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相变光盘的膜层计算与分析

哈尔滨工业大学学报 1997年第5期29卷 55-58,69页

作者：鲍海飞叶水驰张军王骐哈尔滨工业大学航天电子与光电子工程系教研室

利用光学矩阵，计算了记录介质为Ｔｅ４ＧｅＳｂ２四层膜系相变光盘的光学特性参数（如反射率、透射率）及对比度与各层膜厚的关系，给出了理想的膜层厚度值，并分析了各层介质的特性及作用。

关键词：相变光盘膜层计算记录介质光盘

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创新路上的障碍

科技导报 2016年第4期34卷 114-115页

作者：鲍海飞中国科学院上海微系统与信息技术研究所

究竟是什么让我们缺少创新性？这个问题或许应该这样问：在信息资讯如此辉煌的时代,我们为什么缺少创新的活力？如果有了内在的活力和劲头,不就有创新了,但为什么成效不明显呢？笔者结合自身和身边的经历,谈一些体会。1创新路上的障碍1... 详细信息

究竟是什么让我们缺少创新性？这个问题或许应该这样问：在信息资讯如此辉煌的时代,我们为什么缺少创新的活力？如果有了内在的活力和劲头,不就有创新了,但为什么成效不明显呢？笔者结合自身和身边的经历,谈一些体会。1创新路上的障碍11.1知识是学来的在中学的时候,开始学习物理、化学等课程,知道了亚里士多德、牛顿,也知道了哥白尼、布鲁诺。那个时候,觉得这些课程和人物很有趣。

关键词：布鲁诺信息资讯纸上得来终觉浅个人思想引路者人生之路研究部门电子产品本门思考过程

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DLC膜用于解决MEMS黏附问题研究

大连理工大学学报 2006年第3期46卷 442-445页

作者：李新唐祯安徐军鲍海飞大连理工大学电子与信息工程学院中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050

介绍了微机电系统(M EM S)中存在的黏附问题,对引起黏附的原因和如何解决黏附问题进行了分析.采用牺牲层腐蚀技术在多晶硅悬臂梁下表面制备类金刚石(DLC)膜,通过扫描电子显微镜(SEM)表征未发生黏附的悬臂梁最长长度.发现衬底上有DLC膜时... 详细信息

介绍了微机电系统(M EM S)中存在的黏附问题,对引起黏附的原因和如何解决黏附问题进行了分析.采用牺牲层腐蚀技术在多晶硅悬臂梁下表面制备类金刚石(DLC)膜,通过扫描电子显微镜(SEM)表征未发生黏附的悬臂梁最长长度.发现衬底上有DLC膜时,未发生黏附的悬臂梁最长长度平均约为145μm;而无DLC膜时,平均不到80μm.利用原子力显微镜(AFM)测得DLC膜表面的黏附力在7 nN左右,而硅衬底表面的黏附力大约为20 nN.实验结果表明DLC膜降低了悬臂梁与衬底之间的毛细引力和固体间黏附力,减轻了多晶硅悬臂梁的黏附.

关键词：类金刚石膜微机电系统黏附悬臂梁

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电爆炸一步法制备Cu—Zn合金超细微粉

金属学报 1999年第12期35卷 1271-1273页

作者：王群杨海滨鲍海飞郭伟力邹广田吉林大学超硬材料国家重点实验室长春130023 哈尔滨工业大学航天电子与光电工程系哈尔滨150001

利用电爆炸方法以Ｃｕ６０．２Ｚｎ３９．８石合金（α相）丝为原料一步制备出该合金的超细微粉Ｘ射线衍射测量结果表明，获得的合金超细微粉的晶体结构中主要是α相，并伴有β，γ和ε相，用透射电镜观察到粒子形貌大部分呈六边形，少... 详细信息

利用电爆炸方法以Ｃｕ６０．２Ｚｎ３９．８石合金（α相）丝为原料一步制备出该合金的超细微粉Ｘ射线衍射测量结果表明，获得的合金超细微粉的晶体结构中主要是α相，并伴有β，γ和ε相，用透射电镜观察到粒子形貌大部分呈六边形，少量为正方形及球形粒子尺寸在３０到１８０ｎｍ之间（平均尺寸为８５ｎｍ）．ＥＤＸ测试表明，电爆炸产物Ｃｕ－Ｚｎ合金不同粒子中Ｚｎ的含量在６．９％到４５．２％（原子分数）之间变化，提出了超细微粉的形成机制．

关键词：超细微粉相变合金粉末铜锌合金电爆炸

等离子体沉积碳氟聚合物薄膜的纳米摩擦性能研究

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摩擦学学报 2004年第4期24卷 304-307页

作者：鲍海飞熊斌陆德仁李昕欣王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

利用原子力显微镜研究了感应等离子体刻蚀加工过程中单晶硅表面形成的不同厚度的碳氟聚合物薄膜的纳米摩擦特性,并针对几种不同的摩擦模式探讨了原子力显微镜探针在不同厚度的碳氟聚合物薄膜表面的摩擦行为.结果表明,同硅基体相比,聚合... 详细信息

利用原子力显微镜研究了感应等离子体刻蚀加工过程中单晶硅表面形成的不同厚度的碳氟聚合物薄膜的纳米摩擦特性,并针对几种不同的摩擦模式探讨了原子力显微镜探针在不同厚度的碳氟聚合物薄膜表面的摩擦行为.结果表明,同硅基体相比,聚合物薄膜的摩擦力信号明显较弱,薄膜的纳米摩擦特性同其厚度密切相关;碳氟聚合物薄膜在同Si3N4针尖接触过程中可向针尖表面转移,从而对针尖起修饰作用,以减轻微观摩擦磨损.

关键词：碳氟聚合物薄膜纳米摩擦特性微机电系统

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非晶态Se薄膜的自发晶化研究

光学学报 2001年第4期21卷 499-503页

作者：鲍海飞叶水驰王利平王骐哈尔滨工业大学电子科学与技术系哈尔滨150001

利用真空热蒸镀的方法制备了非晶Se薄膜 ,测试了稳定的非晶Se薄膜、不稳定的非晶Se薄膜和初始自发晶化的非晶Se薄膜的透射率光谱和拉曼光谱。对透射率光谱曲线进行了拟合 ,计算了薄膜的厚度和折射率随波长的变化关系。在自发晶化过程中 ... 详细信息

利用真空热蒸镀的方法制备了非晶Se薄膜 ,测试了稳定的非晶Se薄膜、不稳定的非晶Se薄膜和初始自发晶化的非晶Se薄膜的透射率光谱和拉曼光谱。对透射率光谱曲线进行了拟合 ,计算了薄膜的厚度和折射率随波长的变化关系。在自发晶化过程中 ,Se薄膜折射率逐渐增大 ;随波长增大 ,折射率则减小。初始自发晶化的Se薄膜其透射率低于非晶Se薄膜 ,光学吸收边向长波长方向移动。拉曼光谱测试表明 ,非晶Se薄膜在自发晶化过程中 ,出现标志Se8环和链的结构 ,不完整的环和链结构在自发晶化过程中得到了增强。

关键词：非晶Se薄膜自发晶化拉曼光谱非晶硒薄膜透射率光谱真空热蒸镀

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非晶态Se薄膜晶化过程中微裂纹产生的研究

材料科学与工艺 1998年第3期6卷 77-80页

作者：叶水驰鲍海飞蓝幕杰王骐哈尔滨工业大学航天电子与光电工程系

薄膜在热处理过程中存在微观结构的变化。利用光学显微镜对非晶态Ｓｅ薄膜在晶化过程中微裂纹的产生做了详细的分析和研究；利用位形坐标解释了非晶薄膜室温下转变的原因。并对三层结构的ＳｉＯ／Ｓｅ／ＳｉＯ的晶化做了进一步研究。结... 详细信息

薄膜在热处理过程中存在微观结构的变化。利用光学显微镜对非晶态Ｓｅ薄膜在晶化过程中微裂纹的产生做了详细的分析和研究；利用位形坐标解释了非晶薄膜室温下转变的原因。并对三层结构的ＳｉＯ／Ｓｅ／ＳｉＯ的晶化做了进一步研究。结果表明微裂纹的产生与晶化过程中原子重新排序、原子迁移导致晶界的产生和体积收缩产生的应力有关，裂纹的产生还同薄膜与衬底间的热失配有关。

关键词：微裂纹位形坐标晶化非晶态薄膜晶化硒

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硫系非晶态半导体材料的研究进展

半导体技术 1998年第6期23卷 13-18页

作者：鲍海飞叶水驰王骐哈尔滨工业大学航天电子与光电工程系

硫系非晶态半导体材料的实验研究揭示出它具有许多新奇的光学特性和实际的应用价值。本文对较新的研究成果和发展作了阐述。

关键词：硫系非晶态半导体材料光学特性材料特性

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基于原子力显微镜的微纳结构力学测试系统

机械强度 2007年第2期29卷 223-227页

作者：鲍海飞李昕欣张波郭久福韩建强中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050 上海爱建纳米科技发展有限公司上海200237

原子力显微镜是微纳米尺度科学研究中的一个精密仪器,从原理和应用,设备的软件、硬件的扩展都具有很大的发展空间。随微纳机电系统的应用,非常迫切需要开发基于原子力显微镜的力学相关测试系统。在此情况下,着重开发部分相关力学测试软... 详细信息

原子力显微镜是微纳米尺度科学研究中的一个精密仪器,从原理和应用,设备的软件、硬件的扩展都具有很大的发展空间。随微纳机电系统的应用,非常迫切需要开发基于原子力显微镜的力学相关测试系统。在此情况下,着重开发部分相关力学测试软件和系统硬件的扩展。基于原子力显微镜中的一个最基本的力—位移曲线功能,开发力学测试软件,实施单点、多点的力曲线测量,疲劳度测量和单线扫描四个测试功能,系统在硬件上增添微动平台,具有较大的横向位移,保证微纳结构尺寸的测试。相关测试表明,该软件具有较好的一致性和使用性,能方便地进行力学量的提取。

关键词：原子力显微镜微纳结构硬件软件悬臂梁力学测试