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嫦娥三号卫星相机地形图像的彩色校正方法

宇航学报 2016年第3期37卷 341-347页

作者：赵汝进刘恩海王进余国彬中国科学院光电技术研究所成都610209

针对嫦娥三号卫星着陆器有效载荷相机地形图像出现偏色问题,设计一种彩色定标与白平衡相结合的两步彩色校正方法。首先在D65标准光源下,针对相机彩色光谱响应与CIE标准色匹配函数偏差,利用24色彩色色标最小二乘平差获取相机彩色校正矩阵... 详细信息

针对嫦娥三号卫星着陆器有效载荷相机地形图像出现偏色问题,设计一种彩色定标与白平衡相结合的两步彩色校正方法。首先在D65标准光源下,针对相机彩色光谱响应与CIE标准色匹配函数偏差,利用24色彩色色标最小二乘平差获取相机彩色校正矩阵,提高校正矩阵对不同色彩图像的适应性;其次在模拟月面环境光照条件下,采用9阶中性色标最小二乘平差进行相机白平衡校正,改进传统单一色标白平衡校正系数泛化能力不足的缺点,有效降低月面环境光照条件对相机图像色彩影响。地面成像验证试验和在轨成像试验结果表明,两步法校正后相机成像色差明显降低,图像色彩与人眼所见更加一致。

关键词：嫦娥三号色彩校正白平衡相机色标

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工件台移动直线性对掩模移动曝光的影响

光电工程 2007年第11期34卷 55-60页

作者：佟军民胡松董小春严伟余国彬中国科学院光电技术研究所中国科学院研究生院北京100039 河南许昌职业技术学院河南许昌461000

针对工件台制造和装配过程中产生的移动直线性误差,建立了掩模沿曲线移动时曝光量与曲线和移动距离之间关系的数学模型。通过对实测工件台移动直线性误差规律的分析,确定了近似的移动曲线函数。利用MATLAB进行数值模拟的方法,分别模拟... 详细信息

针对工件台制造和装配过程中产生的移动直线性误差,建立了掩模沿曲线移动时曝光量与曲线和移动距离之间关系的数学模型。通过对实测工件台移动直线性误差规律的分析,确定了近似的移动曲线函数。利用MATLAB进行数值模拟的方法,分别模拟了沿理想直线移动、不同幅值和不同移动距离的曲线移动时,所获得元件的面形,并分析了面形误差的影响因素和"竹节"误差产生的原因。最后得出结论:通过控制移动距离为一倍的掩模图形重复周期,并减小工件台移动直线性误差,对控制元件的面形精度和"竹节"误差最为有利。

关键词：掩模移动曝光技术曲线移动 “竹节”形误差面形精度

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超微细光刻中偏振光成像研究

光电工程 2003年第5期30卷 1-3,10页

作者：余国彬姚汉民罗先刚严佩英中国科学院光电技术研究所四川成都610209

在大数值孔径、短波长的投影光学光刻系统中,对S偏振光、P偏振光和非偏振光在硅片上的成像进行了研究,发现S偏振光成像具有最高的光强对数斜率值和最大的对比度;模拟了S偏振光通过掩模的电场分布机理,结果表明,可以通过调制照明光的偏... 详细信息

在大数值孔径、短波长的投影光学光刻系统中,对S偏振光、P偏振光和非偏振光在硅片上的成像进行了研究,发现S偏振光成像具有最高的光强对数斜率值和最大的对比度;模拟了S偏振光通过掩模的电场分布机理,结果表明,可以通过调制照明光的偏振性来提高成像对比度和分辨力。

关键词：超微细光刻偏振光像质数值孔径

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"嫦娥"之眼——地形地貌相机都瞧见了啥

百科知识 2020年第28期 22-27页

作者：余国彬中国科学院光电技术研究所

从嫦娥奔月到"嫦娥工程"说起嫦娥奔月的故事,大家耳熟能详。相传,远古时候,天上有十日同时出现,晒得庄稼枯死,民不聊生,一位叫后羿的英雄同情受苦的百姓,拉开神弓,一气射下9个太阳,并严令最后一个太阳按时起落,为民造福。后羿因此受到...

从嫦娥奔月到"嫦娥工程"说起嫦娥奔月的故事,大家耳熟能详。相传,远古时候,天上有十日同时出现,晒得庄稼枯死,民不聊生,一位叫后羿的英雄同情受苦的百姓,拉开神弓,一气射下9个太阳,并严令最后一个太阳按时起落,为民造福。后羿因此受到百姓的尊敬和爱戴,还娶了美丽善良的嫦娥为妻。机缘巧合之下,后羿从西王母处求得不老仙药,交由嫦娥保管。

关键词：

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乡镇初中语文阅读教学问题及改进研究

中文科技期刊数据库（全文版）教育科学 2024年第11期 001-004页

作者：余国彬九江市都昌县三汊港镇中学江西九江332600

阅读教学作为初中语文教学的组成部分,对于提高学生的语文素养、增进学生的阅读积累、推动学生成长具有重要的价值作用。基于此,文章从乡镇初中语文阅读教学角度出发,首先探究了乡镇初中语文阅读教学开展的现实意义,其次分析了乡镇初中... 详细信息

阅读教学作为初中语文教学的组成部分,对于提高学生的语文素养、增进学生的阅读积累、推动学生成长具有重要的价值作用。基于此,文章从乡镇初中语文阅读教学角度出发,首先探究了乡镇初中语文阅读教学开展的现实意义,其次分析了乡镇初中语文阅读教学存在的问题,最后围绕问题提出相应的改进对策,以期为提高乡镇初中语文阅读教学质量提供一定参考。

关键词：乡镇初中语文阅读教学问题

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UV-LIGA深度光刻机平滑衍射技术研究

微细加工技术 2002年第3期 40-43页

作者：余国彬姚汉民胡松中国科学院光电技术研究所成都610209

UV -LIGA深度光刻技术是加工微型机电系统的一项重要的微细加工技术。介绍了一种平滑衍射效应的位错强度叠加原理 ,它采用了蝇眼积分透镜去平滑衍射 ,并模拟数值计算了硅片表面的光强分布。

关键词：深度光刻机 UV-LIGA技术平滑衍射蝇眼积分透镜错位强度叠加

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PTFE快速定位系统研究

电子工业专用设备 2001年第2期30卷 14-16页

作者：余国彬姚汉民胡松中国科学院光电技术研究所四川成都610209

介绍了采用压力 -真空平衡气足作支承、PTFE材料作导轨的工件台的组成 ,并对气足的设计计算进行了讨论。最后给出了所研究的工件台的检测结果。

关键词： PTFE材料压力-真空平衡气足工件台定位系统导轨精密测量微电子

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投影光刻机工件台的压力-真空平衡气足研究

微细加工技术 2001年第4期 33-35页

作者：余国彬姚汉民胡松中国科学院光电技术研究所成都610209

主要介绍投影光刻机工件台的压力 -真空平衡气足设计 ,对压力 -真空平衡气足的径向压力分布、最大刚度、最佳气膜间隙以及承载能力进行了分析。

关键词：投影光刻机压力-真空平衡气足优化设计工件台微电子

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激光共聚焦生物芯片扫描仪分辨率特性研究

微纳电子技术 2002年第6期39卷 36-38页

作者：余国彬姚汉民胡松严伟中国科学院光电技术研究所四川成都610209

随着生物芯片集成度的提高,所用反应物的量减少,其激发所产生的荧光信号也越来越微弱。因而,对高精度、高分辨率生物芯片检测仪的要求迫在眉睫。本文探讨了一种激光共聚焦生物芯片扫描仪的成象原理和高分辨率特性,其中指出激光共聚焦生... 详细信息

随着生物芯片集成度的提高,所用反应物的量减少,其激发所产生的荧光信号也越来越微弱。因而,对高精度、高分辨率生物芯片检测仪的要求迫在眉睫。本文探讨了一种激光共聚焦生物芯片扫描仪的成象原理和高分辨率特性,其中指出激光共聚焦生物芯片扫描仪由于采用了探测针孔,因而视场大大减小,信噪比大大提高,同时每幅图象逐点扫描形成,因而可成高分辨率的象。

关键词：激光信息能力激光共聚焦生物芯片扫描仪探测针孔分辨率