检索结果-南通市图书馆

光电工程 2001年第1期28卷 1-5页

作者：冯伯儒张锦侯德胜周崇喜苏平中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室四川成都610209

详细地论述了相移掩模提高光刻分辨力和改善焦深的原理。介绍了光学邻近效应校正方法。

关键词：相移掩模光学邻近效应校正光刻技术

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近零折射率材料激光合束

红外与激光工程 2012年第10期41卷 2631-2636页

作者：李淼峰周崇喜中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室四川成都610209 中国科学院研究生院北京100049

设计了一种基于近零折射率亚波长人工材料的激光合束器。首先介绍了合束器的基本原理、结构及其材料;然后基于渔网结构设计了合束器的构成材料,通过S参数反演法计算得到其物质参数;最后,利用所得材料参数对三束以不同角度入射的激光合... 详细信息

设计了一种基于近零折射率亚波长人工材料的激光合束器。首先介绍了合束器的基本原理、结构及其材料;然后基于渔网结构设计了合束器的构成材料,通过S参数反演法计算得到其物质参数;最后,利用所得材料参数对三束以不同角度入射的激光合束结果进行了仿真分析,并与理想平面波进行对比。结果表明:当三束激光的入射角分别为-15°、0°和10°时,合成的单束激光相对于平面波在强度为最大值1/e2处的远场发散角展宽仅为1.6 mrad。可见该方法可以成功地将多束激光合为一束,且具有理想的输出光束特性。

关键词：激光合束亚波长微纳结构散射参数反演法渔网结构近零折射率材料

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0.35μm相移掩模模拟计算及软件设计

光电工程 1999年第4期26卷 34-39页

作者：周崇喜冯伯儒侯德胜张锦陈芬孙方中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室四川成都610209

首先通过对０．３５μｍ接触方孔在不同相移掩模情况下硅片表面空间象光强分布的模拟计算，得出不同相移掩模情况下的最优相移参数。在几种相移掩模中，衰减型对提高边缘斜率最为明显，因此我们决定采用衰减型相移掩模。最后编制了相... 详细信息

首先通过对０．３５μｍ接触方孔在不同相移掩模情况下硅片表面空间象光强分布的模拟计算，得出不同相移掩模情况下的最优相移参数。在几种相移掩模中，衰减型对提高边缘斜率最为明显，因此我们决定采用衰减型相移掩模。最后编制了相应的实用化软件，该软件能够自动生成各种相移掩模并能够模拟计算不同照明参数、不同掩模、不同数值孔径、不同离焦情况下的空间象分布。

关键词：相移掩模衰减计算机掩模软件设计 IC

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微透镜面形误差影响LD光束准直的研究

光电工程 2003年第2期30卷 5-7页

作者：刘银辉周崇喜杜春雷中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室四川成都610209

采用求解几何光学点列图的办法,针对半导体激光器准直微透镜各种不同的面形误差,用实例分析计算了它们对LD光束准直的影响,从结果可看出中部出现微小偏差的微透镜对LD光束准直效果优于具有其他类型偏差的微透镜,并针对具体情况给微透镜... 详细信息

采用求解几何光学点列图的办法,针对半导体激光器准直微透镜各种不同的面形误差,用实例分析计算了它们对LD光束准直的影响,从结果可看出中部出现微小偏差的微透镜对LD光束准直效果优于具有其他类型偏差的微透镜,并针对具体情况给微透镜阵列的制作提供参考。

关键词：微透镜阵列面形误差光束准立半导体激光器

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三维梯度光子晶体聚焦透镜

光学学报 2010年第8期30卷 2427-2431页

作者：陈素娟周崇喜邱传凯罗先刚中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室四川成都610209

提出了一种利用不同大小的高折射率介质方柱组成的梯度光子晶体来实现聚焦的方法。数值仿真计算证明,该聚焦器件能实现高能量利用率和接近衍射极限的聚焦光斑。在透镜两侧涂上一层增透膜,可以有效地抑制旁瓣和提高能量利用率。随着透镜... 详细信息

提出了一种利用不同大小的高折射率介质方柱组成的梯度光子晶体来实现聚焦的方法。数值仿真计算证明,该聚焦器件能实现高能量利用率和接近衍射极限的聚焦光斑。在透镜两侧涂上一层增透膜,可以有效地抑制旁瓣和提高能量利用率。随着透镜填充因子的增大,焦点的能量随之增强。针对波长10.6μm,设计了一个口径为100μm,焦距为50μm的梯度光子晶体结构透镜,利用时域有限差分方法得出透镜能量利用率在填充因子为44.7%时达到了48.5%,焦斑大小也接近衍射极限。

关键词：光学器件能量效率时域有限差分梯度光子晶体薄膜填充因子

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三光束激光干涉光刻的实现方法

强激光与粒子束 2011年第12期23卷 3250-3254页

作者：刘国强张锦周崇喜中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室成都610209 中国科学院研究生院北京100039 西安工业大学光电学院西安710032

分析了多光束空间分布产生的误差对图形的影响,通过计算优化得到三光束产生的干涉图形在整个面内有着更好的图形稳定性。利用氦镉激光光源通过特定的光学系统形成空间分布近似旋转对称的三束光,对光致抗蚀剂进行干涉曝光,制作出了周期60... 详细信息

分析了多光束空间分布产生的误差对图形的影响,通过计算优化得到三光束产生的干涉图形在整个面内有着更好的图形稳定性。利用氦镉激光光源通过特定的光学系统形成空间分布近似旋转对称的三束光,对光致抗蚀剂进行干涉曝光,制作出了周期600nm、高度350nm的蜂窝状点阵,测量结果表明该系统具有很好的图形重复性和稳定性,同时降低了对于光学光路的精密性要求。

关键词：干涉光刻三光束图形稳定性周期性点阵

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离轴型全息衍射光学元件多波长激光合束研究

中国激光 2010年第7期37卷 1734-1738页

作者：冯远明王兴平杨欢周崇喜中国科学院光电技术研究所微细加工国家重点实验室四川成都610209

基于全息光学成像理论,提出了一种用于光纤耦合输出多波长激光的合束方法。该方法具有结构简单、合束效率高的特点。结合编程计算,设计了离轴型全息光学元件,给出了该元件的相位分布,并通过仿真软件Zemax和衍射的角谱理论对合束光束的... 详细信息

基于全息光学成像理论,提出了一种用于光纤耦合输出多波长激光的合束方法。该方法具有结构简单、合束效率高的特点。结合编程计算,设计了离轴型全息光学元件,给出了该元件的相位分布,并通过仿真软件Zemax和衍射的角谱理论对合束光束的发散角和光束质量进行了计算。结果表明,对635,808,975 nm 3种波长的光纤耦合输出激光进行合束,光束质量因子M2由23.5增加到47.9,理论效率95%。

关键词：激光技术全息光学元件衍射多波长激光合束

衍射光学半导体激光器线阵消像散准直器系统误差分析

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中国激光 2000年第6期27卷 515-518页

作者：周崇喜中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室成都610209

分析了衍射光学半导体激光器线阵消像散准直器误差的来源 ,推导了相应的计算公式 ,并对设计制作的准直器进行了误差计算与分析 ,指出减小误差的措施。

关键词：衍射光学消像散半导体激光器准直器

波前分割DOE阵列半导体激光器光束的品字形整形

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红外与激光工程 2013年第3期42卷 616-620页

作者：石振东李淼峰邱传凯姚军周崇喜中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室四川成都610209 中国科学院大学北京100049

半导体激光器（LD）输出光束受工作电流、个体差异的影响，发散角、输出光强出现波动。常规衍射光学元件（DOE）的激光光束整形设计只针对特定的输入输出光场，使用宽容度比较小。文中在LD的整形中利用DOE阵列化的处理，输入光场被分割... 详细信息

半导体激光器（LD）输出光束受工作电流、个体差异的影响，发散角、输出光强出现波动。常规衍射光学元件（DOE）的激光光束整形设计只针对特定的输入输出光场，使用宽容度比较小。文中在LD的整形中利用DOE阵列化的处理，输入光场被分割成许多小单元，不同强度的光重新在成像平面内预定的区域内叠加，实现对光束的整形。用均匀平面波设计阵列DOE每个单元，把高斯分布的球面波整形成品字形光强分布，衍射效率为90．53％，均匀性大约为96％；发散角在快、慢轴方向上2°～16°的范围内变化，均匀性为95.8％以上、衍射效率为90％以上；在离焦量±16μm内，光束质量变化不大。阵列DOE提高了LD光束整形系统的稳定性。

关键词：阵列衍射光学元件 LD光束整形变发散角均匀性

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基层新华书店读者俱乐部大有可为

出版发行研究 2000年第3期 57-58页

作者：周崇喜湖南新化县新华书店

一、基层店读者俱乐部的定位和运作方式国外读者俱乐部具有图书出版权,而基层新华书店不具备出版权, 所以其读者俱乐部不同于国外的读者俱乐部和国内出版社的读者俱乐部, 不能出版图书.当然基层新华书店具有图书发行权,读者俱乐部参与... 详细信息

一、基层店读者俱乐部的定位和运作方式国外读者俱乐部具有图书出版权,而基层新华书店不具备出版权, 所以其读者俱乐部不同于国外的读者俱乐部和国内出版社的读者俱乐部, 不能出版图书.当然基层新华书店具有图书发行权,读者俱乐部参与或配合图书发行是可以的,是新华书店一种特殊的营销部门.俱乐部采取某些措施联系其成员,因而具有一定的群众性.读者俱乐部是新华书店服务读者的一种崭新的手段和方法, 最终目的是为书找读者,为读者找书, 具有较强的服务性.读者俱乐部是以书为媒介, 开展各种以书为内容的文化活动, 起着营造书香文化氛围、倡导全社会读者读书的作用, 因此, 读者俱乐部具有文化组织的特点.所以说, 把读者俱乐部定位为具有营销特点的群众文化组织是合适的.

关键词：新华书店基层书店读者俱乐部