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不同介电层对Hf_(x)Zr_(1-x)O_(2)薄膜铁电性能影响的研究进展

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半导体技术 2024年第4期49卷 297-309页

作者：袁晓博何慧凯唐文涛刘宗芳苏铭吉中国电子科技南湖研究院浙江嘉兴314000 浙江大学信息与电子工程学院杭州310058

近年来,铁电Hf_(x)Zr_(1-x)O_(2)(HZO)薄膜受到越来越多的关注,但是铁电层与电极材料层以及铁电层与半导体衬底层之间的界面问题并没有得到解决,阻碍了HZO薄膜的进一步应用。总结了通过引入不同介电层材料,如Al_(2)O_(3)、ZrO_(2)、HfO_... 详细信息

近年来,铁电Hf_(x)Zr_(1-x)O_(2)(HZO)薄膜受到越来越多的关注,但是铁电层与电极材料层以及铁电层与半导体衬底层之间的界面问题并没有得到解决,阻碍了HZO薄膜的进一步应用。总结了通过引入不同介电层材料,如Al_(2)O_(3)、ZrO_(2)、HfO_(2)、Ta_(2)O_5等,调节HZO薄膜铁电性能的方法及其机理;详细介绍了各种介电层材料作为封盖层对HZO薄膜铁电性能的影响,如对HZO薄膜提供平面内应力、控制铁电层的晶粒尺寸及作为铁电层形核核心的作用;最后,总结并展望了利用介电层调控HZO薄膜铁电性能的一般规律,为后续相关研究的开展提供了指导。

关键词：铁电性能 HZO薄膜介电层 Al_(2)O_(3) ZrO_(2)

β受体阻滞剂联合他汀类药物治疗慢性心衰的有效性及不良反应探讨

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中文科技期刊数据库（文摘版）医药卫生 2024年第5期 0014-0017页

作者：韩荣丽石一夫盛富强刘宗芳上海市徐汇区大华医院心内科上海200237 郑州大学附属第二人民医院心内科河南郑州450014

明确慢性心衰患者予以β受体阻滞剂联合他汀类药物治疗的效果和不良反应发生状况。方法在2020年9月-2022年10月期间,筛选102例在我院进行治疗的慢性心衰患者,将所有患者依据电脑随机分配方式进行分组,探究组和对照组均含51例,对照组患... 详细信息

明确慢性心衰患者予以β受体阻滞剂联合他汀类药物治疗的效果和不良反应发生状况。方法在2020年9月-2022年10月期间,筛选102例在我院进行治疗的慢性心衰患者,将所有患者依据电脑随机分配方式进行分组,探究组和对照组均含51例,对照组患者常规抗心力衰竭用药,探究组同时予以β受体阻滞剂与他汀类药物联合用药,对比两组的治疗效果、心功能、炎性因子水平和不良反应发生状况。结果数据为:探究组患者临床治疗有效率显著高于对照组(P0.05。结论慢性心衰临床治疗中在常规治疗的同时进行β受体阻滞剂与他汀类药物运用,对临床治疗效率可良好提升,恢复其心功能,对炎性因子水平也有一定的降低效果,且未明显增加不良反应的发生,可见其在临床中的治疗价值和用药安全性,应该依据临床需求进行广泛推荐。

关键词： β受体阻滞剂他汀类药物慢性心衰有效性不良反应

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低压化学气相沉积氮化硅薄膜工艺研究

智能物联技术 2024年第1期56卷 81-84页

作者：刘宗芳尤益辉 LEE Choonghyun 中国电子科技南湖研究院浙江嘉兴314001 浙江大学浙江杭州310058

低压化学气相沉积法(Low-Pressure Chemical Vapor Deposition,LPCVD)沉积的氮化硅薄膜(LPSi_(3)N_(4))具有质量高、副产物少、厚度均匀性好等特性,常应用于局部氧化的掩蔽膜、电容的介质膜、层间绝缘膜等工艺制程。介绍低压化学气相沉... 详细信息

低压化学气相沉积法(Low-Pressure Chemical Vapor Deposition,LPCVD)沉积的氮化硅薄膜(LPSi_(3)N_(4))具有质量高、副产物少、厚度均匀性好等特性,常应用于局部氧化的掩蔽膜、电容的介质膜、层间绝缘膜等工艺制程。介绍低压化学气相沉积氮化硅薄膜(LPSi_(3)N_(4))的制备工艺,以及不同工艺参数的调试对氮化硅薄膜均匀性和沉积速率的影响。

关键词：低压化学气相沉积(LPCVD) 氮化硅薄膜均匀性沉积速率

不同厚度铁电薄膜的制备及15nm Hf_(0.5)Zr_(0.5)O_(2)铁电晶体管性能研究

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智能物联技术 2024年第2期56卷 29-37页

作者：肖金盼袁晓博刘宗芳 LEE Choonghyun 赵毅中国电子科技南湖研究院浙江嘉兴314002 浙江大学信息与电子工程学院浙江海宁314400

在铁电场效应晶体管(Ferroelectric Field Effect Transistor,FeFET)中,Hf_(0.5)Zr_(0.5)O_(2)(HZO)铁电薄膜的厚度是影响晶体管性能的关键参数。通过制备不同厚度铁电薄膜的铁电电容对其进行测试,选择最优厚度的铁电薄膜,设计制备一种1... 详细信息

在铁电场效应晶体管(Ferroelectric Field Effect Transistor,FeFET)中,Hf_(0.5)Zr_(0.5)O_(2)(HZO)铁电薄膜的厚度是影响晶体管性能的关键参数。通过制备不同厚度铁电薄膜的铁电电容对其进行测试,选择最优厚度的铁电薄膜,设计制备一种15 nm Hf_(0.5)Zr_(0.5)O_(2)铁电薄膜的铁电晶体管——Si/HZO/W(MFS)栅极结构的铁电晶体管。它的剩余极化强度2Pr达到30μC·cm^(-2),具有高的循环稳定性和倍率性能,电压窗口达到1.2 V,在铁电存储器领域具有巨大的应用潜力。

关键词：铁电晶体管铁电薄膜厚度记忆窗口

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浅谈小学数学教学中培养学生创新能力的策略

天天爱科学(教育前沿) 2022年第8期 46-47页

作者：刘宗芳甘肃省白银市靖远县北滩镇南滩小学

在人才培养的过程中，小学属于奠基时期，此时培育小学生的各种能力对于学生今后的发展十分的有利。数学是小学阶段的主课之一，其有着抽象性、逻辑性等特点，对学生的思维有着一定的要求，同时也是培育学生创新思维的有效阵地。所以，... 详细信息

在人才培养的过程中，小学属于奠基时期，此时培育小学生的各种能力对于学生今后的发展十分的有利。数学是小学阶段的主课之一，其有着抽象性、逻辑性等特点，对学生的思维有着一定的要求，同时也是培育学生创新思维的有效阵地。所以，在数学课堂上，教师就要转变固化的教学思路，利用数学学科的特点，锻炼小学生的思维，发掘学生的创新潜力，推动小学生的成长。对此，文章中分析了小学数学教学中培育学生创新能力的原则，并提出几点建议。

关键词：小学数学教育创新能力

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新编临床中老年心血管病学

1998年

作者：刘宗芳等

本书对老年人心血管系统疾病的病因、发病机制、病理生理、诊断和鉴别诊、治疗和预防做了简明的论述，反映了近期国内外心血观疾病基础研究和临床诊断各方面的最新进展。

ISBN: (纸本)7534921201

关键词：老年病:心脏血管疾病心脏血管疾病:老年病

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电子束镀膜控制系统优化研究

电子束镀膜控制系统优化研究

作者：刘宗芳浙江大学

学位级别：硕士

为引领未来制造业的发展趋势,推动智能装备业的发展,我国提出“中国制造2025”强国战略,物联网、智能化和网络制造一体化被列为优先发展的三大领域。在此背景下,对老旧设备的优化升级来革新制造现场,不仅可以节约大笔新设备的采购费用,... 详细信息

为引领未来制造业的发展趋势,推动智能装备业的发展,我国提出“中国制造2025”强国战略,物联网、智能化和网络制造一体化被列为优先发展的三大领域。在此背景下,对老旧设备的优化升级来革新制造现场,不仅可以节约大笔新设备的采购费用,还可以提升产品的品质。电子束镀膜机的发展与计算机技术的发展密切相关。本文在深入研究电子束镀膜工艺原理和控制流程的基础上,针对目前电子束蒸发设备控制系统常规PID参数整定不足、自动化操控能力差、真空系统管理不量化、设备信息孤岛等问题,从软件、硬件两方面进行了研究,设计了以IQM-233薄膜沉积PCIe扩展卡为核心的电子束真空镀膜控制系统。为解决石英晶体传感器的突发失效问题,实现了双晶振片的自动切换的功能;针对蒸发源系统的非线性特性,提出采用模糊PI参数在线整定的设计方案;为适应对旧系统的改造兼容性,在人机界面上实现控制变量与I/O区域内存地址之间的可变映射;在物联网方面,本文基于Web Service架构研究了EAP(Equipment Automation Program)功能的实现,使控制系统以一种简便高效的方式融合到CIM(Computer Integrated Manu-facturing)系统中。通过在线功能测试和实际试运行表明,该电子束真空镀膜系统工艺运行稳定,蒸发速率的波动性得到了较好的抑制,与MES系统建立了互通,实现了控制领域从过程控制系统(PCS)到生产执行系统(MES)的延伸,该控制系统在工程智能化应用方面取得了一定的进展,具有非常重要的实际意义。

关键词：电子束真空镀膜系统石英晶体微天平模糊PI控制可编程控制器 Web Service 电子录单系统

瑞舒伐他汀对大鼠心肌梗死后活性氧物质产生及骨膜蛋白和心肌营养素表达的影响

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中国循环杂志 2014年第10期29卷 823-827页

作者：李恩孙利强刘宗芳汪涛郑州大学第二附属医院心内科河南省郑州市450014 郑州大学第二附属医院干部病房河南省郑州市450014

目的:观察大鼠心肌梗死后骨膜蛋白、心肌营养素-1(CT-1)的表达及活性氧物质(ROS)的产生,并用瑞舒伐他汀对其干预,探讨其与心室重塑的关系。方法:45只雄性Wistar大鼠随机分为假手术组(n=15)和心肌梗死组(n=30),通过结扎左冠状动脉前降支(... 详细信息

目的:观察大鼠心肌梗死后骨膜蛋白、心肌营养素-1(CT-1)的表达及活性氧物质(ROS)的产生,并用瑞舒伐他汀对其干预,探讨其与心室重塑的关系。方法:45只雄性Wistar大鼠随机分为假手术组(n=15)和心肌梗死组(n=30),通过结扎左冠状动脉前降支(LAD)建立急性心肌梗死模型。模型建立成功24 h后,心肌梗死组再随机分为心肌梗死对照组(n=15)和瑞舒伐他汀干预组(n=15)。瑞舒伐他汀干预组每日给以瑞舒伐他汀1 mg/(kg·d)灌胃,假手术组和心肌梗死对照组每日给予等量生理盐水灌胃,持续6周。利用Real Time聚合酶链式反应(PCR)法检测非梗死区CT-1、骨膜蛋白mRNA的表达,免疫组化法测定CT-1、骨膜蛋白的蛋白含量,比色法分别测定标本中超氧阴离子(O2-·)及羟自由基(OH·)的含量。结果:给药6周后,心肌梗死对照组相比假手术组、瑞舒伐他汀干预组非梗死区心肌中CT-1 mRNA、骨膜蛋白mRNA的表达、CT-1及骨膜的蛋白含量、超氧阴离子(O2-·)及羟自由基(OH·)含量、左心室重量指数显著升高(P<0.05),差异有统计学意义;瑞舒伐他汀干预组与假手术组相比,非梗死区心肌中CT-1 mRNA、骨膜蛋白mRNA的表达、CT-1及骨膜蛋白的蛋白含量、超氧阴离子(O2-·)及羟自由基(OH·)含量、左心室重量指数显著升高(P<0.05),差异有统计学意义。瑞舒伐他汀干预组与心肌梗死对照组相比,CT-1及骨膜蛋白mRNA表达和蛋白含量明显下降(P<0.05),差异有统计学意义。结论:瑞舒伐他汀可能通过抑制ROS产生、CT-1及骨膜蛋白在mRNA和蛋白水平的表达来改善大鼠心肌梗死后心室重塑。

关键词：瑞舒伐他汀骨膜蛋白心肌营养素心肌梗死心室重塑

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HfO_(2)基铁电场效应晶体管

智能物联技术 2023年第5期55卷 1-5,9页

作者：肖金盼苏铭吉刘宗芳 Choonghyun Lee 中国电子科技南湖研究院浙江嘉兴314002 浙江大学信息与电子工程学院浙江杭州310058

铁电晶体管作为一种新型的存储器件,由于与CMOS工艺兼容、低功耗等优点,吸引了研究者广泛关注。近年来,Flash、RRAM、FeFET等不同存储器件发展迅速,但都存在一定的微缩问题。大量研究工作表明,HfO_(2)基材料在1 nm厚度时也有微弱的铁电... 详细信息

铁电晶体管作为一种新型的存储器件,由于与CMOS工艺兼容、低功耗等优点,吸引了研究者广泛关注。近年来,Flash、RRAM、FeFET等不同存储器件发展迅速,但都存在一定的微缩问题。大量研究工作表明,HfO_(2)基材料在1 nm厚度时也有微弱的铁电性,有利于器件的微缩,所以近年来对于HfO_(2)基铁电晶体管的研究越来越广泛。本文主要从HfO_(2)基铁电晶体管基本结构、存储机制、工艺制备过程、相关测试方法、应用等方面对HfO_(2)基铁电晶体管存储器进行了综述。

关键词： HfO_(2)基铁电薄膜场效应晶体管制备工艺存储机制