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GaN极性和AlGaN组分对薄膜光学性质的影响研究

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GaN极性和AlGaN组分对薄膜光学性质的影响研究

作者：卢海霞广西大学

学位级别：硕士

Ⅲ族氮化物半导体材料在光电器件方面具有举足轻重的地位,是微电子材料、光电子、电力电子等高科技产业及国防军工等支柱产业赖以发展的关键材料。Ⅲ族氮化物光电领域的进展主要归功于氮化物LED的发展。而半极性面氮化镓(GaN)量子阱结... 详细信息

Ⅲ族氮化物半导体材料在光电器件方面具有举足轻重的地位,是微电子材料、光电子、电力电子等高科技产业及国防军工等支柱产业赖以发展的关键材料。Ⅲ族氮化物光电领域的进展主要归功于氮化物LED的发展。而半极性面氮化镓(GaN)量子阱结构因其能够消除部分量子斯塔克效应,进一步提高LED的发光效率,而受广泛关注。铝镓氮(Al GaN)合金材料因其禁带宽度在3.4 e V-6.2 e V内连续可调,高Al组分的Al GaN薄膜是制备紫外LEDs、紫外LDs和紫外探测器的重要材料。然而Ⅲ族氮化物半导体器件大规模的商业化,提高Ⅲ族氮化物外延薄膜的结晶质量依旧十分重要。为了改善材料缺陷和应力问题,以提升半导体薄膜的光学特性。本文利用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法,生长了极性和半极性GaN和不同Al组分的Al GaN薄膜外延材料。通过高分辨率X射线衍射(HR-XRD)、拉曼光谱(Raman)、椭圆偏振(SE)、紫外可见分光光度计(UV-Vis)等表征手段,研究了材料的结构和光学性质等性质,为制备高质量高性能的GaN基器件提供了有价值的研究结果。主要内容和结论如下:(1)利用MOCVD技术在c面蓝宝石上制备极性GaN和在m面蓝宝石上制备半极性(11-22)面GaN薄膜。通过表征发现c面蓝宝石上的极性GaN和m面蓝宝石上的半极性GaN均表现出良好的晶体质量、发光、吸收和拉曼特性。c面蓝宝石上的GaN比m面蓝宝石上的GaN表现出更高的晶体质量。极性GaN的表面粗糙度小于半极性GaN。随着温度的升高,GaN的双轴应力由压缩转变为拉伸应力。极性GaN薄膜中的应力转变温度高于半极性GaN薄膜。GaN在极性和半极性取向上均显示出紫外线发光峰,而仅在极性GaN样品中观察到黄色发光峰。与拉曼光谱相关的振荡在两种GaN取向(极性和半极性)中都显示出随温度的系统性变化。这项工作为具有不同晶体极性的GaN的表征提供了一个研究思路。它有助于根据掺杂(In,Al等)、晶体质量、发射、吸收和光子振荡的应用和要求确定合适的晶体生长机制。(2)采用MOCVD技术在c面蓝宝石上生长了不同Al组分的AlGaN外延薄膜,通过高分辨X射线衍射、椭圆偏振光谱、紫外可见分光光度计、光致荧光光谱和拉曼光谱对不同Al组分的AlGaN外延薄膜进行了结构和光学性质的分析,得到了不同Al组分的AlGaN外延薄膜的晶体质量、厚度、粗糙度以及光学带隙。结果表明随着Al组分的增加,Al GaN晶格常数以及c/a逐渐减小,随着Al组分的增加薄膜外延层和缓冲层的厚度逐渐减少,而粗糙度逐渐增加。变温椭圆偏振光谱表明温度对高Al组分的Al GaN薄膜的带隙影响较大,而折射率受温度的影响较小。高Al组分的AlGaN外延薄膜所受的压应力更大。

关键词：极性和半极性GaN AlGaN 晶体质量椭圆偏振拉曼光谱

从“肺肠合治”探讨国医大师徐景藩治疗肺气郁闭型便秘经验

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中华中医药杂志 2022年第1期37卷 190-193页

作者：卢海霞陆为民南京中医药大学附属医院南京210029

随着当今社会人类生活习惯和饮食结构的改变,便秘已成为常见的消化系统疾病之一。国医大师徐景藩认为肺气不利、升降失司是便秘的一个重要病机,临证须细察病机,对于便秘证属肺气郁闭者当先从肺论治,"釜上揭盖"以宣利肺气,再酌情佐以润... 详细信息

随着当今社会人类生活习惯和饮食结构的改变,便秘已成为常见的消化系统疾病之一。国医大师徐景藩认为肺气不利、升降失司是便秘的一个重要病机,临证须细察病机,对于便秘证属肺气郁闭者当先从肺论治,"釜上揭盖"以宣利肺气,再酌情佐以润肠腑、清肺热、滋肺阴、补肺气四法,肺肠合治,兼顾全局,方可效如桴鼓。

关键词：便秘肺肠合治釜上揭盖徐景藩经验肺气郁闭国医大师

国医大师徐景藩从脾论治溃疡性结肠炎经验浅析

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中华中医药杂志 2022年第10期37卷 5763-5766页

作者：崔松香卢海霞陆为民南京中医药大学附属医院南京210029

溃疡性结肠炎属临床常见的难治性消化系统疾病之一,中医药治疗具有明显优势。徐景藩教授从医六十载,尤擅脾胃病诊治。徐老认为溃疡性结肠炎的病位在肠,与脾密切相关,病机总以脾虚生湿、运化失职为本;湿热血瘀、壅滞肠腑为要;土虚木乘、... 详细信息

溃疡性结肠炎属临床常见的难治性消化系统疾病之一,中医药治疗具有明显优势。徐景藩教授从医六十载,尤擅脾胃病诊治。徐老认为溃疡性结肠炎的病位在肠,与脾密切相关,病机总以脾虚生湿、运化失职为本;湿热血瘀、壅滞肠腑为要;土虚木乘、脾病及肾为变。临证须细察病机,充分把握“脾为枢机”的思想,以健脾祛湿为主要治则,参用凉血行瘀,同时重视扶脾抑肝、益脾温肾,从“运”“清”“疏”“补”四方面系统调治,兼顾全局,温清并用、补泻兼施,以恢复脾胃功能的协调安和。

关键词：溃疡性结肠炎从脾论治健脾祛湿名医经验徐景藩

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构建有趣、有序有维·有机的课堂

小学教学设计 2023年第2期 141-144页

作者：卢海霞江苏省东台市安丰镇小学

组织有效的教学活动,让学生快乐学习、享受学习,是小学教师的本质担当与不懈追求。教师应丰富教学方式、创设有趣情境、开展有序活动、设计有维追问,有机生成未曾预约的精彩,让学生体味数学学习的无穷魅力与快乐!

关键词：有趣情境有序活动有维追问有机生成

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教育,融进血液的永恒记忆

平安校园 2022年第3期 94-96页

作者：卢海霞江苏省东台市安丰镇小学

闲暇在家，我看着又一届毕业合照上的孩子，按顺序念叨着他们的名字，一个个阳光自信的笑脸，一幅幅鲜活的画面浮现于眼前，一句句感慨的话语萦绕在耳畔，一股股甘醇的暖流充盈着心田……学年初，几十个个性不相同，成绩有差异的孩子有...

闲暇在家，我看着又一届毕业合照上的孩子，按顺序念叨着他们的名字，一个个阳光自信的笑脸，一幅幅鲜活的画面浮现于眼前，一句句感慨的话语萦绕在耳畔，一股股甘醇的暖流充盈着心田……学年初，几十个个性不相同，成绩有差异的孩子有缘相聚，形成一得新的班集体。由于班级文化和教育理念的差别，班级所呈现的教育教学生态各不相同，她留给孩子个体的印象也不尽相同。岁月流逝，

关键词：

医学专业混合式教学全过程多维度考核路径探讨——以《急危重症护理学》为例

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中文科技期刊数据库（全文版）教育科学 2023年第9期 26-29页

作者：卢海霞马丽贵州医科大学护理学院贵州贵阳550001

课程是人才培养的核心要素,本文就线上线下混合式一流课程《急危重症护理学》开展全过程多维度考核模式的教学实施背景、实施过程及效果进行介绍,以期为创新医学专业教学评价提供参考。传统评价形式多是教师评价学生为主、评价形式单一... 详细信息

课程是人才培养的核心要素,本文就线上线下混合式一流课程《急危重症护理学》开展全过程多维度考核模式的教学实施背景、实施过程及效果进行介绍,以期为创新医学专业教学评价提供参考。传统评价形式多是教师评价学生为主、评价形式单一、主要关注学生终末成绩,缺乏较客观的评价标准与相关监督控制,一定程度上会削弱考试的教学检验功能。本教研团队通过成立课改小组,修订教学大纲、考试大纲等夯实课程基础,基于丰富的数字化资源,针对混合式教学课前、课中、课后全过程开展考核,保障教学质量。

关键词：课程考核模式教考分离线上线下混合式教学医学专业护理