量进行膜厚模拟,最后确定每一层的监控波长。利用这种方法可以提高膜系厚... 详细信息

分析了膜系设计中的膜层结构选择性优化方法,阐述了用光电极值法控制非4/l膜系的膜厚的方法——计算出沉积每一层具有极值的波长,然后根据此波长,给出一定的过正量进行膜厚模拟,最后确定每一层的监控波长。利用这种方法可以提高膜系厚度的控制精度。该文介绍了自主开发膜系设计软件的部分功能,并利用该软件设计并镀制出1060nm的激光析光膜。

关键词：结构选择性优化设计极值法过止控制量光学监控沉积仿真

反应式离子辅助沉积增强型ITO膜制备工艺研究

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反应式离子辅助沉积增强型ITO膜制备工艺研究

中国光学学会2006年学术大会

作者：姚细林何光宗朱谧熊长新华中光电技术研究所华中光电技术研究所华中光电技术研究所华中光电技术研究所

在恶劣的海洋环境下,军用光电装备窗口容易沾水或凝结水珠,严重时还会结冰、结霜或发雾,从而直接影响了目视观测及光信号采集的效果。鉴此,我们特开展了ITO透明导电膜的专项研究。所有制备工艺实验均是在进口莱宝SYRUSpro1110镀膜机上...

在恶劣的海洋环境下,军用光电装备窗口容易沾水或凝结水珠,严重时还会结冰、结霜或发雾,从而直接影响了目视观测及光信号采集的效果。鉴此,我们特开展了ITO透明导电膜的专项研究。所有制备工艺实验均是在进口莱宝SYRUSpro1110镀膜机上进行。该设备配备有先进的APSpmII等离子体源和OMS4000光学膜厚监控系统。

关键词：

来源： cnki会议评论

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微空心阴极放电及其应用

激光与光电子学进展 2003年第5期40卷 38-42页

作者：周俐娜王新兵赖建军姚细林华中科技大学激光技术国家重点实验室武汉430074

微空心阴极放电(MHCD)是指阴极孔径为亚毫米量级时的高气压辉光放电。本文介绍了微空心阴极放电的研究进展,分析了其光谱特性,最后讨论了它的应用前景。

关键词：微空心阴极放电高气压辉光放电光谱特性应用前景 MHCD 多孔阵列准分子激光器等离子体显示

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氧离子辅助反应蒸发法制备ITO薄膜的研究

光学与光电技术 2007年第1期5卷 71-74页

作者：何光宗熊长新姚细林华中光电技术研究所武汉430073

采用氧离子辅助电子束反应蒸发工艺在K9玻璃基底上制备了性能优异的ITO薄膜。通过对薄膜方块电阻和透过率的测量分析，研究了基底温度、离子束流、沉积速率等工艺参数对ITO薄膜光电性能的影响。发现升高基底温度有利于减小薄膜的短波吸... 详细信息

采用氧离子辅助电子束反应蒸发工艺在K9玻璃基底上制备了性能优异的ITO薄膜。通过对薄膜方块电阻和透过率的测量分析，研究了基底温度、离子束流、沉积速率等工艺参数对ITO薄膜光电性能的影响。发现升高基底温度有利于减小薄膜的短波吸收，但过高的基底温度会增加薄膜的电阻率，合适的沉积速率可以同时改善薄膜的光学和电学性能。在比较理想的工艺参数下制备的ITO薄膜的电阻率约为5．4×10^-4Ω·cm，可见光（波长范围425-685nm）平均透过率达84．8％，其光电性能均达到实用化要求。

关键词： ITO薄膜氧离子辅助反应蒸发