波前分割DOE阵列半导体激光器光束的品字形整形

作     者：石振东 李淼峰 邱传凯 姚军 周崇喜 

作者机构：中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室四川成都610209 中国科学院大学北京100049 

出 版 物：《红外与激光工程》 (Infrared and Laser Engineering)

年 卷 期：2013年第42卷第3期

页      面：616-620页

核心收录：

学科分类：070207[理学-光学] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学] 

基　　金：中国科学院功能晶体与激光技术重点实验室开放课题 

主　　题：阵列衍射光学元件 LD光束整形 变发散角 均匀性 

摘      要：半导体激光器（LD）输出光束受工作电流、个体差异的影响，发散角、输出光强出现波动。常规衍射光学元件（DOE）的激光光束整形设计只针对特定的输入输出光场，使用宽容度比较小。文中在LD的整形中利用DOE阵列化的处理，输入光场被分割成许多小单元，不同强度的光重新在成像平面内预定的区域内叠加，实现对光束的整形。用均匀平面波设计阵列DOE每个单元，把高斯分布的球面波整形成品字形光强分布，衍射效率为90．53％，均匀性大约为96％；发散角在快、慢轴方向上2°～16°的范围内变化，均匀性为95.8％以上、衍射效率为90％以上；在离焦量±16μm内，光束质量变化不大。阵列DOE提高了LD光束整形系统的稳定性。